下载硅麦克风的技术资料

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一种硅麦克风,包括能够在一个孔的上方弯曲的振膜、允许电连接振膜的区域、平行于振膜并与其间隔开且在该孔上延伸的背极板和背极板支撑,背极板是固定的,背极板和振膜形成平行电容板,背极板和振膜至少在该孔的部分边界周围彼此相连并互相绝缘,背极板支撑不...
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