一种抛光夹具及对大尺寸碲锌镉衬底进行表面抛光方法技术

本发明专利技术公开了一种抛光夹具及对大尺寸碲锌镉衬底进行表面抛光方法，本发明专利技术中的抛光夹具为中心凸起的陶瓷圆盘，且抛光夹具是由中心凸起向外围平缓过度，通过微凸夹具能够有效控制了衬底的“塌边”现象，解决了传统抛光时易形成“中间厚四周薄”的表面面型问题，从而提高了衬底的表面平整度,尤其是解决了大尺寸碲锌镉衬底表面加工平整度差的问题，对后续高质量碲镉汞外延、器件互连成品率提升及探测器性能一致性提升奠定了良好基础。致性提升奠定了良好基础。致性提升奠定了良好基础。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光夹具及对大尺寸碲锌镉衬底进行表面抛光方法


[0001]本专利技术涉及材料
，特别是涉及一种抛光夹具及对大尺寸碲锌镉衬底进行表面抛光方法。

技术介绍

[0002]碲锌镉衬底作为广泛应用于红外探测器的化合物半导体，是高性能碲镉汞外延薄膜的首选衬底材料。碲锌镉衬底的表面加工质量会直接影响碲镉汞外延薄膜的质量，进而影响后续器件加工工艺及性能。其中，碲锌镉衬底表面平整度会显著影响碲镉汞红外探测器性能的一致性，一方面，碲锌镉衬底的表面平整度会直接影响碲镉汞外延薄膜的厚度均一性，进而影响器件/电路互连的连通率。如果表面平整度较差，将会导致部分光敏元和读出电路连接不上，还会导致部分连接铟柱受力过大和产生较大形变，造成PN结因受力过大而出现缺陷增殖和性能下降。另一方面，表面平整度较差还会改变光学信号在器件上的传输特性，影响器件的响应率和光学串音。因此，获得高表面平整度的碲锌镉衬底对于提升红外探测器的性能具有十分重要的意义。尤其是随着红外探测器像元数目的不断增加、像元尺寸的不断减小，集成度越来越高，使得大尺寸、高表面质量的碲镉汞外延薄膜成为关键基础。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对大尺寸碲锌镉衬底表面抛光的抛光夹具，其特征在于，包括：所述抛光夹具为中心凸起的陶瓷圆盘，且所述抛光夹具为由中心凸起向外围平缓过度；所述凸起的高度和所述抛光夹具的直径均根据其所抛光的碲锌镉衬底的尺寸进行设定。2.根据权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于，所述凸起的高度为6微米，所述抛光夹具的直径为100
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150毫米。3.根据权利要求2所述的抛光夹具，其特征在于，当所述碲锌镉衬底的尺寸小于预设阈值，则所述抛光夹具进一步包括：圆形载片；所述圆形载片真空吸附在所述抛光夹具上，并通过所述圆形载片来粘接所述碲锌镉衬底。4.根据权利要求3所述的抛光夹具，其特征在于，所述预设阈值为2.5英寸。5.根据权利要求3所述的抛光夹具，其特征在于，所述圆形载片为玻璃圆形载片或...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏伟，王琰璋，李振兴，折伟林，侯晓敏，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：