下载振动换能器的技术资料

文档序号:3687579

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种振动换能器,包括:基板;用具有导电性能的沉积膜形成的隔膜,该隔膜具有沿径向方向从中心部分延伸的多个臂;用具有导电性能的沉积膜形成的板;和用沉积膜形成的多个隔膜支承件,所述隔膜支承件连结臂,以便将隔膜支承在基板上方且二者之间具有指定间隙。...
该专利属于雅马哈株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过雅马哈株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。