避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统技术方案

本实用新型专利技术避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统包括通过一管路相互连接的一浸泡槽、一粗过滤装置、以及一泵浦，以及一设置在所述浸泡槽中的晶圆振动装置。所述浸泡槽具有一上槽体以及一下槽体，所述下槽体具有一倾斜面以让自晶圆表面剥落的金属片能够顺畅地沿所述倾斜面下滑到所述下槽体下方的管路，并被过滤和回收。并被过滤和回收。并被过滤和回收。

【技术实现步骤摘要】
避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统


[0001]本技术关于一种晶圆表面清洗系统，尤指一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统。

技术介绍

[0002]针对晶圆表面图案较复杂之光阻去除(Photoresist Stripping)或金属剥除 (Metal Lift
‑
off)制程，一般会先将晶圆批次放入在浸泡槽(Soaking Tank)进行批次晶圆浸泡清洗，去除大部份金属与光阻，后续使用单晶圆旋转清洗设备(SingleWafer Spin Processor)清洗残留物。
[0003]在采用浸泡槽清洗的过程中，若从晶圆表面剥除下来的为小尺寸金属碎屑与光阻碎屑，则可顺利随药液流动，带有这些金属碎屑及光阻碎屑的药液可藉由与浸泡槽连接的管路流动到过滤器进行杂质过滤，以便能回收药液供重复使用。然而，若由晶圆剥除下来的为大块片状金属块与光阻块时，这些块体则时常滞留堵塞于浸泡槽(Soaking Tank)之下槽体处，进而造成光阻去除或金属剥除制程无法顺利进行。此乃因自晶圆上剥落金属块及光阻块呈现大块片状，除不易在药液中流动外，也不利于通过相对狭小的管路，导致所述剥落的大块片状金属块和光阻块容易堆积于所述浸泡槽的内表面，且较下方的金属块和光阻块频繁堵塞于下槽体与其下方的管路，进而造成清洗制程需中断以解决堵塞问题，使得清洗制程无法反复顺畅实施，除降低了晶圆清洗的效率外，也降低了晶圆的产率。

技术实现思路

[0004]本技术主要目的在于提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其可防止晶圆浸泡到浸泡槽内用于剥离晶圆表面上金属与光阻的药液后，剥落的之大块片状金属块与光阻块堵塞下槽体与循环管路，并回收有用的金属。
[0005]为达上述目的，本技术提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，包括：
[0006]一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角；
[0007]一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端；
[0008]一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及
[0009]一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。
[0010]于本技术较佳实施例中，所述振动平台的所述底部与所述下槽体的所述上开
口端的间距为5至10mm。
[0011]于本技术较佳实施例中，所述振动平台用于上下振动，且所述振动平台于振动时的最低点高于所述下槽体的所述上开口端。
[0012]于本技术较佳实施例中，所述振动平台连接到一振动驱动机构，所述振动驱动机构用于输出动力以驱动所述振动平台进行振动。
[0013]于本技术较佳实施例中，所述管路为一循环管路，用于使所述药液自所述浸泡槽流出后回流至所述浸泡槽中。
[0014]于本技术较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一精过滤装置，所述精过滤装置用于对所述药液进行过滤，所述精过滤装置上形成一入口端以通过所述管路与所述泵浦连接，所述精过滤装置上形成一出口端以通过所述管路与所述浸泡槽的所述上槽体连接，且所述精过滤装置上形成一回收出口端。
[0015]于本技术较佳实施例中，所述精过滤装置的杂质过滤尺寸小于所述粗过滤装置的杂质过滤尺寸。
[0016]于本技术较佳实施例中，所述粗过滤装置用于过滤片状或块状杂质，所述精过滤装置用于过滤粒状杂质。
[0017]于本技术较佳实施例中，所述精过滤装置为一旋涡流离心过滤装置，所述旋涡流离心过滤装置为一无滤芯结构，且用于对所述药液施加旋转离心力而分离出所述药液中的金属。
[0018]于本技术较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一过滤物搜集回收容器，所述过滤物搜集回收容器连接到所述精过滤装置的所述回收出口端，用于收集自所述精过滤装置所滤出的所述药液中的金属。
[0019]于本技术较佳实施例中，所述浸泡槽进一步包括至少一喷嘴，所述喷嘴设置在所述上槽体内壁，连接到所述管路，且用于将所述药液喷洒到所述振动平台上方。
[0020]于本技术较佳实施例中，所述浸泡槽的所述喷嘴为两组喷嘴，所述两组喷嘴以非对称方式设置在所述上槽体的内壁。
[0021]于本技术较佳实施例中，所述浸泡槽进一步包括一溢流槽体，所述溢流槽体围绕设置在所述上槽体的外侧，在所述溢流槽体内形成一溢流腔室以容纳药液，且所述溢流腔室的底端高于所述上腔室的底端。
[0022]于本技术较佳实施例中，所述倾斜角为50至60度。
[0023]于本技术较佳实施例中，所述下槽体呈锥体状。
[0024]于本技术较佳实施例中，所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状。
[0025]于本技术较佳实施例中，所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙。
[0026]于本技术较佳实施例中，所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间的所述间隙为10至15mm。
[0027]于本技术较佳实施例中，所述粗过滤装置内设置有一滤芯，在所述粗过滤装置上设置有一清洗排放管。
[0028]本技术另一目的在于提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，包括：
[0029]一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角，所述倾斜角为50至60度；
[0030]一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端，其中所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙，且所述间隙为10至15mm；
[0031]一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及
[0032]一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。
[0033]藉由上述技术手段，本技术至少具备下列优点：
[0034]1、本技术将所述下槽体的倾斜面采用高倾斜角度(50至60度)设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其特征在于包括：一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角；一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端；一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。2.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台的所述底部与所述下槽体的所述上开口端的间距为5至10mm。3.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台用于上下振动，且所述振动平台于振动时的最低点高于所述下槽体的所述上开口端。4.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台连接到一振动驱动机构，所述振动驱动机构用于输出动力以驱动所述振动平台进行振动。5.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述管路为一循环管路，用于使所述药液自所述浸泡槽流出后回流至所述浸泡槽中。6.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述晶圆表面清洗系统进一步包括一精过滤装置，所述精过滤装置用于对所述药液进行过滤，所述精过滤装置上形成一入口端以通过所述管路与所述泵浦连接，所述精过滤装置上形成一出口端以通过所述管路与所述浸泡槽的所述上槽体连接，且所述精过滤装置上形成一回收出口端。7.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述精过滤装置的杂质过滤尺寸小于所述粗过滤装置的杂质过滤尺寸。8.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述粗过滤装置用于过滤片状或块状杂质，所述精过滤装置用于过滤粒状杂质。9.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述精过滤装置为一旋涡流离心过滤装置，所述旋涡流离心过滤装置为一无滤芯结构，且用于对所述药液施加旋转离心力而分离出所述药液中的金属。10.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述晶圆表面清洗系统进一步包括一过滤物搜集回收容器，所述过滤物搜集回收容器连接到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱云正，陈建胜，
申请(专利权)人：弘塑科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：