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本发明属于机器人技术领域，涉及一种防溅水的硅片湿制程搬运机器人，包括移动机构以及位于所述移动机构上的硅片夹取机构和水箱，所述水箱向上开口且开口处设有遮挡组件，所述遮挡组件包括一对夹紧块、驱动所述夹紧块互相靠近的驱动机构以及用所述夹紧块拉出以...
该专利属于友上智能科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友上智能科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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