本实用新型专利技术公开了一种可调节的硅片加工夹具，涉及硅片加工领域，该加工夹具旨在解决现在的硅片双面加工时需要从夹持机具上取下手动翻面，使用不方便的技术问题，该加工夹具包括端承台、设置于端承台中间的回转台、设置于回转台上方的后背板、设置于后背板后侧的调控电机，后背板前侧设置有平衡梁，后背板前端左右对称安装有纵向的导轨，导轨前端安装有线性电机，平衡梁上下两端对称安装有垂直油缸，平衡梁前端设置有夹持片，夹持片安装于与其相邻的垂直油缸的液压执行元件顶端，该加工夹具采用调控电机可以带动夹具在竖直平面内进行度的旋转，在对硅片稳定夹持的同时控制硅片翻面或调整倾斜角度以应对不同的加工设备，使用灵活方便。灵活方便。灵活方便。
【技术实现步骤摘要】
一种可调节的硅片加工夹具
[0001]本技术属于硅片加工领域，具体涉及一种可调节的硅片加工夹具。
技术介绍
[0002]得益于半导体行业高速发展，单晶硅材料广泛应用于半导体、电子以及光学领域，常规的单晶硅片为带缺口的圆形结构，而硅片的加工包括抛光、蚀刻等工艺，在加工时需要使用夹具对其进行固定，以提高其稳定性，保证加工质量，传统的夹具较为简单，通常为两块金属板，通过螺栓拧紧的方式将硅片夹紧在金属板之间，在加工时，因为硅片的两个端面都需要进行加工，操作人员需要将硅片从夹持机具上取下后进行翻面，使用不方便。
[0003]现有公告号为CN209389017U的中国技术专利，其公开了一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。采用本技术可进行均匀的刻蚀，且有效地避免了二次划伤，很好的解决电性能良率低(漏电部分偏大)，大大提高了生产良率。
[0004]因此，针对上述硅片双面加工时需要从夹持机具上取下手动翻面，使用不方便的情况，开发一种新型硅片加工夹具，利用可调高度的电机设备控制夹具带动硅片翻转，免除人工翻面，提高加工效率。
技术实现思路
[0005](1)要解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种可调节的硅片加工夹具，该加工夹具旨在解决现在的硅片双面加工时需要从夹持机具上取下手动翻面，使用不方便的技术问题。
[0007](2)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种可调节的硅片加工夹具，该加工夹具包括端承台、设置于所述端承台中间的回转台、设置于所述回转台上方的后背板、设置于所述后背板后侧的调控电机，所述后背板前侧设置有平衡梁，所述端承台下端左右对称安装有支架，所述端承台下端安装有回转电机，所述回转台安装于所述回转电机的动力输出元件上端，所述后背板下端固定连接有支座，所述后背板前端左右对称安装有纵向的导轨，所述导轨前端安装有线性电机，所述平衡梁设置于所述线性电机之间的前方，所述平衡梁上下两端对称安装有垂直油缸，所述平衡梁前端设置有夹持片，所述夹持片安装于与其相邻的所述垂直油缸的液压执行元件顶端。
[0009]使用本技术方案的一种可调节的硅片加工夹具时，使用人将插接头对准插接孔竖
向安装，令支座落在卡固片之间，然后启动回转电机，带动回转台水平转动，令后背板的前侧朝向操作人员，然后将硅片放在夹持片之间，启动两侧的垂直油缸，带动夹持片对向移动将硅片固定，然后启动线性电机带动夹持机具连同硅片沿导轨纵向移动，直到硅片与相对应的加工设备对接，然后对硅片的上表面进行加工，加工完毕后，启动调控电机，通过传动轴将动力向外输出给平衡梁，令平衡梁转动一百八十度，令硅片翻面，再对硅片的该面进行加工。
[0010]进一步的，所述回转台上端中间开设有插接孔，所述支座下端安装有与所述插接孔适配的插接头，所述插接头设置于所述插接孔内侧，后背板和支座利用插接头与插接孔的竖向插接形成平面锁定，避免水平滑动，提高后背板的稳定性。
[0011]进一步的，所述回转台上端前后对称安装有卡固片，所述卡固片设置于所述支座前后两侧，所述后背板中间纵向开设有通槽，通过卡固片对支座的前后两侧起到限位作用，在使用过程中避免支座及其上部结构相对于回转台发生水平转动。
[0012]进一步的，所述导轨设置于所述通槽左右两侧，所述回转电机前端固定安装有外护套筒，所述外护套筒设置于所述通槽内侧，所述线性电机的外壳之间固定安装有托环，所述外护套筒前端设置于所述托环内侧，线性电机借助托环对外护套筒产生竖向的推拉作用力，带动调控电机、夹具和被夹持的硅片移动到合适的高度。
