一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置制造方法及图纸

本技术公开了半导体IC拾取领域内的一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置，包括夹持臂，所述夹持臂的端部设置有立式安装座，安装座前侧设有垫板，垫板前侧设有L形支座，安装座通过若干紧固螺栓一与板一相固定，板一后部设有定位部，所述板二上安装有竖直的吸嘴，吸嘴上连接有软管，所述安装座上侧设置有T形限位座，竖直的紧固螺栓二依次穿过水平板、竖直板并与安装座相螺纹连接，定位部贴靠着竖直板的前侧，水平板上螺纹连接有压紧板一的压紧螺栓，压紧螺栓竖直穿过水平板设置，所述水平板后部设有两个左右对称的夹爪，两个夹爪之间留有夹持软管的夹持槽。本技术能够防止吸嘴角度会频繁发生偏移，确保吸嘴吸附IC的位置精度准确。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体ic拾取领域，特别涉及一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置。

技术介绍

1、捡晶机是半导体行业用于挑晶（ic晶粒）的设备，pp头摆臂是捡晶机完成取、置晶（挑晶）动作的重要组件之一，通过摆臂的吸晶组件将晶圆表面单粒ic挑起并准确放入对应的tray盘晶穴内。

2、捡晶机摆臂可以自由移动，捡晶机摆臂上设置有由吸嘴、软管组成的吸晶组件，软管与负压发生装置相连，通过吸嘴来吸附固定ic晶粒。现有技术中，捡晶机摆臂前端无固定软管的部件，摆臂高速来回转动时，软管受力带动吸嘴摆动，其问题在于：从而会造成吸嘴吸附ic时ic表面受力不均，会出现压伤、吸晶不成功和置晶不良等异常；严重影响捡晶机摆臂运行稳定和拾取的ic的品质状况。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置，能够解决捡晶机摆臂前端软管无法固定的问题，防止吸嘴角度会频繁发生偏移；确保吸嘴吸附ic的位置精度准确，降低压伤晶粒、吸晶不成功和置晶不良等异常发生频率。

2、本技术的目的是这样实现的：一种捡晶机摆臂吸晶组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置，包括夹持臂，其特征在于，所述夹持臂的端部设置有立式安装座，安装座前侧设有垫板，垫板前侧设有L形支座，支座包括竖直的板一和水平的板二，安装座通过若干紧固螺栓一与板一相固定，板一后部设有定位部，所述板二上安装有竖直的吸嘴，吸嘴上连接有软管，所述安装座上侧设置有T形限位座，限位座包括水平板和竖直板，限位座通过紧固螺栓二与安装座相固定连接，竖直的紧固螺栓二依次穿过水平板、竖直板并与安装座相螺纹连接，所述定位部贴靠着竖直板的前侧，水平板上螺纹连接有压紧板一的压紧螺栓，压紧螺栓竖直穿过水平板设置，所述水平板后部设有两个左右对称的夹爪，两个夹爪之间留有夹持软管的夹持...

【技术特征摘要】

1.一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置，包括夹持臂，其特征在于，所述夹持臂的端部设置有立式安装座，安装座前侧设有垫板，垫板前侧设有l形支座，支座包括竖直的板一和水平的板二，安装座通过若干紧固螺栓一与板一相固定，板一后部设有定位部，所述板二上安装有竖直的吸嘴，吸嘴上连接有软管，所述安装座上侧设置有t形限位座，限位座包括水平板和竖直板，限位座通过紧固螺栓二与安装座相固定连接，竖直的紧固螺栓二依次穿过水平板、竖直板并与安装座相螺纹连接，所述定位部贴靠着竖直板的前侧，水平板上螺纹连接有压紧板一的压紧螺栓，压紧螺栓竖直穿过水平板设置，所述水平板后部设有两个左右对称的夹爪，两个夹爪之间留有夹持软管的夹持槽。

2.根据权利要求1所述的一种捡晶机摆臂吸晶组件定位装置，其特征在于，所述夹持臂上沿长度方向依次排列开设有若干贯穿孔，吸嘴上软管向下穿过夹持槽后支撑在夹持臂上，若干绑带穿过对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟强，姜红涛，陈广顺，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：