一种托盘定位机构及控制方法技术

本申请公开一种托盘定位机构及控制方法。该托盘定位机构，包括：壳体，该壳体内配置有支撑筒，该支撑筒用于承接机械手传输的托盘，壳体的一侧配置有第一驱动部件，该第一驱动部件的输出端穿过所述壳体连接连杆，所述连杆连接套设于支撑筒的对中机构，该对中机构包括旋转底座及对中部件，所述壳体内配置有第二驱动部件及检测装置，所述第二驱动部件连接至所述支撑筒，基于第二驱动部件的驱动使得支撑筒旋转，所述检测装置以检测出支撑筒上托盘上的定位点，基于第一驱动部件的驱动使得旋转底座在沿支撑筒旋转的同时推动对中部件使其将托盘往中间夹紧，以对该托盘对中。这样通过该定位机构现托盘的角度定位和居中定位，可以节省设备的使用空间。备的使用空间。备的使用空间。

【技术实现步骤摘要】
一种托盘定位机构及控制方法


[0001]本申请涉及半导体设备领域，具体地涉及一种托盘定位机构及控制方法。

技术介绍

[0002]外延生长准备阶段需要将晶圆放入托盘的收纳部，然后被传输至反应腔中晶圆进行外延生长。现有真空腔室内部托盘定位，一般是采用多个机构从不同的角度动作，从边上往中间推动托盘，从而实现托盘的定中心，也有使用单边靠边定位，及通过机构的动作，将托盘推到一边，从而实现定位。这些方式下通过多个结构同时去推托盘，在位置调整时居中比较难调整且设备的结构比较复杂，成本高且稳定性差，居中不准时晶圆放置于托盘上时经常不能准确的放置(以6英寸晶圆为例，其切边无法可靠的放置于托盘的预定位置)，容易出现飞片的现象。若采用单边定位，托盘备架在靠边上，距离上很难实现。另外现有的结构下很难实现对托盘的角度调整，为需要额外设置托盘的角度的工位，这样拉长工序的同时对场地的要求比较高。

