【技术实现步骤摘要】
一种基于硅棒加工用的打磨装置
[0001]本技术涉及硅棒加工设备
，具体为一种基于硅棒加工用的打磨装置。
技术介绍
[0002]硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒，硅棒是硅片的原料，也是半导体设备制造常用的原材料之一，生产硅棒时，硅棒外侧会留有毛边，需要通过打磨装置对硅棒外侧进行打磨处理，使硅棒外侧保持平滑。
[0003]现有的基于硅棒加工用的打磨装置在使用时，大多先将硅棒固定，再带动硅棒转动进行打磨，硅棒转动过程中与磨片产生摩擦，使得硅片局部受到较大应力，且由于硅棒硬度较低，使得硅棒容易磨损、甚至断裂，因此，本实用提供一种基于硅棒加工用的打磨装置用于解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种基于硅棒加工用的打磨装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于硅棒加工用的打磨装置，包括集尘箱、转盘和第一安装套管，所述集尘箱顶部的一端安装有第一固定板，且集尘箱顶部的另一端安装有第二固定板，所述第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于硅棒加工用的打磨装置，包括集尘箱(1)、转盘(9)和第一安装套管(10)，其特征在于：所述集尘箱(1)顶部的一端安装有第一固定板(6)，且集尘箱(1)顶部的另一端安装有第二固定板(19)，所述第一固定板(6)远离第二固定板(19)的一端安装有电机(7)，且电机(7)的输出端安装有转轴(8)，所述转轴(8)穿过第一固定板(6)，且转轴(8)远离电机(7)的一端安装有转盘(9)，所述转盘(9)远离转轴(8)一端的中间位置处安装有第三电动气压缸(24)，且第三电动气压缸(24)的输出端安装有连接块(26)，所述连接块(26)的外侧对称铰接有一组推拉杆(34)，且推拉杆(34)远离连接块(26)的一端皆铰接有第一安装套管(10)，所述第一安装套管(10)的内部皆安装有连接杆(12)，且第一安装套管(10)远离推拉杆(34)的一端皆设置有通口(27)，所述连接杆(12)远离转盘(9)的一端皆安装有安装块(13)，且安装块(13)靠近第三电动气压缸(24)的一端皆安装有打磨片(14)，所述第二固定板(19)靠近第一固定板(6)一端的顶部安装有第二夹片(18)，且第二固定板(19)的顶部安装有顶板(16)，所述顶板(16)的顶部安装有第一电动气压缸(15)，所述第一电动气压缸(15)的输出端穿过顶板(16)，且第一电动气压缸(15)的输出端安装有第一夹片(17)，所述转盘(9)的外侧对称安装有一组连接板(22)，且连接板(22)远离第二固定板(19)的一端皆安装有第二电动气压缸(21)，所述第二电动气压缸(21)的输出端皆穿过连接板(22)，且第二电动气压缸(21)的输出端皆安装有第二安装套管(11)，所述集尘箱(1)靠近第一固定板(6)一端的顶部安装有气泵(4)，且气泵(4)的输入端安装有延伸至集尘箱(1)内部的抽气管(2)，所述集尘箱(1)远离气泵(4)一端的顶部安装有控制面板(20)，所述控制面板(20)的输出端通过导线...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹玉峰，陈跃华，方勇华，方小明，赵纪平，刘小祥，方萌，
申请(专利权)人：浙江旭盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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