硅麦克风制造技术

一种硅麦克风，包括能够在一个孔的上方弯曲的振膜、允许电连接振膜的区域、平行于振膜并与其间隔开且在该孔上延伸的背极板和背极板支撑，背极板是固定的，背极板和振膜形成平行电容板，背极板和振膜至少在该孔的部分边界周围彼此相连并互相绝缘，背极板支撑不构成与背极板的电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种硅麦克风，包括：　　　　能够在一个孔的上方弯曲的振膜；　　　　允许与振膜电连接的区域；　　　　背极板，平行于振膜并与其间隔，背极板在该孔上延伸，背极板是固定的；　　　　背极板和振膜形成电容器的平行板；　　　　背极板和振膜至少在孔的部分边界周围彼此相连并互相绝缘；及　　　　背极板支撑，其在孔的边界周围与背极板相连，背极板支撑不形成与背极板的电连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭杰伟，王国民，卡瑟加玛桑达拉姆苏里亚库玛，布赖恩基思帕特曼，
申请(专利权)人：森斯费伯私人有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]