一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台制造技术

本发明专利技术公开了一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，涉及六氟化硫充气技术领域，现如今六氟化硫在进行气体转移时采用了充气灌装的方式来完成，六氟化硫具有一定的毒性，在充放气过程中，气体会存在一定的泄露，这类泄露主要是因为连接端口存有一定的缝隙，导致部分气体的泄露，气体泄露直接散落到空气中，本发明专利技术在进行充放气过程中，通过将待充气的装置或容器放置到相应位置通过位置对接使得在进行连接时，连接的更加的精准，后在活动罩的下落包裹下，保证了充气过程中内部保持密封，内部散落的六氟化硫气体能通过输送到收集器的内部，避免外泄，避免六氟化污染环境甚至被工作人员吸食到口鼻。工作人员吸食到口鼻。工作人员吸食到口鼻。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台


[0001]本专利技术涉及六氟化硫充气
，具体为一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台。

技术介绍

[0002]六氟化硫，是一种无机化合物，化学式为SF6，常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体，其被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子
，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。
[0003]对此，中国申请专利号：CN114811413A，公开了一种用于六氟化硫设备的充气装置，包括搬运组件，包括移动小车、设置于所述移动小车底部的固定件，以及设置于所述移动小车背面的支撑件；插头组件，包括第一外管、设置于所述第一外管内部的连接件，以及设置于所述连接件内部的通气件；以及，插座组件，包括第二外管、设置于所述第二外管内部的开关件，以及设置于所述第二外管外壁内部的防漏件。本专利技术通过搬运组件、插头组件以及插座组件的设置，使得本装置在对六氟化硫设备进行充气的时候，在实现操作轻松方便的同时，还能起到防止泄露的作用。
[0004]对此，中国申请专利号：CN105889750A，公开了一种六氟化硫气体零排放充气工具，包括与六氟化硫气室连接的充气接头，所述充气接头与气源之间通过气管连通，所述充气接头一侧的气管接通有气体回收装置。采用本专利技术的技术方案，在充气完成后，通过气管连接的气体回收装置收集气管中残留的六氟化硫气体，在有这种结构的前提下，即使设备气室接口处的气室逆止阀没有及时返回原位将充气接头的气管封闭，充气接头处出现持续漏气的情况，气体回收装置也可以有效地将充气接头处泄露出的六氟化硫气体进行有效地回收，防止气体向外界扩散，造成人员或者设备的险情。
[0005]现如今六氟化硫在进行气体转移时采用了充气灌装的方式来完成，六氟化硫具有一定的毒性，在充放气过程中，气体会存在一定的泄露，这类泄露主要是因为连接端口存有一定的缝隙，导致部分气体的泄露，气体泄露直接散落到空气中。
[0006]针对上述问题，为此，提出一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，解决了
技术介绍
中六氟化硫气体泄露易飘散到空气中的问题。
[0008]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，包括充气平台，充气平台用作充气设备搭建的安装平台，主要用于对器件的支撑；
[0009]所述充气平台包括支撑体，所述支撑体的底端固定连接有底板，所述支撑体的内
部安装有储存罐，所述储存罐的上端连接有充气管，所述充气管的末端固定连接有充气头；
[0010]所述支撑体的顶端连接有消除组件，所述消除组件包括处理仓，所述处理仓的顶端连接有盖板，所述处理仓的上端连接有对接组件，所述对接组件包括活动槽，所述支撑体和处理仓的上端开设有活动槽，所述活动槽的内部嵌入连接有轨迹槽板，所述轨迹槽板的一侧固定连接有活动罩，所述活动罩的背面一侧固定连接有背板，所述背板的上端开设有导通口；
[0011]所述充气头的底端固定连接有连接组件，所述连接组件包括连接管，所述连接管的底端固定连接有定位环，所述定位环的上端连接有定位爪。
[0012]优选的，所述底板的上端固定连接有收集器，所述收集器的上端固定连接有导气管，所述导气管的两侧端分别嵌入到处理仓和收集器的内部。
[0013]优选的，所述处理仓的内部嵌入连接有分离仓，所述处理仓的内部开设有收集仓，所述收集仓的内部固定连接有收集仓，所述收集仓的内部嵌入连接有隔离罩。
[0014]优选的，所述隔离罩包裹在充气管的内部，所述充气管的一侧嵌入到储存罐的内部，所述充气管和充气头保持相连通，连接处通过法兰密封连接。
[0015]优选的，所述活动罩和支撑体之间通过轨迹槽板和活动槽相连接，所述活动罩和支撑体之间滑动连接。
[0016]优选的，所述活动罩的底端包裹有一组密封软垫，所述底板的上端固定连接有对接板，所述对接板和活动罩之间相适配，所述对接板的上端标记有十字形标记线。
