一种真空等离子清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空等离子清洗机，包括机壳、真空腔体、温度探头、托盘和电极板，真空腔体安装于机壳上，真空腔体上设有抽气管口和进气管；多个所述电极板安装于所述真空腔体内，任意两个电极板之间设有一个所述托盘；所述电极板上设有冷却管道，所述温度探头设于电极板上并伸入冷却管道。本真空等离子清洗机通过将托盘设于两个电极板之间，使得托盘的上方和下方都能够靠近经电极板电离产生的等离子体，有利于均匀地清洗工件的表面；在多个电极板上分别设置冷却管道，能够防止真空腔体内各个区域的温度过高导致工件表面处理效果不均匀；温度探头配合冷却管道可使真空腔体内的各个区域均能保持良好的工作温度。各个区域均能保持良好的工作温度。各个区域均能保持良好的工作温度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空等离子清洗机


[0001]本技术涉及等离子清洗设备
，尤其涉及一种真空等离子清洗机。

技术介绍

[0002]等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体与被处理物体表面产生化学作用和物理变化来达到常规清洗方法无法达到的效果。现有的真空等离子清洗机在使用时对真空腔室内的电极温度无特殊要求，产品治具结构也比较常规。等离子在长时间处理过程中温度升高，一方面会导致被处理工件变形变色，另一方面不同区域的温度差异也会使得电极放电不均匀，导致工件表面的处理效果不够均匀。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种能够控制真空腔室内部温度的真空等离子清洗机。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种真空等离子清洗机，包括机壳、真空腔体、温度探头、托盘和电极板，真空腔体安装于机壳上，真空腔体上设有抽气管口和进气管；多个所述电极板安装于所述真空腔体内，任意两个电极板之间设有一个所述托盘；所述电极板上设有冷却管道，所述温度探头设于电极板上并伸入冷却管道。
[0005]进一步的，还包括冷却机和阀门，所述冷却管道的两端分别连通所述电极板的外侧面形成进水口和出水口，所述进水口和出水口分别通过所述阀门连通所述冷却机。
[0006]进一步的，所述真空腔体的两侧壁的内侧面上分别设有滑槽，所述电极板的两侧边缘与所述滑槽滑动配合。
[0007]进一步的，所述电极板包括板体以及固设于所述板体两侧的绝缘条，所述绝缘条与所述滑槽滑动配合。
[0008]进一步的，所述电极板和托盘上分别设有多个通气窗口。
[0009]进一步的，所述托盘包括盘体和承托部，所述盘体上还设有缺口，所述承托部固定连接于所述盘体上并围绕所述缺口设置。
[0010]进一步的，还包括视窗玻璃，所述真空腔体包括开合连接的腔壳和盖门，所述腔壳上设有所述抽气管口，所述盖门上设有观察窗，所述视窗玻璃固设于所述盖门上并覆盖所述观察窗。
[0011]进一步的，还包括相连的电源和连接组件，所述电源安装于所述机壳上，所述连接组件远离所述电源的一端伸入所述真空腔体，所述电极板通过所述连接组件连接所述电源。
[0012]进一步的，所述真空腔体内设有安装支架，所述电极板上设有定位凸台，所述安装支架上设有与所述定位凸台配合的定位凹坑。
[0013]进一步的，所述进气管设于所述真空腔体的内侧壁上，且所述进气管的一端连通
所述真空腔体的外侧面形成输气孔，所述进气管上设有多个进气孔。
[0014]本技术的有益效果在于：本真空等离子清洗机通过将托盘设于两个电极板之间，使得托盘的上方和下方都能够靠近经电极板电离产生的等离子体，有利于均匀地清洗工件的表面；在多个电极板上分别设置冷却管道，能够防止真空腔体内各个区域的温度过高导致工件表面处理效果不均匀；温度探头能够实时监测真空腔体内的温度，温度探头配合冷却管道可使真空腔体内的各个区域均能保持良好的工作温度。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例一的真空等离子清洗机的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术实施例一的真空等离子清洗机的内部结构示意图；
[0017]图3为本技术实施例一的真空等离子清洗机中真空腔体的整体结构示意图一；
[0018]图4为本技术实施例一的真空等离子清洗机中真空腔体的整体结构示意图二；
[0019]图5为本技术实施例一的真空等离子清洗机的部分结构示意图；
[0020]图6为本技术实施例一的真空等离子清洗机的部分结构剖视图；
