一种实现硅片无接触传送的传输线制造技术

本发明专利技术公开了一种实现硅片无接触传送的传输线，包括依次设置的前段取片装置以及后段输送装置，所述前段取片装置与后段输送装置连接位置处设置有两组呈对称设置的拨片装置；所述前段取片装置包括前段输送线体以及用于取片的取片板，所述取片板沿前段输送线体长度方向运动；所述后段输送装置包括后段输送线体；所述拨片装置包括拨片输送线体以及位于所述拨片输送线体上的拨动块，所述拨动块跟随拨片输送线体的皮带进行运动。本发明专利技术避免采用皮带摩擦力对硅片进行传输，不会造成硅片与皮带的直接接触，因此能够避免硅片表面受到污染，并且不会因皮带加速度增大导致硅片打滑，保证了硅片的传动效率。硅片的传动效率。硅片的传动效率。

【技术实现步骤摘要】
一种实现硅片无接触传送的传输线


[0001]本专利技术属于硅片传输
，尤其涉及一种实现硅片无接触传送的传输线。

技术介绍

[0002]太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测
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表面制绒及酸洗
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扩散制结
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去磷硅玻璃
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等离子刻蚀及酸洗
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镀减反射膜
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丝网印刷
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快速烧结等。
[0003]扩散制结太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。制造PN结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。因为正是PN结的形成，才使电子和空穴在流动后不再回到原处，这样就形成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。
[0004]在清洗制绒及酸洗后，硅片被传送进花篮，花篮通过花篮传输线传送至硅片传输线前端。此时花篮经过定位固定在花篮升降平台上，准备出片。传输线上分为“前段取片装置”和“后段输送装置”，前端取片装置安装有气缸，可将取片板推动至花篮内，配合花篮升降，通过皮带摩擦力将硅片从花篮中取出并传送至后段硅片载具，但这种传送方式有以下缺点：
[0005]1、因为依靠皮带摩擦力传送硅片，皮带表面容易有水及灰尘等污染，导致硅片表面受到污染；
[0006]2、依靠皮带摩擦力传送硅片，一旦皮带加速度增大，会导致硅片打滑，导致加速度无法提升，影响传动效率；
[0007]3、前段取片装置与后段输送装置之间存在间隙，导致无接触传输皮带无法通过皮带上的驱动块将硅片推过前段取片装置与后段输送装置之间的间隙，无法完成硅片的有效交接。

