喷淋蚀刻工装底部支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷淋蚀刻工装底部支撑装置，包括支撑板和设置于支撑板上且用于放置玻璃基板的支撑凸台，支撑凸台设置多个且相邻两个支撑凸台之间形成容纳蚀刻液的引流槽，支撑凸台上设置让玻璃基板嵌入的基板支撑槽。本实用新型专利技术的喷淋蚀刻工装底部支撑装置，通过设置支撑凸台对玻璃基板提供支撑，使玻璃基板底部断面均匀与支撑接触，并设置引流槽可以使蚀刻液、蚀刻反应物快速排出，有助于提高玻璃基板产品质量。玻璃基板产品质量。玻璃基板产品质量。

【技术实现步骤摘要】
喷淋蚀刻工装底部支撑装置


[0001]本技术涉及一种喷淋蚀刻工装底部支撑装置。

技术介绍

[0002]平板显示产品的要求不断提高，带动配套产业快速成长随着平板显示产业的发展及人们生活水平的提高，消费者对显示技术和显示产品的要求也不断提高，平板显示产品不断向“薄、轻、节能、高精度”等方向发展，对平板显示器件和相关零组件配套产业如薄化、镀膜、黄光、切割等生产设备的精度和性能要求也越来越高。比如平板显示器所用的玻璃基板越来越薄，如4.3寸液晶显示器玻璃基板的厚度从1mm逐渐下降到0.6mm、0.4mm和0.3mm，又进一步降低到0.2mm、0.15mm甚至更薄，对于薄化行业是一次严峻的挑战，化学蚀刻薄化方式都利用玻璃与化学溶液(HF)产生化学反应(行成“四氟化硅”SiF4)，加上不同物理作用来达到面板薄化目的。其优点是：1.减薄速度较快适合工业化生产；2.可根据需要调节酸液浓度以控制薄化速度。缺点是：薄化后面板表面质量较难控制，许多化学薄化方式需后续抛光处理。现有化学蚀刻薄化方式的主要分类：Dip多片直立浸泡、Spray直立喷洒、Lcascade瀑布本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.喷淋蚀刻工装底部支撑装置，其特征在于：包括支撑板和设置于支撑板上且用于放置玻璃基板的支撑凸台，支撑凸台设置多个且相邻两个支撑凸台之间形成容纳蚀刻液的引流槽，支撑凸台上设置让玻璃基板嵌入的基板支撑槽。2.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻工装底部支撑装置，其特征在于：所有支撑凸台为沿所述支撑板的长度方向依次布置且为等距分布。3.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻工装底部支撑装置，其特征在于：所述支撑凸台为矩形结构。4.根据权利要求1至3任一所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：江梦华，陶方查，马建彪，苗聪，
申请(专利权)人：芜湖长信科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：