一种入料载台提篮卡扣防挡治具制造技术

本实用新型专利技术公开了半导体生产制造领域内的一种入料载台提篮卡扣防挡治具，包括提篮，所述提篮包括两个左右对应设置的侧板，两个侧板之间分别设有顶板、底板和背板，顶板和底板互相平行，背板与顶板相垂直，与背板相对的一侧为晶元进口，所述侧板对应晶圆进口设置有“U”型卡扣，所述卡扣的两端转动连接在侧板的左右两侧，所述侧板的外壁对应卡扣设置有放置槽，所述提篮放置在入料载台上，所述入料载台对应卡扣设置有防挡治具，所述防挡治具包括上挡块和下挡块，所述上挡块的下侧与侧板上侧抵触，所述下挡块的远离晶圆进口的一侧与侧板内壁抵触。本实用新型专利技术能够确保提篮放置在入料载台上时，卡扣处于合格状态，避免机台取退片时发生撞片异常。发生撞片异常。发生撞片异常。

【技术实现步骤摘要】
一种入料载台提篮卡扣防挡治具


[0001]本技术属于半导体生产制造领域，特别涉及一种入料载台提篮卡扣防挡治具。

技术介绍

[0002]如图3所示，为现有技术中入料载台的剖面图，入料载台对应提篮凹槽正下方设置有光学传感器，针对提篮卡扣打开后的状态进行检测；当卡扣处于锁紧状态时，光学传感器信号直穿提篮凹槽，机台无法识别到卡扣从而无法进行后续工序；当卡扣打开并收合于凹槽内时，能够遮挡住光学传感器信号，机台可识别到卡扣并提示提篮放置完成可进行后续工序，其不足之处在于：若卡扣打开后存在松动或变形，无法收合在凹槽内时，导致光学传感器检测失效，无法识别到提篮，增加了人员等待时间；在卡处于锁紧状态时，凹槽内若存在外物遮挡，会误检测识别到提篮，造成撞片的异常现象；光学传感器经年使用后可能会出现信号衰减不稳定的状况，影响识别精准性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种入料载台提篮卡扣防挡治具，确保提篮放置在入料载台上时，卡扣处于完全打开状态，避免机台取退片时发生撞片异常。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种入料载台提篮卡扣防挡治具，包括提篮，所述提篮包括两个左右对应设置的侧板，两个所述侧板之间分别设有顶板、底板和背板，所述顶板和所述底板互相平行，所述背板与所述顶板相垂直，与所述背板相对的一侧为晶元进口，所述侧板对应晶圆进口设置有卡扣，所述卡扣为“U”型结构，所述卡扣的两端转动连接在侧板的左右两侧，所述侧板的外壁对应卡扣设置有放置槽，所述提篮放置在入料载台上，所述入料载台对应卡扣设置有防挡治具，所述防挡治具包括上挡块和下挡块，所述上挡块的下侧与侧板上侧抵触，所述下挡块的远离晶圆进口的一侧与侧板内壁抵触。
[0005]本技术使用时，先将防挡治具安装在入料载台上对应卡扣的一侧，确保上挡块的下侧能够与侧板上侧抵触，下挡块的远离晶圆进口的一侧与能够侧板内壁抵触，在放置提篮时，若卡扣处于紧锁状态，因防挡治具有一定厚度可抵住卡扣，使提篮无法平整放置，故而机台无法检测到提篮；若卡扣处于打开状态，但未超出防挡治具范围，防挡治具仍可将提篮抵住，机台仍无法检测到提篮；只有将卡扣打开至防挡治具外侧，无论卡扣是否收合于凹槽内，提篮均能平整放置，此时机台可正常检测到提篮，与现有技术相比，本技术的有益效果在于：此防挡治具结构简单，稳定性好且使用寿命长，能有效避免机台取退片时发生撞片异常。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述上挡块和所述下挡块均直角梯形结构，所述上挡块斜腰与下挡块斜腰对齐设置，所述下挡块下底长度为80mm。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述上挡块上底长度为10mm，所述下挡块直角腰长度为10mm，所述上挡块和下挡块的厚度均为6mm。此防挡治具适用于8寸提篮。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述上挡块上底长度为12mm，所述下挡块直角腰长度为20mm，所述上挡块和下挡块的厚度均为10mm。此防挡治具适用于12寸提篮。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述防挡治具的材质为POM塑料。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述入料载台上对应两个所述侧板底部均设置有定位块。
附图说明
[0011]图1为本技术的立体结构示意图。
[0012]图2为本技术在使用时8寸提篮和12寸提篮的结构示意图。
