【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体材料加工的切割装置
[0001]本技术涉及半导体材料加工设备
,具体为一种用于半导体材料加工的切割装置。
技术介绍
[0002]半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,半导体材料在电子设备制造中得到广泛的应用,加工半导体材料时,需要使用切割装置对半导体材料进行切割,以便于将半导体材料加工成指定的大小和形状。
[0003]现有的用于半导体材料加工的切割装置在使用时,大多通过气缸推动切割齿片移动,气缸的输出端长度固定,且气缸推动切割齿片移动,调节切割位置时,切割齿片的移动速度不均匀,不易将切割齿片移动至指定位置处进行切割,容易在切割过程中产生误差,使得装置的切割精度大大降低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于半导体材料加工的切割装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于半导体材料加工的切割装置,包括底座和滑动板,所述底座的一端安装有固定板,且固定板的顶部安装有顶板,所述 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体材料加工的切割装置,包括底座(1)和滑动板(6),其特征在于:所述底座(1)的一端安装有固定板(21),且固定板(21)的顶部安装有顶板(19),所述固定板(21)靠近底座(1)一端的顶部安装有第三滑动组件(20),且第三滑动组件(20)远离固定板(21)的一端滑动安装有升降板(7),所述顶板(19)的顶部安装有第三电动气压缸(18),所述升降板(7)底部远离固定板(21)的一端安装有第一滑动组件(8),且第一滑动组件(8)的底部滑动安装有滑动板(6),所述滑动板(6)的底部安装有驱动电机(23),且滑动板(6)靠近固定板(21)的一端安装有尺条(9),所述升降板(7)顶部靠近固定板(21)的一端安装有伺服电机(12),且伺服电机(12)的输出端安装有第一转轴(11),所述第一转轴(11)穿过升降板(7),且第一转轴(11)的底部安装有与尺条(9)啮合的齿轮(10),所述升降板(7)的底部安装有第一夹片(25),且升降板(7)底部靠近固定板(21)的一端安装有第二电动气压缸(13),所述底座(1)的顶部安装有第二滑动组件(17),且第二滑动组件(17)的顶部滑动安装有托板(15),所述底座(1)顶部远离固定板(21)的一端安装有第一电动气压缸(2),且第一电动气压缸(2)的输出端与托板(15)连接,所述固定板(21)远离底座(1)一端的底部安装有控制面板(22),所述控制面板(22)的输出端通过导线分别与第一电动气压缸(2)、伺服电机(12)、第二电动气...
【专利技术属性】
技术研发人员:詹玉峰,陈跃华,方勇华,方小明,赵纪平,刘小祥,方萌,
申请(专利权)人:浙江旭盛电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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