本发明专利技术公开了一种管式炉石英管拆装装置和拆装方法，拆装装置包括连接轴和固定爪，固定爪能够张开和收拢，固定爪张开与石英管的内壁面抵接，实现与石英管的相互固定，拆装装置的固定爪收拢与石英管脱离，拆装装置配合使用推舟机构或其他驱动装置，驱动拆装装置沿轴向伸入石英管内或从石英管内抽出，实现石英管的更换，减少了更换石英管的人员需求，缩短石英管的更换时间，提升了石英管更换的效率，减少设备稼动率的降低，在整个石英管的抽出过程中，不需要人工进行高空操作，使得整个维保过程更加安全。程更加安全。程更加安全。
【技术实现步骤摘要】
管式炉石英管拆装装置和拆装方法
[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种管式炉石英管拆装装置和拆装方法。
技术介绍
[0002]太阳能电池片制作中需要使用管式炉进行ALD、PECVD、LPCVD、扩散等热制程工艺，并利用管式炉中的石英管作为反应腔的腔体。但是在LPCVD工艺管式炉中，石英管的维保周期较短，约为1月每次，PECVD、ALD和扩散工艺管式炉虽然一般不需要经常维保，但也会存在因石英管品质或其它原因造成的石英管损伤的问题，需要更换石英管。
[0003]目前，石英管的更换方案为设备停机，从净化台一侧手动拆卸石英管对应的桨和石英管安装法兰后，由5
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6名维保人员进行协作，进行石英管的拆卸。具体的，通过人工将石英管从炉中缓缓抽出，并缓缓将炉管下降至净化台底部的预留空间处，再从该处空间将石英管从侧向抽出。由于净化台内部空间有限，在拆卸及安装时能够动作的幅度较小，导致整个过程耗费的时间较长(一般需要2
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3小时)，降低了设备的稼动率。
技术实现思路
[0004]本专利技术是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识做出的：
[0005]目前石英管拆卸方式存在以下不足：
[0006]1)需要的维保人员多，由于石英管长度和体积较大，需要多名有经验的维保人员进行操作，造成了资源的极大浪费；
[0007]2)由于净化台内空间狭小、且石英管长度较长，拆装具备一定难度，为保证安全，更换时间较长，导致设备稼动率相对较低；
[0008]3)更换石英管存在一定的安全风险，目前的炉管为4
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6层为主，若顶部的石英管需要维保，由于净化台内空间限制，只能通过维护人员在折叠梯子进行石英管的抽出，存在一定的安全风险。
[0009]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的实施例提出一种管式炉石英管拆装装置。
[0010]本专利技术的实施例还提出一种管式炉石英管的拆装方法。
[0011]本专利技术实施例的管式炉石英管拆装装置，包括：连接轴，所述连接轴的中心轴线与所述石英管的中心轴线共线或平行；和固定爪，所述固定爪包括设在所述连接轴上的固定部和移动部，所述固定部与所述连接轴在轴向上相对固定，所述移动部沿所述轴向可移动地设置，所述固定爪还包括卡爪组件，所述卡爪组件连接在所述固定部与所述移动部之间并随所述移动部的移动收拢或张开，所述移动部靠近所述固定部，所述卡爪组件张开，其在所述连接轴的径向上的尺寸变大以便与所述石英管的内壁面抵接，所述移动部远离所述固定部，所述卡合组件收拢，其在所述连接轴的径向上的尺寸变小以便脱离所述石英管。
[0012]本专利技术实施例提供的管式炉石英管的拆装装置包括能够张开和收拢的固定爪，利
用固定爪的张开和收拢与石英管的内壁面抵接或脱离，配合使用推舟机构或其他驱动装置，实现石英管在管式炉中的更换。具体地，拆装装置的固定爪张开与石英管的内壁面抵接，实现与石英管的相互固定，驱动装置驱动拆装装置连同石英管一并从炉内抽出或者一并推入炉中。拆装装置的固定爪收拢与石英管脱离，驱动装置驱动拆装装置沿轴向伸入石英管内或从石英管内抽出。
[0013]利用本专利技术实施例提供的管式炉石英管的拆装装置配合使用驱动装置，通过在设备上操作即可完成石英管的装入和抽出，减少了更换石英管的人员需求，只需要1
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2人就可完成石英管更换；缩短石英管的更换时间，提升了石英管更换的效率，减少设备稼动率的降低；在整个石英管的抽出过程中，不需要人工进行高空操作，使得整个维保过程更加安全。
[0014]在一些实施例中，所述卡爪组件包括若干推拉杆和若干顶杆，所述若干推拉杆与所述固定部和所述移动部中的其中一者固定连接，所述若干顶杆与所述固定部和所述移动部中的另一者活动连接，所述顶杆与所述推拉杆一一对应地活动连接。
[0015]在一些实施例中，所述推拉杆与所述移动部固定连接，所述顶杆与所述固定部活动连接，所述推拉杆与所述顶杆活动连接。
