用于塑封设备的直线电机送料装置制造方法及图纸

技术编号:36756497 阅读:9 留言:0更新日期:2023-03-04 10:48
本发明专利技术公开了用于塑封设备的直线电机送料装置,包括安装在塑封设备上的送料装置,所述送料装置包括上料单元机、压机单元、下料单元机、上料机械手、下料机械手、直线电机运动装置,所述上料机械手设置在上料单元机上,所述直线电机运动装置包括传感器安装板二、直线导轨、滑块、下料坦克带、上料坦克带、传感器安装板一、上料传感器、压机传感器、传感器安装板三、下料传感器以及直线电机,所述直线电机包括直线电机定子、直线电机动子、移动块,所述上料坦克带安装在上料单元机上,涉及半导体芯片制造技术领域,解决了半导体芯片塑封过程中,现有技术采用同步带的送料方式,存在速度慢、精度低和安装调试困难等问题。精度低和安装调试困难等问题。精度低和安装调试困难等问题。

【技术实现步骤摘要】
用于塑封设备的直线电机送料装置


[0001]本专利技术涉及半导体芯片制造
,具体为用于塑封设备的直线电机送料装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片制造流程中,塑封是不可缺少的工序。目前主流设备是全自动封装系统,其设备上下料使用的是同一条轨道上两个机械手运动,需进行单独运动所以采用两个伺服电机以及两套同步带进行单独控制。
[0003]因传统送料方式采用同步带带动,有着速度慢、精度低和安装调试困难等问题,本专利技术提供一种用于塑封设备的直线电机送料装置,通过直线电机铺设在导轨支架上,可单独控制两个转子进行运动,取代传统双电机和两套同步带机构,以解决上述现有技术存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本专利技术提供了用于塑封设备的直线电机送料装置,解决了半导体芯片塑封过程中,现有技术采用同步带的送料方式,存在速度慢、精度低和安装调试困难等问题。
[0005]为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:用于塑封设备的直线电机送料装置,包括安装在塑封设备上的送料装置,所述送料装置包括上料单元机、压机单元、下料单元机、上料机械手、下料机械手、直线电机运动装置,所述上料机械手设置在上料单元机上,所述下料机械手设置在下料单元机上,所述压机单元设置在上料单元机和下料单元机之间,且压机单元设置有四组,所述直线电机运动装置包括传感器安装板二、直线导轨、滑块、下料坦克带、上料坦克带、传感器安装板一、上料传感器、压机传感器、传感器安装板三、下料传感器以及直线电机,所述直线电机包括直线电机定子、直线电机动子、移动块,所述上料坦克带安装在上料单元机上,另一端与上料机械手相连接,所述下料坦克带安装在下料单元机上,另一端与下料机械手相连接,两条所述直线导轨分别安装在上料单元机、压机单元、下料单元机上,所述滑块在直线导轨上运动,所述上料机械手和下料机械手均安装在滑块上,所述直线电机安装分别在上料单元机、压机单元、下料单元机,所述下料传感器安装在传感器安装板二上。
[0006]优选的,所述上料单元机包括上料单元机预热台、上料单元机架、上料导轨支架,所述压机单元包括塑封模具、压机单元机架、压机导轨支架,所述下料单元机包括料单元机收料托盘、下料单元机机架、下料导轨支架,所述上料单元机架、压机单元机架和下料单元机架均安装在塑封设备上。
[0007]优选的,所述上料导轨支架、压机导轨支架和下料导轨支架分别安装在塑封设备上对应的上料单元机架、压机单元机架和下料单元机架上,所述上料单元机预热台、塑封模具和料单元机收料托盘分别安装在塑封设备上对应的上料单元机架、压机单元机架和下料
单元机架上,所述上料机械手和下料机械手在同一条轨道上进行独立运动。
[0008]优选的,所述上料坦克带安装在上料导轨支架上,另一端连接上料机械手,所述下料坦克带安装在下料导轨支架上,另一端连接下料机械手,两条所述直线导轨分别安装在上料导轨支架、压机导轨支架和下料导轨支架上,所述滑块在直线导轨上运动,所述上料机械手和下料机械手均安装在滑块上,所述直线电机安装分别在上料导轨支架、压机导轨支架和下料导轨支架上,所述下料传感器安装在传感器安装板二上。
[0009]优选的,所述传感器安装板一固定在上料导轨支架上,所述上料传感器安装在传感器安装板一上,所述传感器安装板二安装在下料导轨支架上,所述下料传感器安装在传感器安装板二上。
[0010]优选的,所述压机传感器安装在四个压机导轨支架上,所述传感器安装板三安装在下料导轨支架上。
[0011]优选的,所述直线电机定子分别铺设在上料导轨支架、压机导轨支架和下料导轨支架上,所述直线电机动子在直线电机定子上移动,两个所述移动块分别固定在两个直线电机动子上。
[0012]优选的,两个所述移动块分别安装在上料机械手和下料机械手下方。
[0013]有益效果
[0014]本专利技术提供了用于塑封设备的直线电机送料装置。与现有技术相比具备以下有益效果:直线电机通过两个单独的动子运动,相互独立且在一个直线导轨上运动,结构简单明了,同时根据本专利技术所提供的送料装置,能够快速进行取料放料,且保证结构简单便于安装调试。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的外部结构立体图;
[0016]图2为本专利技术塑封设备的整体结构俯视图;
[0017]图3为本专利技术塑封设备的整体结构正视图;
[0018]图4为本专利技术直线电机运动装置的整体结构俯视图;
[0019]图5为本专利技术直线电机运动装置的整体结构正视图;
[0020]图6为本专利技术直线电机的整体结构俯视图;
[0021]图7为本专利技术直线电机的整体结构正视图。
[0022]图中:1、上料单元机;1.1、上料单元机预热台;1.2、上料单元机架;1.3、上料导轨支架;2、压机单元;2.1、塑封模具;2.2、压机单元机架;2.3、压机导轨支架;3、下料单元机;3.1、料单元机收料托盘;3.2、下料单元机机架;3.3、下料导轨支架;4、上料机械手;5、下料机械手;6、直线电机运动装置;6.1、直线电机定子;6.2、直线电机动子;6.3、移动块;6.4、下料传感器;6.5、传感器安装板二;6.6、直线导轨;6.7、上料传感器;6.8、传感器安装板一;6.9、滑块;6.10、下料坦克带;6.11、上料坦克带;6.12、压机传感器;6.13、传感器安装板三。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于
本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0024]请参阅图1