[0013]图3为现有技术卡扣紧锁时入料载台的剖面图。
[0014]图4为卡扣打开时本技术的俯视图。
[0015]图5为卡扣打开时本技术的左视图。
[0016]图6为本技术防挡治具的立体结构示意图。
[0017]其中，1提篮，101侧板，102顶板，103底板，104背板，105卡扣，106放置槽，107凹槽，2入料载台，3防挡治具，301上挡块，302下挡块，303下挡块下底，304上挡块上底，305下挡块直角腰，4定位块，5 晶圆，6光学传感器，7压力传感器。
具体实施方式
[0018]如图1和图2所示，为一种入料载台提篮卡扣防挡治具，包括提篮1，提篮1包括两个左右对应设置的侧板101，两个侧板101之间分别设有顶板102、底板103和背板104，顶板102和底板103互相平行，背板104与顶板102相垂直，与背板104相对的一侧为晶元进口，两个侧板101朝内的一侧等间隔设置有若干从上到下依次分布的凹槽107用于放置晶圆5；侧板101对应晶圆5进口设置有“U”型卡扣105，卡扣105的两端通过铰链转动连接在侧板101的左右两侧，当卡扣105紧锁时可防止晶圆5从提篮1中掉出，侧板101的外壁对应卡扣105设置有放置槽106可完全容纳打开后的卡扣105；如图4~5所示，提篮1放置在入料载台2上，入料载台2对应卡扣105设置有防挡治具3，防挡治具3包括上挡块301和下挡块302，上挡块301的下侧与侧板101上侧抵触，下挡块302的远离晶圆5进口的一侧与侧板101内壁抵触，上挡块301和下挡块302优选为直角梯形结构，上挡块斜腰与下挡块斜腰对齐设置，下挡块下底303长度为80mm；为增加防挡治具3使用寿命，防挡治具3优选耐疲劳性和抗冲击强度较好的POM材质；入料载台2上对应8寸提篮1侧板101底部和12寸提篮1侧板101底部分别设置有定位块4，方便人员放置不同尺寸提篮1时快速找到其对应位置。
[0019]如图6所示，针对不同尺寸提篮1，可使用对应的防挡治具3；将上挡块上底304长度设计为10mm，下挡块直角腰305长度设计为10mm，上挡块301和下挡块302的厚度均为设计6mm，此防挡治具3适用于8寸提篮1；将上挡块上底304长度设计为12mm，下挡块直角腰305长度设计为20mm，上挡块301和下挡块302的厚度均设计为10mm，此防挡治具3适用于12寸提篮1。
[0020]此外，在入料载台2对应提篮1处设置有压力传感器7，压力传感器7通过线缆还连接有灯泡和灯泡开关控制器，只有在提篮1平整放置时，压力传感器7被完全下压得到的压力信号转变为电信号，通过电路输出至灯泡开关控制器，灯泡才会亮起提醒人员提篮1已放
置完毕。
[0021]本技术在使用时，先将防挡治具3安装在入料载台2上对应卡扣105的一侧，确保上挡块301的下侧能够与侧板101上侧抵触，下挡块302的远离晶圆5进口的一侧与能够侧板101内壁抵触，在放置提篮1时，若卡扣105处于紧锁状态，因防挡治具3有一定厚度可抵住卡扣105，使提篮1无法平整放置，压力传感器7未被完全下压，灯泡未亮提醒人员卡扣105未处于打开状态；若卡扣105处于打开状态，但未超出防挡治具3范围，防挡治具3仍可将提篮1抵住，压力传感器7仍未被完全下压，灯泡未亮提醒人员卡扣105状态不合格；只有将卡扣105打开至防挡治具3外侧，提篮1才能平整放置，此时压力传感器7被完全下压，灯泡亮起提醒人员可进行后续工序，本技术的优点在于：此防挡治具3结构简单，稳定性好且使用寿命长，能有效避免因卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种入料载台提篮卡扣防挡治具，包括提篮，所述提篮包括两个左右对应设置的侧板，两个所述侧板之间分别设有顶板、底板和背板，所述顶板和所述底板互相平行，所述背板与所述顶板相垂直，与所述背板相对的一侧为晶元进口，所述侧板对应晶圆进口设置有卡扣，所述卡扣为“U”型结构，所述卡扣的两端转动连接在侧板的左右两侧，所述侧板的外壁对应卡扣设置有放置槽，其特征在于，所述提篮放置在入料载台上，所述入料载台对应卡扣设置有防挡治具，所述防挡治具包括上挡块和下挡块，所述上挡块的下侧与侧板上侧抵触，所述下挡块的远离晶圆进口的一侧与侧板内壁抵触。2.根据权利要求1所述的一种入料载台提篮卡扣防挡治具，其特征在于，所述上挡块和所述下挡块均直角梯形结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁强，黄金良，刘磊，高美山，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：