一种用于辉光放电质谱分析的样品载具制造技术

技术编号:36842230 阅读:20 留言:0更新日期:2023-03-15 15:48
本实用新型专利技术涉及一种用于辉光放电质谱分析的样品载具,包括样品载具主体和样品载具基座,样品载具主体的一端开设有用于装载颗粒状、屑状和粉末状样品的载样凹槽;样品载具基座上设有样品载具主体固定端和辉光放电阴极连接端,样品载具主体固定端与样品载具主体的另一端连接,辉光放电阴极连接端与辉光放电阴极连接。样品载具主体上开设有载样凹槽,适用于颗粒状、屑状和粉末状的导体或非导体样品直接装载,样品载具结构简单、操作快速,能够高效地完成辉光放电质谱分析。地完成辉光放电质谱分析。地完成辉光放电质谱分析。

【技术实现步骤摘要】
一种用于辉光放电质谱分析的样品载具


[0001]本技术涉及样品检测工具
,尤其涉及一种用于辉光放电质谱分析的样品载具。

技术介绍

[0002]辉光放电质谱法(GDMS)具有灵敏度高、线性范围宽、全元素分析、重现高等特点,是目前固体材料中痕量及超痕量元素分析的理想手段,可实现百分量级至ppb量级的无标半定量和定量分析,已广泛应用于半导体、航空航天、稀土、生物医药等材料领域。
[0003]GDMS进行固体样品分析时要求样品具有导电性、并满足特定的尺寸要求,块状或片状样品测试面的直径为12

50mm,棒状样品的直径为1

3mm,长20

25mm。对于小尺寸样品,特别是颗粒状、屑状和粉末状样品,进行GDMS分析时通常需要将其压制成合适的尺寸,而非导电样品,则需要与导电粉末混合后压制成合适尺寸。这种方法操作相对繁琐,压制过程易造成样品污染。
[0004]现有技术公开了一种型号为ELEMENT GD辉光放电质谱仪测试小尺寸样品用样品台。高纯铜样品台本体上开有凹槽,凹槽中设有焊锡;高纯铜样品台本体表面的直径为25mm~50mm,高纯铜样品台本体的高度为5mm~20mm;凹槽为圆柱形槽,凹槽的直径>20mm,凹槽的深度≥3mm。该技术适合于小尺寸的块状样品,且样品下表面需要完全覆盖住用于固定的焊锡,若不能完全覆盖,则焊锡也会暴露于辉光放电等离子体中,焊锡中的杂质元素就会影响样品检测。因此该技术不完全适合于颗粒状、屑状和粉末状的样品。若采用大量样品填充该凹槽以达到覆盖焊锡的目的,那么必须保证样品间能够完全粘合,因为该样品台用于测试时并非凹槽朝上安装,而是样品台侧向安装(即凹槽开口朝侧面),样品因不能粘合而出现掉落影响测试的情况。另外即使样品通过压力的方式粘合,所需的样品量也比较多。
[0005]因此,需要一个简单、并能快速操作的样品载具,实现颗粒状、屑状或粉末状样品的辉光放电质谱分析。

技术实现思路

[0006]针对上述现有技术中的至少一个问题,本技术的目的是提供一种用于辉光放电质谱分析的样品载具,适用于颗粒状、屑状或粉末状样品的辉光放电质谱分析。
[0007]为实现上述目的,本技术采取以下技术方案:
[0008]一种用于辉光放电质谱分析的样品载具,包括:
[0009]样品载具主体,一端开设有用于装载颗粒状、屑状和粉末状样品的载样凹槽;
[0010]样品载具基座,设有样品载具主体固定端和辉光放电阴极连接端,所述样品载具主体固定端与所述样品载具主体的另一端连接,所述辉光放电阴极连接端与辉光放电阴极连接。
[0011]优选地,所述样品载具主体为圆柱体,直径范围为2mm

