一种高纯气体柔性收集方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯气体柔性收集方法和装置，包括：容器连通气体提纯设备和气体灌装设备；当气体提纯设备和气体灌装设备之间不同步，高纯气体不能顺利进入气体灌装设备，高纯气体滞留在柔性缓冲件与容器之间的高纯气体流通腔处，随着高纯气体流通腔处的高纯气体压力的变化，柔性缓冲件顺着容器移动位置，变化柔性缓冲件的体积；智能控制系统监测高纯气体流通腔处的压力和柔性缓冲件的滑动距离，柔性缓冲件、气体提纯设备和气体灌装设备之间达到平衡；克服了高纯气体的生产提纯灌装过程中，气体提纯设备将高纯气体直接输送至气体灌装设备中，两者中有其一出现问题，会导致高纯气体不能够正常输送，出现局部压力升高，存在安全隐患的技术问题。安全隐患的技术问题。安全隐患的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯气体柔性收集方法和装置


[0001]本专利技术涉及高纯气体用设施
，具体的说是一种高纯气体柔性收集方法和装置。

技术介绍

[0002]高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体，其应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气、保护气、或配制混合气的底气；
[0003]对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如：对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999％的为高纯气体，而对于氧气言，纯度为99.99％即可称为高纯氧；
[0004]在高纯气体的生产提纯灌装过程中，气体提纯设备通常与气体灌装设备直接相连，气体提纯设备将高纯气体输送至气体灌装设备中，因此两者的同步性要求较高，一旦两者中有其一出现问题，会导致高纯气体不能够正常输送，出现局部压力升高，存在安全隐患。

技术实现思路

[0005]针对相关技术中存在的上述不足之处，目的是提供一种高纯气体柔性收集方法和装置，以解决相关技术中的高纯气体的生产提纯灌装过程中，气体提纯设备将高纯气体直接输送至气体灌装设备中，一旦两者中有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于，包括：容器(10)，所述容器(10)内具有中空内腔(11)，所述中空内腔(11)连通气体提纯设备(100)和气体灌装设备(200)；柔性缓冲件(20)，所述柔性缓冲件(20)的一端连接在所述中空内腔(11)内，将所述中空内腔(11)分隔为缓冲腔(111)和高纯气体流通腔(112)，所述高纯气体流通腔(112)连通所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)，所述柔性缓冲件(20)的另一端穿在所述容器(10)上，与所述容器(10)活动连接，随着所述高纯气体流通腔(112)中的高纯气体压力的变化，所述柔性缓冲件(20)顺着所述缓冲腔(111)移动位置，变化所述柔性缓冲件(20)的体积，减小所述缓冲腔(111)的体积，形成柔性缓冲；以及智能控制系统(30)，设置在所述容器(10)处，并且与所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)电性连接，用于监测所述高纯气体流通腔(112)处的压力和所述柔性缓冲件(20)的滑动距离，调节所述气体提纯设备(100)和所述气体灌装设备(200)。2.根据权利要求1所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述容器(10)为圆柱形罐体，具有圆柱形的所述中空内腔(11)。3.根据权利要求2所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述容器(10)的顶部上具有若干个风孔(12)。4.根据权利要求3所述的一种高纯气体柔性收集装置，其特征在于：所述柔性缓冲件(20)包括：气囊体(21)，设置在所述中空内腔(11)中，一端与所述容器(10)的内壁连接，所述气囊体(21)将所述中空内腔(11)分隔为所述缓冲腔(111)和所述高纯气体流通腔(112)；以及滑动压件(22)，底部与所述气囊体(21)的另一端连接，顶部穿出所述容器(10)的顶部，顺着所述容器(10)滑动位置，并且所述滑动压件(22)的自身重量下压所述气囊体(21)。5.根据权利要求4所述的一种高...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪浩，董永健，叶勤荣，刘宁波，金玉仪，魏士凯，王涛，郑雄，
申请(专利权)人：常州机电职业技术学院，
类型：发明
国别省市：