技术实现思路

[0003]为解决上述存在的缺点，本申请的目的在于：提供一种托盘定位机构及控制方法。其能可靠对托盘进行对中，且能将托盘调整至预设的角度。
[0004]为了达到以上目的，本申请采用如下技术方案：
[0005]一种托盘定位机构，其包括：
[0006]壳体，所述壳体内配置有支撑筒，所述支撑筒用于承接机械手传输的托盘，所述壳体的一侧配置有第一驱动部件，所述第一驱动部件的输出端穿过所述壳体连接连杆，所述连杆连接套设于所述支撑筒的对中机构，所述对中机构包括旋转底座及对中部件，所述壳体内配置有第二驱动部件及检测装置，
[0007]所述第二驱动部件连接至所述支撑筒，基于第二驱动部件的驱动使得支撑筒旋转，所述检测装置以检测出支撑筒上托盘上的定位点，
[0008]基于第一驱动部件的驱动使得所述旋转底座在沿支撑筒旋转的同时推动所述对中部件使其将所述托盘往中间夹紧，以对所述托盘对中。通过该对中结构实现托盘的角度定位和居中定位，可以节省设备的使用空间。
[0009]在一实施方式中，该旋转底座的周向上配置有复数连接端，
[0010]所述第一驱动部件包括：
[0011]气缸，其输出轴穿过壳体连接至连杆，所述连杆的远离输出轴侧连接所述旋转底座的其中一个连接端，所述气缸固定于气缸支架上，所述气缸支架固定于壳体的一侧，且所述气缸的输出轴穿过壳体的侧壁伸入壳体的腔体内。
[0012]在一实施方式中，该输出轴上套设有波纹管，所述气缸电性连接至控制单元，并基于控制单元的控制所述输出轴动作。
[0013]在一实施方式中，该第二驱动部件包括：
[0014]驱动电机，其固定于所述壳体上，所述驱动电机的输出轴上设置有连接部，传输带套设于所述连接部及所述支撑筒上，
[0015]基于驱动电机的驱动所述传输带旋转进而带动支撑筒同步旋转，所述检测装置以检测所述托盘的定位点。
[0016]在一实施方式中，该支撑筒上套设有轴套，所述轴套的外侧表面上配置有沿其轴向配置的槽，且所述槽的数量与所述旋转底座的连接端的数量相同，
[0017]所述轴套上套设有对中部件，且所述对中部件基于旋转底座的推动沿所述槽滑动。
[0018]在一实施方式中，该对中部件包括：
[0019]基座，其中空设置，所述基座的内侧周向上均匀的配置有滑动部件，所述滑动部件配置有第一滚轮,且所述第一滚轮嵌入所述槽，基于旋转底座的推动所述第一滚轮沿所述槽滑动，
[0020]所述基座的外侧周向上均匀的配置有夹紧部件，且所述夹紧部件与滑动部件一一相对配置，所述夹紧部件用以夹紧所述托盘。
[0021]在一实施方式中，该夹紧部件包括：第一支架、连接件及第二支架，所述第二支架通过连接件枢接于第一支架，所述第二支架沿所述连接件旋转，
[0022]所述第一支架呈L形，其一端固定于基座所述，另一端具有收纳部，所述收纳部内安装有第二滚轮；
[0023]所述第二支架呈L形，其一端侧通过安装部配置有第三滚轮，所述第二支架的远离第三滚轮侧具有平坦部，所述平坦部的端部侧具有凸起，所述凸起用于夹紧所述托盘。
[0024]在一实施方式中，该第一支架上配置有固定件，所述固定件用于固定弹性部件，且所述弹性部件的一侧抵接所述第二支架。
[0025]在一实施方式中，该支撑筒上套设有旋转底座，所述旋转底座的周向上均匀间隔的配置有连接端，所述旋转底座上设置有导向部件，所述导向部件上具有导向面，
[0026]所述连接端包括倾斜部，其具有倾斜面，所述倾斜面延伸至平台面。
[0027]本申请实施例提供一种上述托盘定位机构的控制方法，该控制方法包括如下步骤：
[0028]基于机械手将托盘放置于支撑筒上；
[0029]基于第二驱动部件的驱动使得支撑筒旋转的同时利用检测装置以检测托盘的定位点并反馈至控制单元，以将托盘旋转至预设的角度；
[0030]基于第一驱动部件的推动连杆使得旋转底座沿所述支撑筒旋转，进而使得对中部件夹紧支撑筒上托盘，以对所述托盘的对中。该方法通过一个托盘定位机构实现托盘的角度定位和居中定位，可以节省设备的使用空间。
[0031]有益效果
[0032]本申请提出的托盘定位机构，在一个工位实现对托的盘角度定位和居中定位，这样可以节省设备的使用空间。具体的通过第一驱动部件与对中机构的协同，利用对中机构的夹紧机构对托盘夹紧，在夹紧的同时实现对托盘居中定位。通过第二驱动部件驱动使得支撑筒旋转，利用检测装置检测出托盘的定位点，以将托盘调整至预设的角度，该方式实现无接触式的定位可以提高设备的使用寿命，且可以在真空腔室内实现。下一工序放置晶圆
时，晶圆与托盘的组合精度高。
附图说明
[0033]附图用来提供对本公开技术方案的理解，并且构成说明书的一部分，与本公开的实施例一起用于解释本公开的技术方案，并不构成对本公开技术方案的限制。附图中各部件的形状和大小不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。
[0034]图1为本申请实施例的托盘定位机构的结构示意图。
[0035]图2为本申请实施例的托盘放置于定位机构的结构示意图。
[0036]图3为本申请实施例的定位机构的立体示意图。
[0037]图4为图3的俯视示意图。
[0038]图5、图6为本申请实施例的定位机构连接驱动部件的示意图。
[0039]图6为本申请实施例的晶圆放置于托盘后示意图。
[0040]图7为本申请实施例的定位机构隐去托盘底座的立体示意图。
[0041]图8为本申请实施例的定位机构的内部结构示意图。
[0042]图9为本申请实施例的定位机构的对中机构的立体示意图。
[0043]图10为本申请实施例的定位机构对中托盘的示意图。
具体实施方式
[0044]以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本申请而不限于限制本申请的范围。实施例中采用的实施条件可以如具体厂家的条件做进一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种托盘定位机构，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内配置有支撑筒，所述支撑筒用于承接机械手传输的托盘，所述壳体的一侧配置有第一驱动部件，所述第一驱动部件的输出端穿过所述壳体连接连杆，所述连杆连接套设于所述支撑筒的对中机构，所述对中机构包括旋转底座及对中部件，所述壳体内配置有第二驱动部件及检测装置，所述第二驱动部件连接至所述支撑筒，基于第二驱动部件的驱动使得支撑筒旋转，所述检测装置以检测出支撑筒上托盘上的定位点，基于第一驱动部件的驱动使得所述旋转底座在沿支撑筒旋转的同时推动所述对中部件使其将所述托盘往中间夹紧，以对所述托盘对中。2.如权利要求1所述的托盘定位机构，其特征在于，所述旋转底座的周向上配置有复数连接端，所述第一驱动部件包括：气缸，其输出轴穿过壳体连接至连杆，所述连杆的远离输出轴侧连接所述旋转底座的其中一个连接端，所述气缸固定于气缸支架上，所述气缸支架固定于壳体的一侧，且所述气缸的输出轴穿过壳体的侧壁伸入壳体的腔体内。3.如权利要求2所述的托盘定位机构，其特征在于，所述输出轴上套设有波纹管，所述气缸电性连接至控制单元，并基于控制单元的控制所述输出轴动作。4.如权利要求1所述的托盘定位机构，其特征在于，所述第二驱动部件包括：驱动电机，其固定于所述壳体上，所述驱动电机的输出轴上设置有连接部，传输带套设于所述连接部及所述支撑筒上，基于驱动电机的驱动所述传输带旋转进而带动支撑筒同步旋转，所述检测装置以检测所述托盘的定位点。5.如权利要求1所述的托盘定位机构，其特征在于，所述支撑筒上套设有轴套，所述轴套的外侧表面上配置有沿其轴向配置的槽，且所述槽的数量与所述旋转底座的连接端的数量相同，所述轴套上套设有对中部件，且所述对中部件基于旋转底座的推动沿所述槽滑动。6.如权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢勇，蒲勇，施建新，赵鹏，黄名海，
申请(专利权)人：芯三代半导体科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：