3mm,长度范围为20mm

25mm。
[0012]优选地,所述载样凹槽的截面为长方形。
[0013]优选地,所述载样凹槽的深度范围为1mm

2mm,长度范围为10mm

15mm,宽度范围为1mm

2mm。
[0014]优选地,所述样品载具主体固定端的中心开设有样品载具主体固定孔,所述样品载具主体的另一端插入在所述样品载具主体固定孔中。
[0015]优选地,所述样品载具主体的另一端开设有对穿孔,所述样品载具主体固定端的侧壁设有贯穿所述样品载具主体固定孔的螺纹孔,所述螺纹孔和所述对穿孔上旋有用于将所述样品载具主体固定在所述样品载具主体固定端的旋杆螺栓。
[0016]优选地,所述样品载具主体固定端设有圆柱端,所述圆柱端上设有锥形台,所述锥形台的母线与中心线的夹角为30
°
;所述圆柱端与所述辉光放电阴极连接端连接。
[0017]优选地,所述圆柱端的直径为9mm、长度为9mm;所述锥形台的下底面直径为9mm,上底面直径为3mm,高度为4mm。
[0018]优选地,所述辉光放电阴极连接端设有辉光放电阴极固定槽,所述辉光放电阴极固定槽的中心设有辉光放电阴极连接杆。
[0019]优选地,所述辉光放电阴极固定槽为环形凹槽。
[0020]本技术由于采取以上技术方案,其具有以下优点:
[0021]1.本技术提供的用于辉光放电质谱分析的样品载具,样品载具主体上开设有载样凹槽,适用于颗粒状、屑状和粉末状的导体或非导体样品直接装载,样品载具结构简单、操作快速,能够高效地完成辉光放电质谱分析。
[0022]2.本技术提供的用于辉光放电质谱分析的样品载具,样品载具主体为圆柱体,直径范围为2mm

3mm,长度范围为20mm

25mm,具有更好的测试灵敏度。
[0023]3.本技术提供的用于辉光放电质谱分析的样品载具,载样凹槽的深度范围为1mm

2mm,长度范围为10mm

15mm,宽度范围为1mm

2mm,具有更好的测试稳定性。
[0024]4.本技术提供的用于辉光放电质谱分析的样品载具,载具基座的辉光放电阴极连接端设有辉光放电阴极固定槽,辉光放电阴极连接端与阴极接入口连接,相对于现有的通过卡子固定棒状样品基座于阴极接入口的方式,操作更加方便、并能更好地契合阴极接入口。
附图说明
[0025]图1是本技术一实施例提供的用于辉光放电质谱分析的样品载具的结构示意图。
[0026]图2是本技术该实施例提供的样品载具主体的三维结构示意图。
[0027]图3是本技术该实施例提供的样品载具主体的主视图。
[0028]图4是本技术该实施例提供的样品载具主体的侧视图。
[0029]图5是本技术该实施例提供的样品载具基座的透视结构示意图。
[0030]图6是本技术该实施例提供的样品载具基座的左视图。
[0031]图7是本技术该实施例提供的样品载具基座的右视图。
[0032]附图中标记:
[0033]1为样品载具主体,11为载样凹槽,12为对穿孔,2为样品载具基座,21为样品载具
主体固定端,22为旋杆螺栓,23为样品载具主体固定孔,24为辉光放电阴极固定槽,25为辉光放电阴极连接杆。
具体实施方式
[0034]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0035]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的系统或元件必须具有特定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于辉光放电质谱分析的样品载具,其特征在于,包括:样品载具主体,一端开设有用于装载颗粒状、屑状和粉末状样品的载样凹槽;样品载具基座,设有样品载具主体固定端和辉光放电阴极连接端,所述样品载具主体固定端与所述样品载具主体的另一端连接,所述辉光放电阴极连接端与辉光放电阴极连接。2.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱分析的样品载具,其特征在于,所述样品载具主体为圆柱体,直径范围为2mm

3mm,长度范围为20mm

25mm。3.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱分析的样品载具,其特征在于,所述载样凹槽的截面为长方形。4.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱分析的样品载具,其特征在于,所述载样凹槽的深度范围为1mm

2mm,长度范围为10mm

15mm,宽度范围为1mm

2mm。5.根据权利要求1所述的用于辉光放电质谱分析的样品载具,其特征在于,所述样品载具主体固定端的中心开设有样品载具主体固定孔,所述样品载具主体的另一端插入在...

【专利技术属性】
技术研发人员:李铭刘国江鹏杨紫君莽雯倩张琴高旭升
申请(专利权)人:北京清质分析技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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