一种防止真空泵过载的快慢速装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防止真空泵过载的快慢速装置，属于真空处理技术领域，包括真空腔室，所述真空腔室上设置有第一阀门与第二阀门；真空管道，所述真空管道与所述第一阀门

【技术实现步骤摘要】
一种防止真空泵过载的快慢速装置


[0001]本技术属于真空处理
，尤其涉及一种防止真空泵过载的快慢速装置
。

技术介绍

[0002]真空设备的进
/
出口腔室是实现物料从大气状态进入真空状态或者从真空状态进入大气状态的过渡腔室
。
[0003]物料进入真空腔室的过程为：物料从大气状态进入进口室，进口室需处于大气状态；物料进入后，进口室开始抽真空，真空达到要求真空度后，物料从进口室进入真空腔室，物料传出真空腔室时：物料进入处于真空状态的出口室，然后出口室反大气，达到大气状态后，物料从出口室传出
。
[0004]物料进入进口室，要实现内部真空环境，要使用真空泵抽取真空设备内部的空气，使真空设备内部气压达到真空环境所要求的真空标准
。
由于生产节拍要求，大型真空腔体需要配置的真空泵和真空管道较大，进出
/
口室在真空泵启动状态下由大气进行抽真空时，直接开启动真空阀门抽气，会导致真空泵冲击
、
过载，甚至出现停机现象，而且长期发生这种情况时，会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种防止真空泵过载的快慢速装置，其特征在于，包括真空腔室
(10)
，所述真空腔室
(10)
上设置有第一阀门
(11)
与第二阀门
(12)
；真空管道
(20)
，所述真空管道
(20)
与所述第一阀门
(11)、
真空腔室
(10)
连通形成第一真空组件；波纹管
(30)
，所述波纹管
(30)
与所述第二阀门
(12)、
真空腔室
(10)
以及真空管道
(20)
连通形成第二真空组件；所述第二真空组件的进气量低于所述第一真空组件的进气量
。2.
根据权利要求1所述的一种防止真空泵过载的快慢速装置，其特征在于，所述真空管道
(20)
与真空泵连接，真空泵经真空管道
(20)
对真空腔室
(10)
抽真空
。3.
根据权利要求1所述的一种防止真空泵过载的快慢速装置，其特征在于，所述波纹管
(30)
通过法兰接头
(40)
与所述真空管道
(20)
连接
。4.
根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晨，高洪涛，郭硕，
申请(专利权)人：上海昶火微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：