用于MEMS电容式麦克风的改进膜片制造技术

公开了一种用于麦克风（１）的膜片（２），包括：第一部分（Ａ１）、第二部分（Ａ２）和连接所述第一部分（Ａ１）和所述第二部分（Ａ２）的元件（Ｅ１…Ｅ４，Ｅ１’…Ｅ４’）。第二部分（Ａ２）设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分（Ａ１）移动，所述移动至少包括沿与所述膜片（２）垂直的移动方向（ｄｍ）的平移分量。所述元件（Ｅ１…Ｅ４，Ｅ１’…Ｅ４’）配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数，并且配置成实质上沿所述第二部分（Ａ２）的外边界设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于麦克风（１）的膜片（２），包括：　　　　第一部分（Ａ１）、第二部分（Ａ２）和连接所述第一部分（Ａ１）和所述第二部分（Ａ２）的元件（Ｅ１…Ｅ４，Ｅ１’…Ｅ４’），　　　　其中所述第二部分（Ａ２）设置为在空闲位置附近相对于所述第一部分（Ａ１）移动，所述移动至少包括沿与所述膜片（２）垂直的移动方向（ｄｍ）的平移分量；　　　　其中所述元件（Ｅ１…Ｅ４，Ｅ１’…Ｅ４’）实质上沿所述第二部分（Ａ２）的外边界设置；以及　　　　其中所述元件（Ｅ１…Ｅ４，Ｅ１’…Ｅ４’）配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫卢茨，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]