本申请提供一种点火装置及炉管设备，所述点火装置包括：点火腔；至少一根进气管，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入至少一种点火气体；出气管，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出点火气体在所述点火腔的燃烧产物；导流挡板，设置于所述点火腔内并靠近所述点火腔的第二端，所述导流挡板上包括多个均匀分布的导流孔；其中，所述至少一根进气管从所述点火腔的第一端在所述点火腔向所述第二端延伸并在与所述导流挡板达到设定间距时回转，使所述至少一根进气管的管口朝向所述第一端。所述进气管末端回转反向，可以改善点火装置火焰不稳定、水蒸气浓度不均匀和点火腔内壁颗粒剥落等问题。腔内壁颗粒剥落等问题。腔内壁颗粒剥落等问题。
【技术实现步骤摘要】
一种点火装置及炉管设备
[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种点火装置及炉管设备。
技术介绍
[0002]炉管设备广泛运用于半导体制程之中，其中常压氧化炉管是常用的制程之一，其主要分为干氧氧化(dry oxide)和湿氧氧化(wetoxide)。湿氧氧化通过氢气和氧气燃烧生成水蒸气的方式，将水蒸气通入炉管腔体，高温下水蒸气和硅片表面发生氧化反应，形成氧化硅。湿氧氧化形成的氧化硅具有氧化速度快，膜质优良等优点。
[0003]随着制程的发展，对湿氧氧化的膜质均匀性的要求不断提高。然而炉管的外点火结构几十年来却没有较好的改善，通进炉管水蒸气的方式也基本没有改良。由于厂务负压波动及气压控制蝶阀控制过程引入的波动，导致水蒸气的浓度分布不均匀以及火焰的波动，导致湿氧氧化制程仍然存在较多的不稳定因素，亟待解决。
[0004]因此，有必要提供更有效、更可靠的技术方案。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种点火装置及炉管设备，可以改善点火装置中火焰不稳定、进入炉管设备的水蒸气浓度不均匀和点火装置点火腔内壁颗粒剥落等问题。
[0006]本申请的一个方面提供一种点火装置，包括：点火腔；至少一根进气管，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入至少一种点火气体；出气管，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出点火气体在所述点火腔的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔的两个相对平面；导流挡板，设置于所述点火腔内并靠近所述点火腔的第二端，所述导流挡板上包括多个均匀分布的导流孔；其中，所述至少一根进气管从所述点火腔的第一端在所述点火腔向所述第二端延伸并在与所述导流挡板达到设定间距时回转，使所述至少一根进气管的管口朝向所述第一端。
[0007]在本申请的一些实施例中，所述至少一根进气管包括第一输气管和第二输气管，所述第二输气管套设于所述第一输气管外，所述第二输气管的末端突出于所述第一输气管的末端，所述第二输气管用于输送氧气。
[0008]在本申请的一些实施例中，所述第一输气管包括进气部分、主体部分和回转部分；所述第二输气管包括进气部分、主体部分和回转部分，所述第二输气管的输送部分和回转部分套设于所述第一输气管的输送部分和回转部分外，所述第一输气管和第二输气管的输送部分贯穿所述点火腔的第一端。
[0009]在本申请的一些实施例中，所述第一输气管和第二输气管的回转部分为类
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型的弯折结构。
[0010]在本申请的一些实施例中，所述类
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型的弯折结构为直角结构或圆弧结构。
[0011]在本申请的一些实施例中，所述点火装置还包括：支架，用于支撑所述第一输气管和第二输气管的回转部分，所述支架的一端与所述点火腔内壁连接，所述支架的另一端与
所述第二输气管的回转部分连接。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述第二输气管的输送部分沿所述点火腔的内壁设置。
[0013]在本申请的一些实施例中，所述至少一根进气管的末端位于所述点火腔的水平中轴线上，所述至少一根进气管的末端位于靠近所述点火腔的第二端的一侧。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述导流挡板包括平行设置的第一导流挡板和第二导流挡板，所述第二导流挡板靠近所述出气管且所述第二导流挡板上导流孔的分布密度大于所述第一导流挡板上导流孔的分布密度。
[0015]在本申请的一些实施例中，所述第二导流挡板上导流孔的孔径小于所述第一导流挡板上导流孔的孔径。
[0016]在本申请的一些实施例中，所述第二导流挡板上导流孔的孔径相同，所述第一导流挡板上导流孔的孔径相同。