[0013]进一步的，所述调控电机左右两端固定连接有翼板，所述后背板后侧左右对称安装有限位架，所述翼板设置于所述限位架与所述后背板之间，限位架为L型结构，其上端固定在后背板的顶面，对翼板起到水平限位作用，避免调控电机水平前后移动。
[0014]进一步的，所述后背板后端左右对称开设有限位槽，所述限位槽与所述限位架前后对称纵向平行设置，所述翼板前端固定连接有限位头，所述限位头设置于所述限位槽内侧，调控电机随线性电机纵向移动的过程中通过限位头与限位槽的卡接起到导向作用，并且防止翼板左右滑动。
[0015]进一步的，所述调控电机前端的动力输出元件前端安装有传动轴，所述传动轴设置于所述外护套筒内侧，所述平衡梁后端固定安装有丝头，所述丝头螺纹连接于所述传动轴前端内侧，所述夹持片对向一侧设置有衬垫，调控电机通过传动轴向外输出动力，带动平衡梁及平衡梁上的夹具同步转动，调整硅片的加工角度和平面。
[0016](3)有益效果
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：本技术的一种可调节的硅片加工夹具采用调控电机可以带动夹具在竖直平面内进行360度的旋转，在对硅片稳定夹持的同时控制硅片翻面或调整倾斜角度以应对不同的加工设备，使用灵活方便；利用回转台可以控制上部结构在水平面上360度转动，在端承台固定安装时，方便站在不同方位上的操作人员对设备进行使用；通过线性电机可以带动夹具和硅片纵向移动到合适的高度，并与同相对的加工设备匹配或适应不同身高的操作人员。
附图说明
[0018]图1为本技术一种可调节的硅片加工夹具具体实施方式的组装结构示意图；
[0019]图2为本技术一种可调节的硅片加工夹具具体实施方式的另一状态组装结构示意图；
[0020]图3为本技术一种可调节的硅片加工夹具具体实施方式的后背板与端承台装配结构示意图；
[0021]图4为本技术一种可调节的硅片加工夹具具体实施方式的调控电机、线性电机和平衡梁装配结构示意图。
[0022]附图中的标记为：1、端承台；2、支架；3、回转电机；4、回转台；5、支座；6、后背板；7、导轨；8、线性电机；9、调控电机；10、平衡梁；11、垂直油缸；12、夹持片；13、插接孔；14、插接头；15、卡固片；16、通槽；17、外护套筒；18、托环；19、翼板；20、限位架；21、限位槽；22、限位头；23、传动轴；24、丝头；25、衬垫。
具体实施方式
[0023]本具体实施方式是用于一种可调节的硅片加工夹具，其组装结构示意图如图1所示，另一状态组装结构示意图如图2所示，后背板6与端承台1装配结构示意图如图3所示，调控电机9、线性电机8和平衡梁10装配结构示意图如图4所示，该加工夹具包括端承台1、设置于所述端承台1中间的回转台4、设置于所述回转台4上方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调节的硅片加工夹具，该加工夹具包括端承台、设置于所述端承台中间的回转台、设置于所述回转台上方的后背板、设置于所述后背板后侧的调控电机，所述后背板前侧设置有平衡梁；其特征在于，所述端承台下端左右对称安装有支架，所述端承台下端安装有回转电机，所述回转台安装于所述回转电机的动力输出元件上端，所述后背板下端固定连接有支座，所述后背板前端左右对称安装有纵向的导轨，所述导轨前端安装有线性电机，所述平衡梁设置于所述线性电机之间的前方，所述平衡梁上下两端对称安装有垂直油缸，所述平衡梁前端设置有夹持片，所述夹持片安装于与其相邻的所述垂直油缸的液压执行元件顶端。2.根据权利要求1所述的一种可调节的硅片加工夹具，其特征在于，所述回转台上端中间开设有插接孔，所述支座下端安装有与所述插接孔适配的插接头，所述插接头设置于所述插接孔内侧。3.根据权利要求1所述的一种可调节的硅片加工夹具，其特征在于，所述回转台上端前后对称安装有卡固片，所述卡固片设置于所述支座前后两侧，所述后背板中间纵向开...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑松，
申请(专利权)人：安徽晶天新能源科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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