[0021]图7为本技术实施例一的真空等离子清洗机中部分结构爆炸视图；
[0022]图8为本技术实施例一的真空等离子清洗机中电极板的结构示意图；
[0023]图9为本技术实施例一的真空等离子清洗机中电极板的剖视图；
[0024]图10为本技术实施例一的真空等离子清洗机中托盘的结构示意图。
[0025]标号说明：
[0026]1、机壳；
[0027]2、真空腔体；21、腔壳；211、抽气管口；212、进气管；2121、输气孔；213、滑槽；22、盖门；221、观察窗；222、视窗玻璃；
[0028]3、托盘；31、盘体；311、缺口；32、承托部；
[0029]4、电极板；41、温度探头；42、板体；421、冷却管道；422、通气窗口；43、绝缘条；44、阀门；45、定位凸台；
[0030]5、冷却机；
[0031]6、安装支架；61、连接组件；62、盖板；63、槽板；631、定位凹坑；
[0032]7、电源；
[0033]8、真空泵。
具体实施方式
[0034]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0035]请参照图1至图10，一种真空等离子清洗机，包括机壳1、真空腔体2、温度探头41、托盘3和电极板4，真空腔体2安装于机壳1上，真空腔体2上设有抽气管口211和进气管212；多个所述电极板4安装于所述真空腔体2内，任意两个电极板4之间设有一个所述托盘3；所述电极板4上设有冷却管道421，所述温度探头41设于电极板4上并伸入冷却管道421。
[0036]本技术的工作原理简述如下：使用前，令真空腔体2上的抽气管口211连通外部抽气设备，令进气管212连通外部供气设备，电极板4连接电源7，冷却管道421连通外部的冷却机5；使用时，将待清洗的工件放置于托盘3上，随后封闭真空腔体2；抽气设备通过抽气管口211为真空腔体2内抽真空，随后供气设备通过进气管212向真空腔体2内输入工艺气体，电极板4释放高频高压电，高频电场与真空腔体2内的工艺气体产生反应形成等离子体，等离子体与被处理物体表面产生化学作用和物理变化实现清洗；于此同时，各个电极板4上的温度探头41实时监测真空腔体2内各个区域的温度，当某个温度探头41监测到温度过高时，该温度探头41所在的冷却管道421内的冷却液将在冷却机5的驱动下循环流动，从而实现降温。
[0037]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：本真空等离子清洗机通过将托盘3设于两个电极板4之间，使得托盘3的上方和下方都能够靠近经电极板4电离产生的等离子体，有利于均匀地清洗工件的表面；在多个电极板4上分别设置冷却管道421，能够防止真空腔体2内各个区域的温度过高导致工件表面处理效果不均匀；温度探头41能够实时监测真空腔体2内的温度，温度探头41配合冷却管道421可使真空腔体2内的各个区域均能保持良好的工作温度。
[0038]进一步的，还包括冷却机5和阀门44，所述冷却管道421的两端分别连通所述电极板4的外侧面形成进水口和出水口，所述进水口和出水口分别通过所述阀门44连通所述冷却机5。
[0039]由上述描述可知，冷却机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空等离子清洗机，其特征在于：包括机壳、真空腔体、温度探头、托盘和电极板，真空腔体安装于机壳上，真空腔体上设有抽气管口和进气管；多个所述电极板安装于所述真空腔体内，任意两个电极板之间设有一个所述托盘；所述电极板上设有冷却管道，所述温度探头设于电极板上并伸入冷却管道。2.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于：还包括冷却机和阀门，所述冷却管道的两端分别连通所述电极板的外侧面形成进水口和出水口，所述进水口和出水口分别通过所述阀门连通所述冷却机。3.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于：所述真空腔体的两侧壁的内侧面上分别设有滑槽，所述电极板的两侧边缘与所述滑槽滑动配合。4.根据权利要求3所述的真空等离子清洗机，其特征在于：所述电极板包括板体以及固设于所述板体两侧的绝缘条，所述绝缘条与所述滑槽滑动配合。5.根据权利要求1所述的真空等离子清洗机，其特征在于：所述电极板和托盘上分别设有多个通气窗口。6.根据权利要求1所述的真空等离子...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗弦，
申请(专利权)人：广东澳地特电气技术有限公司，
类型：新型
国别省市：