[0017]本申请的另一个方面还提供一种炉管设备，包括：反应腔，所述反应腔包括分别设置于所述反应腔两侧的进气管路和排气管路，所述进气管路沿所述反应腔的侧壁设置，所述进气管路的进口位于所述反应腔底部，所述进气管路的出口位于所述反应腔顶部，所述排气管路连接所述反应腔底部；如上述所述的点火装置，所述点火装置的出气管与所述进气管路的进口连通。
[0018]本申请提供一种点火装置及炉管设备，点火装置中进气管末端回转反向，使燃烧产物具有缓冲空间，结合导流挡板对气体的导流，可以改善点火装置中火焰不稳定、进入炉管设备的水蒸气浓度不均匀和点火装置点火腔内壁颗粒剥落等问题。
附图说明
[0019]以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的专利技术意图。应当理解，附图未按比例绘制。
[0020]其中：
[0021]图1为一种点火装置的结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例所述的点火装置的结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例所述的点火装置中第一输气管的结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例所述的点火装置中第二输气管的结构示意图；
[0025]图5为本申请实施例所述的点火装置中至少一根进气管的结构示意图；
[0026]图6为本申请实施例所述的点火装置中第一导流挡板的结构示意图；
[0027]图7为本申请实施例所述的点火装置中第二导流挡板的结构示意图；
[0028]图8为本申请实施例所述的点火装置的第一截面图；
[0029]图9为本申请实施例所述的点火装置的第二截面图；
[0030]图10为本申请实施例所述的炉管设备的结构示意图。
具体实施方式
[0031]以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本申请不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。
[0032]下面结合实施例和附图对本专利技术技术方案进行详细说明。
[0033]图1为一种点火装置100的结构示意图。
[0034]参考图1所示，所述点火装置100包括：点火腔110；至少一根进气管130，位于所述点火腔110的第一端，被配置为向所述点火腔110内通入至少一种点火气体；出气管120，位于所述点火腔110的第二端，被配置为导出点火气体在所述点火腔110的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔110的两个相对平面。其中，所述至少一根进气管130包括第一输气管131和第二输气管132，所述第一输气管131用于输入氢气，所述第二输气管132用于输入氧气，所述第二输气管132的一部分套设于所述第一输气管131外。通入氧气和氢气时，氧气环绕于第一输气管131外，以保证氧气和氢气离开进气管130进入点火腔110时，氧气能够包围本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种点火装置，其特征在于，包括：点火腔；至少一根进气管，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入至少一种点火气体；出气管，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出点火气体在所述点火腔的燃烧产物，所述第二端与所述第一端位于所述点火腔的两个相对平面；导流挡板，设置于所述点火腔内并靠近所述点火腔的第二端，所述导流挡板上包括多个均匀分布的导流孔；其中，所述至少一根进气管从所述点火腔的第一端在所述点火腔向所述第二端延伸并在与所述导流挡板达到设定间距时回转，使所述至少一根进气管的管口朝向所述第一端。2.如权利要求1所述的点火装置，其特征在于，所述至少一根进气管包括第一输气管和第二输气管，所述第二输气管套设于所述第一输气管外，所述第二输气管的末端突出于所述第一输气管的末端，所述第二输气管用于输送氧气。3.如权利要求2所述的点火装置，其特征在于，所述第一输气管包括进气部分、主体部分和回转部分；所述第二输气管包括进气部分、主体部分和回转部分，所述第二输气管的输送部分和回转部分套设于所述第一输气管的输送部分和回转部分外，所述第一输气管和第二输气管的输送部分贯穿所述点火腔的第一端。4.如权利要求3所述的点火装置，其特征在于，所述第一输气管和第二输气管的回转部分为类
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型的弯折结构。5.如权利要求4所述的点火装置，其特征在于，所述类
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【专利技术属性】
技术研发人员：徐亚平，
申请(专利权)人：中芯南方集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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