7,本专利技术提供一种技术方案:用于塑封设备的直线电机送料装置,包括安装在塑封设备上的送料装置,送料装置包括上料单元机1、压机单元2、下料单元机3、上料机械手4、下料机械手5、直线电机运动装置6,其中上料单元机1,四组压机单元机2,下料单元机3之间通过各自的机架部分进行拼接固定,直线电机运动装置6分别安装在上料单元,压机单元和下料单元后部机架上,各自之间采用拼接方式进行固定和导轨连接,上料机械手4实现从上料单元机1工位中取出引线框架并通过直线电机运动装置6搬运至压机单元机2中放置于塑封模具2.1中,下料机械手5实现从压机单元机2中取出塑封模具2.1封装后的成品通过直线电机运动装置6搬运至下料单元机3工位中,上料机械手4设置在上料单元机1上,下料机械手5设置在下料单元机3上,压机单元2设置在上料单元机1和下料单元机3之间,且压机单元2设置有四组,直线电机运动装置6包括传感器安装板二6.5、直线导轨6.6、滑块6.9、下料坦克带6.10、上料坦克带6.11、传感器安装板一6.8、上料传感器6.7、压机传感器6.12、传感器安装板三6.13、下料传感器6.4以及直线电机,直线电机包括直线电机本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于塑封设备的直线电机送料装置,包括安装在塑封设备上的送料装置,其特征在于:所述送料装置包括上料单元机(1)、压机单元(2)、下料单元机(3)、上料机械手(4)、下料机械手(5)、直线电机运动装置(6),所述上料机械手(4)设置在上料单元机(1)上,所述下料机械手(5)设置在下料单元机(3)上,所述压机单元(2)设置在上料单元机(1)和下料单元机(3)之间,且压机单元(2)设置有四组,所述直线电机运动装置(6)包括传感器安装板二(6.5)、直线导轨(6.6)、滑块(6.9)、下料坦克带(6.10)、上料坦克带(6.11)、传感器安装板一(6.8)、上料传感器(6.7)、压机传感器(6.12)、传感器安装板三(6.13)、下料传感器(6.4)以及直线电机,所述直线电机包括直线电机定子(6.1)、直线电机动子(6.2)、移动块(6.3),所述上料坦克带(6.11)安装在上料单元机(1)上,另一端与上料机械手(4)相连接,所述下料坦克带(6.10)安装在下料单元机(3)上,另一端与下料机械手(5)相连接,两条所述直线导轨(6.6)分别安装在上料单元机(1)、压机单元(2)、下料单元机(3)上,所述滑块(6.9)在直线导轨上(6.6)运动,所述上料机械手(4)和下料机械手(5)均安装在滑块(6.9)上,所述直线电机安装分别在上料单元机(1)、压机单元(2)、下料单元机(3),所述下料传感器(6.4)安装在传感器安装板二(6.5)上。2.根据权利要求1所述的用于塑封设备的直线电机送料装置,其特征在于:所述上料单元机(1)包括上料单元机预热台(1.1)、上料单元机架(1.2)、上料导轨支架(1.3),所述压机单元(2)包括塑封模具(2.1)、压机单元机架(2.2)、压机导轨支架(2.3),所述下料单元机包括料单元机收料托盘(3.1)、下料单元机机架(3.2)、下料导轨支架(3.3),所述上料单元机架(1.2)、压机单元机架(2.2)和下料单元机架(3.2)均安装在塑封设备上。3.根据权利要求2所述的用于塑封设备的直线电机送料装置,其特征在于:所述上料导轨支架(1.3)、压机导轨支架(2.3)和下料导轨支架(3.3)分别安装在塑封设备上对应的上料单元机架(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:丁丽成班友根张海兵权盼权家庆刘玲沙达麟
申请(专利权)人:安徽飞悦芯科智能设备制造有限公司
类型:发明
国别省市:

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