一种硅片表面清洗烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面清洗烘干装置，涉及硅片加工技术领域，该装置旨在解决现有技术下无法将硅片分散开来，硅片在清洗过程中容易堆积在一起，导致堆积在内部的硅片无法清理到位的技术问题。该装置包括储水罐、设置于储水罐上侧的清洗罐、设置于清洗罐上侧的顶盖、设置于顶盖上侧的烘干组件、设置于清洗罐内侧的清洗组件；其中，储水罐和清洗罐左侧设有连接水管，连接水管末端设有水泵，储水罐前侧设有进水口，储水罐右侧设有出水口，出水口上侧设有排污口，储水罐内侧设有过滤网。该装置通过清洗组件的设置，可以在清洗过程中对硅片进行搅拌，将硅片分散开来，从而避免硅片堆积在一起而存在一定的卫生死角。堆积在一起而存在一定的卫生死角。堆积在一起而存在一定的卫生死角。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面清洗烘干装置


[0001]本技术属于硅片加工
，具体涉及一种硅片表面清洗烘干装置。

技术介绍

[0002]目前，随着半导体
的不断发展，对硅片的需求也日益增多，硅片表面可以集成数万个晶体管，由硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，硅片在生产加工过程中需要进行严格的清洗，避免微量元素污染而导致硅片失效的情况发生。
[0003]目前，专利号为CN202121233010.1的技术公开了一种硅片清洗烘干装置，属于硅片清洗装置领域，该一种硅片清洗烘干装置，包括清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵，所述清洗箱一端开通，所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁，所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机，所述支架固定在所述清洗箱顶面，所述电动推杆固定在所述支架一侧，所述盖板固定在所述电动推杆输出端，所述热风机固定在所述盖板一侧，所述热风机一端连接有风管，所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部，该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附，使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好。但是该申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面清洗烘干装置，该装置包括储水罐、设置于所述储水罐上侧的清洗罐、设置于所述清洗罐上侧的顶盖、设置于所述顶盖上侧的烘干组件、设置于所述清洗罐内侧的清洗组件；其特征在于，所述储水罐和所述清洗罐左侧设有连接水管，所述连接水管末端设有水泵，所述储水罐前侧设有进水口，所述储水罐右侧设有出水口，所述出水口上侧设有排污口，所述储水罐内侧设有过滤网，所述排污口设置在所述过滤网上侧，所述清洗罐右侧设有出气管，所述出气管上侧设有出气罩。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洗烘干装置，其特征在于，所述烘干组件包括密封盖，所述密封盖下侧设有喷头，所述喷头下侧设有均匀分布的喷嘴。3.根据权利要求2所述的一种硅片表面清洗烘干...

【专利技术属性】
技术研发人员：余江湖，郑松，刘君，
申请(专利权)人：安徽晶天新能源科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：