温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种抛光夹具及对大尺寸碲锌镉衬底进行表面抛光方法，本发明中的抛光夹具为中心凸起的陶瓷圆盘，且抛光夹具是由中心凸起向外围平缓过度，通过微凸夹具能够有效控制了衬底的“塌边”现象，解决了传统抛光时易形成“中间厚四周薄”的表面面型问题，...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。