气体喷射器的安装治具制造技术

本申请涉及一种气体喷射器的安装治具包括相连接的入口段和导向段，入口段和导向段内的内部分别贯穿设有入口通道和导向通道，入口通道和导向通道同轴设置且相连通，入口通道的直径沿朝向导向通道的方向逐渐减小，导向通道的直径与第一圆柱段的外径相适配，且导向段的长度大于第二圆柱段的长度；上述方案使得气体喷射器进入安装治具的入口通道简单，气体喷射器进入安装治具之后，通过安装治具逐渐在径向上对气体喷射器逐渐限位，使得气体喷射器与通孔同轴，以便于安装，避免安装过程中气体喷射器表面损坏，进而避免安装气体喷射器影响晶圆良率。良率。良率。

【技术实现步骤摘要】
气体喷射器的安装治具


[0001]本申请涉及半导体制造设备
，特别是涉及一种气体喷射器的安装治具。

技术介绍

[0002]半导体刻蚀设备安装有气体喷射器，用于经气体管道的工艺气体通过气体喷射器的内圈和外圈进行分配。
[0003]在现有技术中，在半导体刻蚀设备安装气体喷射器时，没有协助安装的治具，主要依靠工程师的手感进行该作业。气体喷射器多为石英或者陶瓷材料，石英或者陶瓷材料质地比较脆，容易损坏。在将气体喷射器安装至刻蚀设备的盖板的安装过程中，由于气体喷射器与安装孔之间的间隙小，没有专用安装治具辅助安装气体喷射器时，容易出现气体喷射器损坏。例如：安装过程中气体喷射器和安装孔的圆心不在同一直线上，或者安装过程中气体喷射器倾斜，气体喷射器的外径和通孔的内径表面发生碰撞，容易损坏气体喷射器，产生微粒落在晶圆的表面，导致晶圆产生中心缺陷，影响良率。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种气体喷射器的安装治具，旨在解决现有技术存在的安装气体喷射器时容易造成气体喷射器表面损坏，进而影响晶圆良率的问题。
[0005]本申请提供一种气体喷射器的安装治具，用于辅助将气体喷射器安装至呈台阶孔的通孔，所述气体喷射器包括同轴相连的第一圆柱段和第二圆柱段，且所述第一圆柱段的直径大于所述第二圆柱段的直径，所述第二圆柱段与所述通孔的小直径段相适配，所述安装治具包括相连接的入口段和导向段，所述入口段和导向段内的内部分别贯穿设有入口通道和导向通道，所述入口通道和所述导向通道同轴设置且相连通，所述入口通道的直径沿朝向所述导向通道的方向逐渐减小，所述导向通道的直径与所述第一圆柱段的外径相适配，且所述导向段的外径与所述通孔的大直径段的内径相适配，所述导向段的长度大于所述第二圆柱段的长度。
[0006]在其中一个实施例中，所述入口段的外径大于所述导向段的外径，以在所述入口段与所述导向段之间形成支撑面。
[0007]在其中一个实施例中，所述通孔的大直径段内设有固定支架，所述固定支架的内部贯穿设有安装通道，所述导向段的外径与所述安装通道的直径相适配，所述导向段与所述固定支架间隙配合。
[0008]在其中一个实施例中，所述固定支架自所述通孔的台阶面延伸至伸出所述通孔的大直径段外，所述支撑面支撑于所述固定支架上。
[0009]在其中一个实施例中，所述第二圆柱段邻近所述第一圆柱段的一端套设有O型环，当所述气体喷射器安装到位时，所述O型环抵接于所述第一圆柱段与所述通孔的台阶面之间，所述固定支架与所述导向段的高度差不小于所述O型环的厚度。
[0010]在其中一个实施例中，所述固定支架与所述支撑面接触的一端设有支撑平台，所
述支撑面和所述支撑平台均与所述入口通道和所述导向通道的径向方向平行。
[0011]在其中一个实施例中，所述入口段远离所述导向段的一端设有环形固定件，所述环形固定件位于所述入口段的外周。
[0012]在其中一个实施例中，所述导向通道与所述第一圆柱段间隙配合。
[0013]在其中一个实施例中，当所述气体喷射器安装到位时，所述第一圆柱段远离所述通孔的端面与所述安装治具远离所述通孔的端面在轴向上齐平。
[0014]在其中一个实施例中，所述安装治具采用树脂材料制成。
[0015]上述方案中，通过设置相连通的入口通道和导向通道轴向贯穿安装治具，并将入口通道的直径设置为逐渐减小，使得气体喷射器进入安装治具后在径向上被逐渐限位；再通过将导向通道的直径与气体喷射器直径较大的第一圆柱段的外径相适配、导向段的外径与通孔的大直径段的内径相适配，并且使导向段的长度大于气体喷射器直径较小的第二圆柱段的长度，使得气体喷射器的第二圆柱段在自导向通道进入通孔的小直径段前，第一圆柱段已经进入了导向段，保证了气体喷射器与通孔同轴，避免安装过程中气体喷射器表面损坏，进而避免安装气体喷射器影响晶圆良率。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施方式及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0017]为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本申请一实施方式所示的气体喷射器的安装治具的结构示意图；
[0019]图2是本申请所提到的盖板、固定支架、气体喷射器和O型环的安装示意图；
[0020]图3是图1中的安装治具的使用示意图一；
[0021]图4是图1中的安装治具的使用示意图二；
[0022]图5是图2中的气体喷射器的安装完成示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]100、安装治具；110、入口段；111、环形固定件；120、导向段；130、入口通道；140、导向通道；150、支撑面；
[0025]200、气体喷射器；210、第一圆柱段；220、第二圆柱段；
[0026]300、O型环；
[0027]400、盖板；410、通孔；
[0028]500、固定支架；510、安装通道；520、支撑平台。
具体实施方式
[0029]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不
违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0030]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0031]在本申请实施方式的描述中，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0032]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0033]此外，术语“第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体喷射器的安装治具，用于辅助将气体喷射器安装至呈台阶孔的通孔，所述气体喷射器包括同轴相连的第一圆柱段和第二圆柱段，且所述第一圆柱段的直径大于所述第二圆柱段的直径，所述第二圆柱段与所述通孔的小直径段相适配，其特征在于，所述安装治具包括相连接的入口段和导向段，所述入口段和导向段内的内部分别贯穿设有入口通道和导向通道，所述入口通道和所述导向通道同轴设置且相连通，所述入口通道的直径沿朝向所述导向通道的方向逐渐减小，所述导向通道的直径与所述第一圆柱段的外径相适配，且所述导向段的外径与所述通孔的大直径段的内径相适配，所述导向段的长度大于所述第二圆柱段的长度。2.根据权利要求1所述的气体喷射器的安装治具，其特征在于，所述入口段的外径大于所述导向段的外径，以在所述入口段与所述导向段之间形成支撑面。3.根据权利要求2所述的气体喷射器的安装治具，其特征在于，所述通孔的大直径段内设有固定支架，所述固定支架的内部贯穿设有安装通道，所述导向段的外径与所述安装通道的直径相适配，所述导向段与所述固定支架间隙配合。4.根据权利要求3所述的气体喷射器的安装治具，其特征在于，所述固定支架自所述通孔的台阶...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭茨良，张军，谢强，
申请(专利权)人：上海鼎泰匠芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：