一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人制造技术

本发明专利技术属于机器人技术领域，涉及一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于所述移动机构上的硅片夹取机构和水箱，所述水箱向上开口且开口处设有遮挡组件，所述遮挡组件包括一对夹紧块、驱动所述夹紧块互相靠近的驱动机构以及用所述夹紧块拉出以遮挡所述开口的密封罩。本搬运机器人在移动的时候能够利用遮挡组件将水箱的开口遮住，以免水箱内的液体在刹车、转向、原地启动引起的惯性力作用下溅出，避免了污染环境和使硅片接触空气的风险。风险。风险。

【技术实现步骤摘要】
一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人


[0001]本专利技术涉及机器人
，特别涉及一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人。

技术介绍

[0002]搬运机器人为应用机器人运动轨迹实现代替人工搬运的自动化产品，也是近代自动控制领域出现的一项高新技术，涉及到了力学、机械学、电器液压气压技术、自动控制技术、传感器技术、单片机技术和计算机技术等学科领域，已成为现代机械制造生产体系中的一项重要组成部分，它的优点是可以通过编程完成各种预期的任务，在自身结构和性能上有了人和机器的各自优势，尤其体现出了人工智能和适应性。
[0003]因半导体产业中，芯片制造工艺中的硅片湿制程需求，硅片在湿制程加工过程中需浸泡在水中。硅片湿制程工艺时，因为物料需要在水介质中去除杂质，硅片不能接触到空气，所以在搬运途中硅片也需要在液体中进行浸泡。但是搬运途中会遇到刹车、转向、原地启动的情况，受惯性力影响会导致水箱内液体溅出，污染环境且容易造成硅片接触空气的风险。
[0004]因此有必要开发一种防溅水的搬运机器人来解决以上问题。

技术实现思路
<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于所述移动机构上的硅片夹取机构和水箱，其特征在于：所述水箱向上开口且开口处设有遮挡组件，所述遮挡组件包括一对夹紧块、驱动所述夹紧块互相靠近的驱动机构以及用所述夹紧块拉出以遮挡所述开口的密封罩。2.根据权利要求1所述的防溅水的硅片湿制程搬运机器人，其特征在于：所述硅片夹取机构的两侧对称设有两个水箱。3.根据权利要求1或2所述的防溅水的硅片湿制程搬运机器人，其特征在于：所述驱动机构联动驱动两个夹紧块以相同速度靠近合拢。4.根据权利要求3所述的防溅水的硅片湿制程搬运机器人...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟秋振，关慷慨，左仁元，
申请(专利权)人：友上智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：