技术实现思路

[0008]本专利技术克服了现有技术的不足，提供一种实现硅片无接触传送的传输线，以解决现有技术中存在的问题。
[0009]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种实现硅片无接触传送的传输线，包括依次设置的前段取片装置以及后段输送装置，所述前段取片装置与后段输送装置连接位置处设置有两组呈对称设置的拨片装置；
[0010]所述前段取片装置包括前段输送线体以及用于取片的取片板，所述前段输送线体两侧均设置有前段气浮块，所述前段输送线体的皮带上设置有前段驱动块，所述取片板沿前段输送线体长度方向运动；
[0011]所述拨片装置包括拨片输送线体以及位于所述拨片输送线体上的拨动块，所述拨动块跟随拨片输送线体的皮带进行运动。
[0012]本专利技术一个较佳实施例中，所述前段输送线体包括输送安装架、位于所述输送安
装架上的驱动电机以及用于传输的输送皮带，所述前段驱动块位于所述输送皮带上。
[0013]本专利技术一个较佳实施例中，所述输送安装架上设置有驱动气缸，所述取片板通过气浮接头与所述驱动气缸的活塞杆连接。
[0014]本专利技术一个较佳实施例中，所述前段驱动块两两一组，多组前段驱动块沿输送皮带长度方向间隔分布。
[0015]本专利技术一个较佳实施例中，相邻组的前段驱动块之间的间距大于硅片的输送长度。
[0016]本专利技术一个较佳实施例中，所述取片板上设置有取片气浮块。
[0017]本专利技术一个较佳实施例中，两组拨片装置的运动方向相同，所述拨动块进行同向运动。
[0018]本专利技术一个较佳实施例中，所述拨动块的初始位置与所述前段输送线体末端位置对应。
[0019]本专利技术一个较佳实施例中，所述后段输送装置包括后段输送线体，所述后段输送线体两侧均设置有后段气浮块，所述后段输送线体的皮带上设置有后段驱动块。
[0020]本专利技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本专利技术具备以下有益效果：
[0021](1)本专利技术避免采用皮带摩擦力对硅片进行传输，不会造成硅片与皮带的直接接触，因此能够避免硅片表面受到污染，并且不会因皮带加速度增大导致硅片打滑，保证了硅片的传动效率；
[0022](2)拨片装置的存在，能够将硅片从前段取片装置移送至后段输送装置，保证了硅片在前段取片装置与后段输送装置之间的有效交接。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明；
[0024]图1为本专利技术优选实施例的整体结构示意图；
[0025]图2为本专利技术优选实施例前段取片装置未伸出的结构示意图；
[0026]图3为本专利技术优选实施例前段取片装置伸出后的结构示意图；
[0027]图4为本专利技术优选实施例后段输送装置的结构示意图；
[0028]图5为本专利技术优选实施例拨动装置的结构示意图；
[0029]图中：10、前段取片装置；11、前段输送线体；111、输送安装架；112、驱动电机；113、输送皮带；12、取片板；13、前段气浮块；14、前段驱动块；20、后段输送装置；21、后段输送线体；22、后段气浮块；23、后端驱动块；30、拨片装置；31、拨片输送线体；32、拨动块；40、驱动气缸；50、取片气浮块。
具体实施方式
[0030]以下将以图式揭露本专利技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本专利技术。也就是说，在本专利技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0031]另外，在本专利技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称
次序或顺位的意思，亦非用以限定本专利技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本专利技术要求的保护范围之内。
[0032]如图1所示，本实施例提供一种实现硅片无接触传送的传输线，包括依次设置的前段取片装置10以及后段输送装置20，前段取片装置10与后段输送装置20连接位置处设置有两组呈对称设置的拨片装置30。
[0033]结合图1、图2以及图3所示，前段取片装置10包括前段输送线体11以及用于取片的取片板12，前段输送线体11两侧均设置有前段气浮块13，前段输送线体11的皮带上设置有前段驱动块14，取片板12沿前段输送线体11长度方向运动，前段气浮块13能够使硅片进行悬浮，避免硅片与前段输送线体11的皮带接触，而取片板12能够对硅片进行取放，在取片板12上设置有取片气浮块50，能够避免在取片过程中硅片与取片板12接触，保证硅片表面的洁净度，避免硅片表面受到污染。
[0034]具体地，前段输送线体11包括输送安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实现硅片无接触传送的传输线，其特征在于，包括依次设置的前段取片装置(10)以及后段输送装置(20)，所述前段取片装置(10)与后段输送装置(20)连接位置处设置有两组呈对称设置的拨片装置(30)；所述前段取片装置(10)包括前段输送线体(11)以及用于取片的取片板(12)，所述前段输送线体(11)两侧均设置有前段气浮块(13)，所述前段输送线体(11)的皮带上设置有前段驱动块(14)，所述取片板(12)沿前段输送线体(11)长度方向运动；所述拨片装置(30)包括拨片输送线体(31)以及位于所述拨片输送线体(31)上的拨动块(32)，所述拨动块(32)跟随拨片输送线体(31)的皮带进行运动。2.根据权利要求1所述的一种实现硅片无接触传送的传输线，其特征在于，所述前段输送线体(11)包括输送安装架(111)、位于所述输送安装架(111)上的驱动电机(112)以及用于传输的输送皮带(113)，所述前段驱动块(14)位于所述输送皮带(113)上。3.根据权利要求2所述的一种实现硅片无接触传送的传输线，其特征在于，所述输送安装架(111)上设置有驱动气缸(40)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马世猛，高洪涛，朱明亮，
申请(专利权)人：上海昶火微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：