一种晶圆棒自动截断方法技术

本发明专利技术提供一种晶圆棒自动截断方法，步骤包括：对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。本发明专利技术截断方法可自动测量晶圆棒长度，并自动完成划线及移动对中，依据优先需求的短棒长度进行判断切割，同时在相应被截断的短棒端面上张贴标识，自动化程度高且精确度高，生产效率高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆棒自动截断方法


[0001]本专利技术属于硅单晶棒截断
，尤其是涉及一种晶圆棒自动判断并自动切割截断的方法。

技术介绍

[0002]现有直拉单晶中所用的截断切割设备都是半人工半自动控制，即人工划线、质检后再手动搬运至截断机设备上，再人工操作截断设备进行切割截断。而由于人工测量、计算、划线及对准，都存在误差，导致后续截断后的短棒的成品率较低，而且生产极不稳定，工时浪费严重，且产品一致性较差，生产率低。现有人工操作时，截断一颗晶圆棒的时间为4
‑
5h，时间较长，严重制约批量化生产。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种晶圆棒自动截断方法，尤其是适用于晶圆棒截断切割，解决了现有技术中自动化程度低、产品一致性差、生产效率低的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆棒自动截断方法，步骤包括：
[0006]对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；
[0007]基于所述晶圆棒的有效长度并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，步骤包括：对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述测量工序中，具体包括：采集所述晶圆棒外型数据并确定所述晶圆棒是否包括头部段和/或尾部段；若是，记录所述头部段和/或所述尾部段，其等径段长度为所述有效长度；若不是，所述晶圆棒长度即为所述有效长度。3.根据权利要求2所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，在采集所述晶圆棒外型数据时，还包括：对所述晶圆棒进行外观检验扫描，以确定在所述有效长度范围内是否出现质量异常段；当出现所述异常段时，记录其位置并测量其长度，并在所述划线工序中将所述异常段单独划线。4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述异常段包括在所述有效长度上的所述晶圆棒直径小于标准尺寸的直径异常段和/或所述晶圆棒任一晶线出现断线的孪晶异常段。5.根据权利要求3或4所述的一种晶圆棒自动截断方法，其特征在于，所述划线工序，具体包括：确定所述有效长度是否含有所述异常段；若不含有所述异常段：控制所述有效长度与预先排序设定的若干个不同标准长度的基准进行对比；判断所述有效长度是哪一所述基准长度的倍数；选出...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振宇，赵国伟，赵子龙，项龙，王建平，郭志荣，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：