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本发明公开了一种高纯气体柔性收集方法和装置，包括：容器连通气体提纯设备和气体灌装设备；当气体提纯设备和气体灌装设备之间不同步，高纯气体不能顺利进入气体灌装设备，高纯气体滞留在柔性缓冲件与容器之间的高纯气体流通腔处，随着高纯气体流通腔处的高纯...
该专利属于常州机电职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过常州机电职业技术学院授权不得商用。

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