一种激光测量装置、高温设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种激光测量装置、高温设备，装置包括：发射单元，用于发射波长在紫色或紫外波长范围内的激光束，反射单元，用于将激光束反射以将激光束投射至测定对象的被测面上，成像单元，设有弧形凹面，用于对投射至被测面上的激光束中被被测面反射的反射光进行再次反射，并经滤光单元滤除红外光和可见光后，成像在位置探测单元上，控制单元，用于根据位置探测单元输出的被测面在测量点上的当前位置信号，计算其与前一位置信号之间的变化量，确定被测面在测量点上的相对高度变化量。本实用新型专利技术能够有效解决针对高温物体的距离测量问题，并可用于对在高温设备中处于高速旋转中的晶片进行翘曲测量，装置结构简单，适于推广。推广。推广。

【技术实现步骤摘要】
一种激光测量装置、高温设备


[0001]本技术涉及半导体制造测试
，尤其涉及一种用于对高温测定对象的相对位置进行测量的激光测量装置和用于对测定对象进行高温处理并进行位置测量的高温设备。

技术介绍

[0002]半导体晶片在高温设备中进行高温生长膜层过程中，通常会发生不同程度的平面翘曲现象。这种翘曲现象会影响到后续的产品质量，因而需要对翘曲进行测量以控制。
[0003]传统的晶片翘曲测量方法，多采用反射光测量方法，但其存在如下问题：
[0004](1)反射光测量仅能反映晶片表面倾斜的角度，而不能反映晶片的轮廓高度，因而不能直观表征晶片翘曲的程度。
[0005](2)采用反射光测量方法进行翘曲测量，必须假设晶片的主表面是球面的片段，且承载晶片的托盘处于水平状态。由于反射光测量方法反映的是倾斜特征，因此晶片装载的倾斜和支撑底座的倾斜(例如托盘转动影响、托盘加工公差影响等使之倾斜)等因素的存在，都将影响到测量结果的精准度。
[0006](3)现有测量时使用的位移传感器，多采用波长为可见光(例如红光)的激光反射信号测量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光测量装置，其特征在于，包括：设于测定对象上方并依次耦合的发射单元、反射单元、成像单元、滤光单元、位置探测单元和控制单元；所述发射单元用于发射波长在紫色或紫外波长范围内的激光束，所述反射单元用于将所述激光束反射以将所述激光束投射至所述测定对象的被测面上，所述成像单元设有弧形凹面，用于对投射至所述被测面上的所述激光束中被所述被测面反射的反射光进行再次反射，并经所述滤光单元滤除红外光和可见光后，成像在所述位置探测单元上，以生成所述被测面在测量点上的位置信号，所述控制单元用于根据所述位置探测单元输出的所述被测面在测量点上的当前位置信号，计算其与前一位置信号之间的变化量，确定所述被测面在测量点上的相对高度变化量。2.根据权利要求1所述的激光测量装置，其特征在于，还包括：壳体；所述发射单元、所述反射单元、所述成像单元、所述滤光单元和所述位置探测单元设于所述壳体内，所述壳体面向所述测定对象的下端面上设有窗口，所述反射单元通过所述窗口将反射的所述激光束投射至所述测定对象的被测面上，且所述成像单元通过所述窗口对投射至所述被测面上的所述激光束中被所述被测面反射的反射光进行接收以再次反射。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：马法君，吴怡，
申请(专利权)人：楚赟科技绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：