微波等离子清洗腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了微波等离子清洗腔体，包括壳体、馈入通道、石英玻璃和缝隙天线，所述壳体内设有治具，壳体的顶面和底面分别设有进气管口和抽气管口；所述壳体的两侧分别设有一个窗口，所述石英玻璃封闭窗口；所述馈入通道设于所述窗口外侧，且馈入通道与壳体之间通过所述缝隙天线隔开。本微波等离子清洗腔体通过在壳体的相对两侧设置馈入通道，令设于馈入通道与壳体之间的缝隙天线将馈入通道中的微波辐射入壳体的内部空间中，能够有效增加微波馈入面积，从而增大对产品表面的处理面积，缩短处理时间，提高产品表面处理的均匀性和整体效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
微波等离子清洗腔体


[0001]本技术涉及等离子清洗设备
，尤其涉及微波等离子清洗腔体。

技术介绍

[0002]微波等离子清洗技术可应用于材料表面改性、刻蚀及清洗；等离子化学气相沉积、溅射等领域。微波等离子真空清洗设备主要由真空系统、水冷系统、控制系统、微波源和波导耦合系统组成。然而，市面上微波真空等离子清洗设备普遍是单微波口馈入，生成的等离子体云面积小且主要集中在馈口处，通过设置在清洗腔体内的转盘驱使待清洗产品旋转来提高处理效果和表面处理均匀性，导致腔体结构复杂，处理面积小，处理时间久。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种清洗效果更好，更高效的微波等离子清洗腔体。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：微波等离子清洗腔体，包括壳体、馈入通道、石英玻璃和缝隙天线，所述壳体内设有治具，壳体的顶面和底面分别设有进气管口和抽气管口；所述壳体的两侧分别设有一个窗口，所述石英玻璃封闭窗口；所述馈入通道设于所述窗口外侧，且馈入通道与壳体之间通过所述缝隙天线隔开。
[0005]进一步的，还包括短路器，所述馈入通道的一侧壁开放设置，所述缝隙天线覆盖所述馈入通道的侧壁开放口；所述馈入通道的一端开放形成微波馈入口，另一端设有所述短路器。
[0006]进一步的，所述壳体包括腔壳和底板，所述腔壳和底板固定连接并合围形成一内装空腔，所述腔壳的两侧壁上设有所述窗口，所述底板与腔壳之间设有第一密封圈和第一微波屏蔽圈。
[0007]进一步的，还包括匀气板，所述匀气板固定连接于所述壳体内并将所述内装空腔分隔为收容腔和匀气腔，所述治具设于所述收容腔中，所述进气管口连通所述匀气腔，所述匀气板上阵列地设有多个连通所述收容腔和匀气腔的气孔。
[0008]进一步的，还包括支架，所述支架包括承托板和支脚，所述承托板通过所述支脚固定连接于所述壳体内，所述抽气管口设于所述承托板的正下方，所述治具设于所述承托板的顶面上。
[0009]进一步的，所述治具包括滑轨和支撑件，所述滑轨固定连接于所述壳体内，所述支撑件与所述滑轨滑动配合。
[0010]进一步的，所述石英玻璃与所述壳体之间设有第二密封圈，所述第二密封圈环绕所述窗口。
[0011]进一步的，所述缝隙天线与所述壳体之间设有第二微波屏蔽圈，所述第二微波屏蔽圈环绕所述窗口。
[0012]进一步的，还包括视窗玻璃，所述壳体的一侧壁上开设有观察窗，所述视窗玻璃封
闭所述观察窗，且所述视窗玻璃上贴附有导电膜。
[0013]进一步的，所述缝隙天线上设有冷却管道，所述冷却管道的两端连通所述缝隙天线的外表面形成进水口和出水口。
[0014]本技术的有益效果在于：本微波等离子清洗腔体通过在壳体的相对两侧设置馈入通道，令设于馈入通道与壳体之间的缝隙天线将馈入通道中的微波辐射入壳体的内部空间中，能够有效增加微波馈入面积，从而增大对产品表面的处理面积，缩短处理时间，提高产品表面处理的均匀性和整体效率。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例一的微波等离子清洗腔体的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术实施例一的微波等离子清洗腔体的部分结构爆炸视图；
[0017]图3为本技术实施例一的微波等离子清洗腔体的剖视图；
[0018]图4为图3中A部分的细节放大图；
[0019]图5为本技术实施例一的微波等离子清洗腔体中支架和治具的结构示意图；
[0020]图6为本技术实施例一的微波等离子清洗腔体中缝隙天线的剖视图。
[0021]标号说明：
