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文档序号:3679997
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一种硅麦克风,包括能够在一个孔的上方弯曲的振膜、允许电连接振膜的区域、平行于振膜并与其间隔开且在该孔上延伸的背极板和背极板支撑,背极板是固定的,背极板和振膜形成平行电容板,背极板和振膜至少在该孔的部分边界周围彼此相连并互相绝缘,背极板支撑不...
该专利属于森斯费伯私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过森斯费伯私人有限公司授权不得商用。
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