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本申请提供一种点火装置及炉管设备，所述点火装置包括：点火腔；至少一根进气管，位于所述点火腔的第一端，被配置为向所述点火腔内通入至少一种点火气体；出气管，位于所述点火腔的第二端，被配置为导出点火气体在所述点火腔的燃烧产物；导流挡板，设置于所述...
该专利属于中芯南方集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯南方集成电路制造有限公司授权不得商用。

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