振动换能器制造技术

一种振动换能器，包括：基板；用具有导电性能的沉积膜形成的隔膜，该隔膜具有沿径向方向从中心部分延伸的多个臂；用具有导电性能的沉积膜形成的板；和用沉积膜形成的多个隔膜支承件，所述隔膜支承件连结臂，以便将隔膜支承在基板上方且二者之间具有指定间隙。多个凸块形成在隔膜的臂中，以便防止隔膜贴附到基板或板。当隔膜相对于板振动时，在二者之间的静电电容变化，以便检测施加于其上的压力的变化。此外，多个隔膜孔适当地排列在隔膜的臂中，以便改善灵敏性同时避免贴附的发生。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振动换能器，包括：　基板，　隔膜，使用具有导电性能并定位在所述基板上方的沉积膜形成，且该隔膜具有从中心部分沿径向方向延伸的多个臂；　板，使用具有导电性能并定位在所述基板上方的沉积膜形成；　多个隔膜支承件，使用定位 在所述基板上方的沉积膜形成并连结所述多个臂，以便以所述隔膜和基板之间的指定间隙将所述隔膜支承在所述基板上方；以及　多个隔膜凸块，形成为从所述多个臂上突起，以便防止所述隔膜意外地粘到所述基板或所述板上，　其中，当所述隔膜相对于所述 板振动时，它们之间的静电电容变化，以便检测施加到所述隔膜上的压力变化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：铃木民人，铃木幸俊，铃木利尚，佐藤明善，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]