[0017]优选的，所述导通口开设有两组，所述导通口位于背板的顶端，所述处理仓靠近背板的一侧设为开口，所述处理仓的末端和背板之间相抵触。
[0018]优选的，所述定位环套接在连接管的底端，所述定位爪也均匀分布在定位环的上端，每组所述定位爪为金属材质制成，每组所述定位爪的内壁设置为圆弧形。
[0019]优选的，所述连接管的内壁固定连接有连接杆，所述连接管的内部嵌入连接有推杆，所述推杆的上端固定连接有滑动槽，所述连接杆贯穿滑动槽的内部。
[0020]优选的，所述滑动槽的内部嵌入连接有复位簧，且复位簧设置有两组，两组所述复位簧的一侧端固定连接在连接杆的上端。
[0021]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0022]1、本专利技术提供的一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，在进行充放气过程中，通过将待充气的装置或容器放置到相应位置通过位置对接使得在进行连接时，连接的更加的精准，后在活动罩的下落包裹下，保证了充气过程中内部保持密封，内部散落的六氟化硫气体能通过输送到收集器的内部，避免外泄，避免六氟化污染环境甚至被工作人员吸食到口鼻。
附图说明
[0023]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术的立体结构示意图；
[0025]图3为本专利技术的活动罩和连接组件结构示意图；
[0026]图4为本专利技术处理仓内部结构示意图；
[0027]图5为本专利技术对接板和活动罩的结构示意图；
[0028]图6为本专利技术连接管和定位环的结构示意图；
[0029]图7为本专利技术连接管的剖面结构示意图。
[0030]图中：1、充气平台；110、支撑体；120、底板；130、充气管；140、充气头；150、储存罐；2、消除组件；210、处理仓；220、盖板；230、导气管；240、收集器；250、收集仓；260、隔离罩；270、分离仓；3、对接组件；310、对接板；320、活动罩；330、轨迹槽板；340、背板；350、活动槽；360、导通口；4、连接组件；410、连接管；420、定位环；430、定位爪；440、推杆；450、滑动槽；460、连接杆；470、复位簧。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]为进一步了解本专利技术的内容，结合附图对本专利技术作详细描述。
[0033]结合图1
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图7，本专利技术的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，包括充气平台(1)，充气平台(1)用作充气设备搭建的安装平台，主要用于对器件的支撑；其特征在于：所述充气平台(1)包括支撑体(110)，所述支撑体(110)的底端固定连接有底板(120)，所述支撑体(110)的内部安装有储存罐(150)，所述储存罐(150)的上端连接有充气管(130)，所述充气管(130)的末端固定连接有充气头(140)；所述支撑体(110)的顶端连接有消除组件(2)，所述消除组件(2)包括处理仓(210)，所述处理仓(210)的顶端连接有盖板(220)，所述处理仓(210)的上端连接有对接组件(3)，所述对接组件(3)包括活动槽(350)，所述支撑体(110)和处理仓(210)的上端开设有活动槽(350)，所述活动槽(350)的内部嵌入连接有轨迹槽板(330)，所述轨迹槽板(330)的一侧固定连接有活动罩(320)，所述活动罩(320)的背面一侧固定连接有背板(340)，所述背板(340)的上端开设有导通口(360)；所述充气头(140)的底端固定连接有连接组件(4)，所述连接组件(4)包括连接管(410)，所述连接管(410)的底端固定连接有定位环(420)，所述定位环(420)的上端连接有定位爪(430)。2.根据权利要求1所述的一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，其特征在于：所述底板(120)的上端固定连接有收集器(240)，所述收集器(240)的上端固定连接有导气管(230)，所述导气管(230)的两侧端分别嵌入到处理仓(210)和收集器(240)的内部。3.根据权利要求1所述的一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，其特征在于：所述处理仓(210)的内部嵌入连接有分离仓(270)，所述处理仓(210)的内部开设有收集仓(250)，所述收集仓(250)的内部固定连接有收集仓(250)，所述收集仓(250)的内部嵌入连接有隔离罩(260)。4.根据权利要求3所述的一种具有防泄漏扩散的六氟化硫自动充气台，其特征在于：所述隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洋洋，石丹芮，汪恒，
申请(专利权)人：安徽广盛真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：