检测系统技术方案

一种检测系统，包括：照明模块，包括照明组件和第一镜组，照明组件用于产生入射光；第一镜组用于收集入射光、并将入射光照射至待测物，还用于收集入射光经过待测物反射形成的信号光；成像模块，包括成像组件，成像组件包括图像采集器，图像采集器用于根据信号光对第一镜组的监测面进行成像，获得监测面的第一图像，且用于根据信号光对待测物表面进行成像，获得待测物表面的第二图像，其中，监测面为第一镜组远离待测物的一侧的平面。本实用新型专利技术有利于提高检测精度。提高检测精度。提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
检测系统
[0001]本申请要求2022年06月09日提交国家知识产权局、申请号为 202221456088.4、专利技术名称为“检测系统”的专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0002]本技术实施例涉及光学检测领域，尤其涉及一种检测系统。

技术介绍

[0003]在光学检测中，检测光束的质量直接影响检测结果，现有技术中往往通过光束质量分析仪分析光束形成的光斑的均匀性、尺寸等。利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，从而导致检测光路较复杂，检测成本增加，而且，利用光束质量分析仪进行检测需要从检测光路中引出一路光进行检测，还不容易将光束质分析仪的坐标与实际照明的光轴对应上，需要额外的标定，导致检测过程繁琐。

