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本实用新型公开了一种硅片表面清洗烘干装置，涉及硅片加工技术领域，该装置旨在解决现有技术下无法将硅片分散开来，硅片在清洗过程中容易堆积在一起，导致堆积在内部的硅片无法清理到位的技术问题。该装置包括储水罐、设置于储水罐上侧的清洗罐、设置于清洗罐...
该专利属于安徽晶天新能源科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽晶天新能源科技有限责任公司授权不得商用。

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