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用于MEMS电容式麦克风的改进膜片制造技术
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下载用于MEMS电容式麦克风的改进膜片的技术资料
文档序号:3679601
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公开了一种用于麦克风(1)的膜片(2),包括:第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1…E4,E1’…E4’)。第二部分(A2)设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动,所述移...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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