[0022]1、壳体；11、腔壳；111、进气管口；112、抽气管口；113、观察窗；12、底板；13、视窗玻璃；
[0023]2、馈入通道；21、微波馈入口；22、短路器；
[0024]3、石英玻璃；
[0025]4、缝隙天线；41、冷却管道；42、进水口；43、出水口；
[0026]5、治具；51、滑轨；52、支撑件；
[0027]61、第一密封圈；62、第二密封圈；
[0028]71、第一微波屏蔽圈；72、第二微波屏蔽圈；
[0029]8、匀气板；
[0030]9、支架；91、承托板；92、支脚。
具体实施方式
[0031]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0032]请参照图1至图6，微波等离子清洗腔体，包括壳体1、馈入通道2、石英玻璃3和缝隙天线4，所述壳体1内设有治具5，壳体1的顶面和底面分别设有进气管口111和抽气管口112；所述壳体1的两侧分别设有一个窗口，所述石英玻璃3封闭窗口；所述馈入通道2设于所述窗口外侧，且馈入通道2与壳体1之间通过所述缝隙天线4隔开。
[0033]从上述描述可知，本技术的有益效果在于：本微波等离子清洗腔体通过在壳体1的相对两侧设置馈入通道2，令设于馈入通道2与壳体1之间的缝隙天线4将馈入通道2中的微波辐射入壳体1的内部空间中，能够有效增加微波馈入面积，从而增大对产品表面的处理面积，缩短处理时间，提高产品表面处理的均匀性和整体效率。
[0034]进一步的，还包括短路器22，所述馈入通道2的一侧壁开放设置，所述缝隙天线4覆
盖所述馈入通道2的侧壁开放口；所述馈入通道2的一端开放形成微波馈入口21，另一端设有所述短路器22。
[0035]由上述描述可知，短路器22可将馈入通道2中的电磁能量全部反射回去，配合缝隙天线4可使等离子体均匀地分布在壳体1的内侧面。
[0036]进一步的，所述壳体1包括腔壳11和底板12，所述腔壳11和底板12固定连接并合围形成一内装空腔，所述腔壳11的两侧壁上设有所述窗口，所述底板12与腔壳11之间设有第一密封圈61和第一微波屏蔽圈71。
[0037]由上述描述可知，将壳体1拆分为腔壳11和底板12能够方便壳体1的加工成型，第一密封圈61和第一微波屏蔽圈71能够防止工艺气体和微波通过腔壳11和底板12的安装缝隙泄露出来。
[0038]进一步的，还包括匀气板8，所述匀气板8固定连接于所述壳体1内并将所述内装空腔分隔为收容腔和匀气腔，所述治具5设于所述收容腔中，所述进气管口111连通所述匀气腔，所述匀气板8上阵列地设有多个连通所述收容腔和匀气腔的气孔。
[0039]由上述描述可知，匀气板8能够使得从进气管口111进入的工艺气体均匀地渗入壳体1的内腔中，利于提升本清洗腔体对产品表面进行处理的均匀性。
[0040]进一步的，还包括支架9，所述支架9包括承托板91和支脚92，所述承托板91通过所述支脚92固定连接于所述壳体1内，所述抽气管口112设于所述承托板91的正下方，所述治具5设于所述承托板91的顶面上。
[0041]由上述描述可知，将抽气管口112设于承托板91正下方可使抽气管口112本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.微波等离子清洗腔体，其特征在于：包括壳体、馈入通道、石英玻璃和缝隙天线，所述壳体内设有治具，壳体的顶面和底面分别设有进气管口和抽气管口；所述壳体的两侧分别设有一个窗口，所述石英玻璃封闭窗口；所述馈入通道设于所述窗口外侧，且馈入通道与壳体之间通过所述缝隙天线隔开。2.根据权利要求1所述的微波等离子清洗腔体，其特征在于：还包括短路器，所述馈入通道的一侧壁开放设置，所述缝隙天线覆盖所述馈入通道的侧壁开放口；所述馈入通道的一端开放形成微波馈入口，另一端设有所述短路器。3.根据权利要求1所述的微波等离子清洗腔体，其特征在于：所述壳体包括腔壳和底板，所述腔壳和底板固定连接并合围形成一内装空腔，所述腔壳的两侧壁上设有所述窗口，所述底板与腔壳之间设有第一密封圈和第一微波屏蔽圈。4.根据权利要求3所述的微波等离子清洗腔体，其特征在于：还包括匀气板，所述匀气板固定连接于所述壳体内并将所述内装空腔分隔为收容腔和匀气腔，所述治具设于所述收容腔中，所述进气管口连通所述匀气腔，所述匀气板上阵列地设有多个连通所述收容腔和匀气腔的气孔。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗弦，
申请(专利权)人：广东澳地特电气技术有限公司，
类型：新型
国别省市：