[0016]在一些实施例中，所述连接轴相对所述固定爪可转动地设置，所述连接轴上设有螺纹部，所述移动部设在所述螺纹部上并与所述螺纹部螺纹配合，所述连接轴正转或反转以使所述移动部沿所述轴向移动。
[0017]在一些实施例中，所述固定爪为多个，多个所述固定爪沿所述连接轴的轴向间隔设置，所述多个固定爪同时张开或收拢。
[0018]在一些实施例中，所述固定爪包括第一固定爪和第二固定爪，所述连接轴在其轴向上包括依次相连的第一螺杆、传动杆和第二螺杆，所述第一螺杆和所述第二螺杆上均设有螺纹部，所述第一固定爪设在所述第一螺杆上，所述第二固定爪设在所述第二螺杆上。
[0019]在一些实施例中，拆装装置还包括驱动轴，所述驱动轴的一端与所述第一螺杆的远离所述传动杆的端部传动连接，所述驱动轴的另一端沿所述连接轴的轴向延伸与驱动机构相连，所述驱动机构用于驱动所述驱动轴旋转。
[0020]在一些实施例中，所述拆装装置包括限位管，所述限位管套设所述连接轴和所述固定爪，所述限位管上设有避让通孔，所述卡爪组件的一部分从所述避让通孔伸出所述限位管，所述限位管用于在周向上对所述卡爪组件进行限位。
[0021]在一些实施例中，所述限位管与所述连接轴在轴向上相互固定，所述拆装装置还包括推送杆，所述推送杆的一端与所述限位管相连，所述推送杆的另一端沿所述连接轴的轴向延伸与推舟机构相连，所述推舟机构用于驱动所述拆装装置沿所述轴向移动。
[0022]本专利技术另一方面实施例提供的管式炉石英管的拆装方法，其中拆卸过程包括如下步骤：
[0023]将所述拆装装置与驱动装置相连，所述驱动装置运作并沿所述连接轴的轴向将所述固定爪推入石英管中；
[0024]移动所述移动部使其靠近所述固定部，所述卡爪组件张开并与石英管的内壁面抵接；
[0025]所述驱动装置运作将所述拆装装置以及石英管一并从炉中抽出；
[0026]分离所述拆装装置，将石英管以及所述拆装装置的位于石英管内的部分运送至指
定位置；
[0027]移动所述移动部使其远离所述固定部，所述卡爪组件收拢并脱离石英管，将所述拆装装置的所述部分从石英管内取出；
[0028]装入过程包括如下步骤：
[0029]将所述固定爪装入新的石英管中，移动所述移动部使所述卡爪组件与石英管的内壁面抵接；
[0030]将石英管以及所述拆装装置运送至指定位置；
[0031]将所述拆装装置与驱动装置相连，所述驱动装置运作并沿所述连接轴的轴向将石英管推入炉中；
[0032]移动所述移动部使所述卡爪组件与石英管脱离，将所述拆装装置从石英管内抽出。
附图说明
[0033]图1是本专利技术实施例提供的管式炉石英管拆装装置的示意图。
[0034]图2是本专利技术实施例提供的管式炉石英管拆装装置的局部示意图。
[0035]图3是本专利技术实施例提供的管式炉石英管拆装装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种管式炉石英管拆装装置，其特征在于，包括：连接轴，所述连接轴的中心轴线与与所述石英管的中心轴线共线或平行；固定爪，所述固定爪包括设在所述连接轴上的固定部和移动部，所述固定部与所述连接轴在轴向上相对固定，所述移动部沿所述轴向可移动地设置，所述固定爪还包括卡爪组件，所述卡爪组件连接在所述固定部与所述移动部之间并随所述移动部的移动收拢或张开，所述移动部靠近所述固定部，所述卡爪组件张开，其在所述连接轴的径向上的尺寸变大以便与所述石英管的内壁面抵接，所述移动部远离所述固定部，所述卡合组件收拢，其在所述连接轴的径向上的尺寸变小以便脱离所述石英管。2.根据权利要求1所述的管式炉石英管拆装装置，其特征在于，所述卡爪组件包括若干推拉杆和若干顶杆，所述若干推拉杆与所述固定部和所述移动部中的其中一者固定连接，所述若干顶杆与所述固定部和所述移动部中的另一者活动连接，所述顶杆与所述推拉杆一一对应地活动连接。3.根据权利要求2所述的管式炉石英管拆装装置，其特征在于，所述推拉杆与所述移动部固定连接，所述顶杆与所述固定部活动连接，所述推拉杆与所述顶杆活动连接。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的管式炉石英管拆装装置，其特征在于，所述连接轴相对所述固定爪可转动地设置，所述连接轴上设有螺纹部，所述移动部设在所述螺纹部上并与所述螺纹部螺纹配合，所述连接轴正转或反转以使所述移动部沿所述轴向移动。5.根据权利要求4所述的管式炉石英管拆装装置，其特征在于，所述固定爪为多个，多个所述固定爪沿所述连接轴的轴向间隔设置，所述多个固定爪同时张开或收拢。6.根据权利要求5所述的管式炉石英管拆装装置，其特征在于，所述固定爪包括第一固定爪和第二固定爪，所述连接轴在其轴向上包括依次相连的第一螺杆、传动杆和第二螺杆，所述第一螺杆和所述第二螺杆上均设有螺纹部，所述第一固定爪设在所述第一螺杆上，所述第二固定爪设在所述第二螺杆上...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，武凯，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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