技术实现思路

[0004]本技术实施例解决的问题是提供一种检测系统，提高检测精度。
[0005]为解决上述问题，本技术实施例提供一种检测系统，包括：照明模块，包括照明组件和第一镜组，所述照明组件用于产生入射光；所述第一镜组用于收集所述入射光、并将所述入射光照射至待测物，所述第一镜组还用于收集所述入射光经过所述待测物反射形成的信号光；成像模块，包括成像组件，所述成像组件包括图像采集器，所述图像采集器用于根据所述信号光对所述第一镜组的监测面进行成像，获得所述监测面的第一图像，且用于根据所述信号光对所述待测物表面进行成像，获得所述待测物表面的第二图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面。
[0006]与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下优点：
[0007]本技术实施例提供的检测系统中，附加组件用于使得所述图像采集器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭以获得所述第一图像，和/或，使得所述图像采集器的光敏面与所述待测物共轭以获得所述第二图像；本技术实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
[0008]进一步，附加组件使得所述图像采集器的光敏面与第一镜组的监测面共轭，则图像采集器能够对第一镜组的监测面成像，通过对第一镜组的监测面成像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，附加组件还使得图像采集器的光敏面与待测物共轭，则图像采集器还能够对待测物成像，实现对待测物的检测，因此，图像采集器能够同时实现对待测物和照明模块的光路的检测，提高检测系统的多功能化，节约检测成本，同时，图像采集器能够通过对照明模块的光路进行检测，以便根据需
求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
附图说明
[0009]图1是本技术检测系统一实施例的结构示意图以及光路图；
[0010]图2是本技术检测系统另一实施例的结构示意图以及光路图。
具体实施方式
[0011]由
技术介绍
可知，光学检测系统是一种常用的对待测物的检测系统。但是，现有的用于进行检测的光学检测系统中，检测精度有待提高。
[0012]为了解决所述技术问题，本技术实施例提供一种检测系统，包括：照明模块、以及成像模块；其中，所述照明模块包括照明组件和第一镜组，所述照明组件用于产生入射光；所述第一镜组用于收集所述入射光、并将所述入射光照射至待测物，所述第一镜组还用于收集所述入射光经过所述待测物反射形成的信号光；所述成像模块包括成像组件，所述成像组件包括图像采集器，所述图像采集器用于根据所述信号光对所述第一镜组的监测面进行成像，获得所述监测面的第一图像，且用于根据所述信号光对所述待测物表面进行成像，获得所述待测物表面的第二图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面。
[0013]本技术实施例中，通过获取第一镜组的监测面的第一图像，能够直接获取入射光在第一镜组像方的成像情况，从而对照明模块的光路进行检测，相应的，根据所述探测器获取的第一图像，根据需求对照明模块进行调整，有利于提高入射光方位角的均匀性及对称性，使得待测物能够获得质量较高的入射光的照射，进而能够减小检测系统因照明模块的光路的非对称性引起的测量误差，提高检测精度。
[0014]为使本技术实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0015]图1是本技术检测系统一实施例的结构示意图以及光路图。
[0016]参考图1，检测系统包括：照明模块、以及成像模块；其中，照明模块包括照明组件100和第一镜组200，照明组件100用于产生入射光；第一镜组200 用于收集入射光、并将入射光照射至待测物700，第一镜组200还用于收集入射光经过待测物700反射形成的信号光；成像模块包括成像组件600，成像组件600包括图像采集器610，图像采集器610用于根据信号光对第一镜组200 的监测面进行成像，获得监测面的第一图像，且用于根据信号光对待测物700 表面进行成像，获得待测物700表面的第二图像，其中，监测面为第一镜组200 远离待测物700的一侧的平面。
[0017]本实施例中，检测系统用于对待测物700进行检测。
[0018]具体地，作为一种示例，待测物700为晶圆，本实施例的检测系统用于对晶圆表面进行检测。
[0019]本实施例中，检测系统还包括承载模块800，用于承载待测物700。
[0020]承载模块800包括载物台，用于在对待测物700进行缺陷检测时承载待测物700，从
而为对待测物700进行光学检测提供工艺平台。
[0021]本实施例中，照明组件100用于产生入射光，并将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，汇聚面位于第一镜组200远离待测物700的一侧，汇聚面与监测面重合；第一镜组200还用于使汇聚至汇聚面的入射光平行入射至待测物 700。
[0022]本实施例中，可以通过调节入射光在第一镜组200的像方上的分布，来实现对待测物700较为垂直的照射，有利于减小倾斜光照射产生的待测物700的影子，对待测物700在图像采集器610中成像的影响，进而提高对待测物700 成像的精度。
[0023]而且，照明组件100将入射光汇聚在第一镜组200的汇聚面，则通过对第一镜组200的汇聚面成像，即可相应获得入射光第一镜组200像方的汇聚情况，从而获得照明组件100产生的入射光的质量。
[0024]本实施例中，监测面为第一镜组200的后焦面，后焦面为第一镜组200远离待测物700的焦平面。
[0025]具体地，本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，包括：照明模块，包括照明组件和第一镜组，所述照明组件用于产生入射光；所述第一镜组用于收集所述入射光、并将所述入射光照射至待测物，所述第一镜组还用于收集所述入射光经过所述待测物反射形成的信号光；成像模块，包括成像组件，所述成像组件包括图像采集器，所述图像采集器用于根据所述信号光对所述第一镜组的监测面进行成像，获得所述监测面的第一图像，且用于根据所述信号光对所述待测物表面进行成像，获得所述待测物表面的第二图像，其中，所述监测面为所述第一镜组远离所述待测物的一侧的平面。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述成像模块还包括附加组件，所述附加组件用于使得所述图像采集器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭以获得所述第一图像，和/或，使得所述图像采集器的光敏面与所述待测物共轭以获得所述第二图像。3.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述图像采集器用于获取入射光在第一镜组像方形成的第一图像，以对照明组件进行调整。4.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述照明组件还用于将所述入射光汇聚在所述第一镜组的汇聚面，所述汇聚面位于所述第一镜组远离待测物的一侧，所述汇聚面与所述监测面重合；所述第一镜组还用于使汇聚至所述汇聚面的入射光平行入射至所述待测物。5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述监测面为所述第一镜组的后焦面，所述后焦面为所述第一镜组远离所述待测物的焦平面。6.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述附加组件为可移动的附加镜组，用于在移入所述第一镜组和成像模块之间的光路时，使所述图像采集器的光敏面与所述第一镜组的监测面共轭，在移出所述第一镜组和成像模块之间的光路时，使所述图像采集器的光敏面与所述待测物共轭。7.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述附加组件包括：附加镜组，固定于所述第一镜组和成像组件之间的光路上；第一分束器，位于所述附加镜组和第一镜组之间的光路上，所述第一分束器用于将接收的所述信号光沿多个不同光路方向进行传输，所述多个不同光路方向包括传输至所述附加镜组中的第一光路、以及沿剩余光路方向传输的第二光路；所述图像采集器包括与所述第一镜组的监测面共轭设置的第一图像采集器、以及与所述待测物共轭设置的第二图像采集器，所述第一图像采集器用于接收所述第一光路的光，所述第二图像采集器用于接收所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫云杰，江博闻，姚本溪，吕肃，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：