尾气处理装置制造方法及图纸

本申请公开了一种尾气处理装置，包括：尾气处理主体，其包括反应腔以及与所述反应腔相连通的进气管和排气管；以及过滤内芯，其设置于所述反应腔的内部，所述过滤内芯包括至少两个过滤网，每一过滤网开设有若干个网孔，相邻的两个过滤网的网孔交错设置，以使得所述过滤内芯形成有若干条迂回流道，尾气自所述进气管经由所述迂回流道流向所述排气管。本申请迂回流道可以增加残留气体(即废气)通过尾气处理装置的时间，使得废气更加充分的发生分解，确保尾气排放的安全性。保尾气排放的安全性。保尾气排放的安全性。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置


[0001]本申请涉及尾气处理装置领域，具体涉及一种用于原子层沉积(ALD)反应的尾气处理装置。

技术介绍

[0002]原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)，是一种特殊的化学气相沉积技术，是通过将气相前驱体脉冲交替通入反应室并在沉积基体表面发生化学吸附反应形成薄膜的一种方法。
[0003]ALD尾气处理的核心部件热井的设计是决定ALD尾气排放安全性的重要部位，常见ALD热井结构大致可以分为三种：直通式、螺旋式和过滤式。其中直通式热井，也是目前最常见的一种热井方式，顾名思义是残留前驱体源垂直通过热井，气流走向为直流型，但由于尾气通过热井的时间比较短，容易导致废气未完全分解就被排出，不能保证尾气排放的安全性。螺旋式热井是热井内部管道呈现螺旋式柱状结构，废气通过热井的气流走向为螺旋式，增加流道长度，使得废气通过热井的时间大大增加，废气能够更好的发生高温分解，但由于结构比较复杂，导致热井的加工工艺难度较大，增加了设备的成本，同时尾气抽取消耗的能量更多。过滤式热井是在直通式的基础上加上过滤装置，其基本原理和直通式相同，靠内部增加的过滤装置将有害物质吸附留下，所以相对于直通式和螺旋式来说不需要太高的温度，但是通过热井的废气可以是多样的，不能保证过滤装置对每一种废气都能有效吸附，所以更倾向于单一的废气处理，在ALD实际应用中几乎很少见。
[0004]目前生产和开发的ALD设备，大多数还是用于科研实验的基础型，综合成本和使用情况，热井的结构仍以直通式居多，存在废气不能完全分解的危险，在ALD设备开发研究中迫切需要一种装置来改进热井的结构设计，使得其在不影响整体效率和不增加成本的基础上，提高腔室内未反应前驱体源的分解效率，确保尾气排放的安全性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种尾气处理装置，以解决废气不能完全分解，无法确定气体排放的安全性的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供一种尾气处理装置包括：尾气处理主体，其包括反应腔以及与所述反应腔相连通的进气管和排气管；以及过滤内芯，其设置于所述反应腔的内部，所述过滤内芯包括至少两个过滤网，每一过滤网开设有若干个网孔，相邻的两个过滤网的网孔交错设置，以使得所述过滤内芯形成有若干条迂回流道，尾气自所述进气管经由所述迂回流道流向所述排气管。
[0007]进一步地，所述尾气处理主体包括加热管及导热管，所述加热管套设于所述导热管的外表面；所述导热管设置于所述加热管与所述过滤内芯之间，所述导热管的两端分别连接有导热端盖，所述导热端盖上设有能够贯通所述导热端盖的导热连接口，其中，所述导热管两端的两个导热端盖中的一个与所述进气管连接，另一个与所述排气管连接。
[0008]进一步地，所述过滤内芯的轴线与所述导热管的轴线在同一直线上，所述网孔的轴线与所述导热管的轴线相互平行。
[0009]进一步地，相邻的两个过滤网的网孔在所述导热管径向上的正投影部分交叠。
[0010]进一步地，每一过滤网在所述导热管径向上的正投影面积占所述导热管径向上的正投影面积的65
‑
80％；和/或所述过滤内芯在所述导热管径向上的投影面积占所述导热管径向上的投影面积的90％
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100％。
[0011]进一步地，每一过滤网为斜纹编织结构或者平纹编织结构；每一过滤网的网孔目数为100目至300目；每一过滤网所采用的材质为不锈钢丝，所述不锈钢丝的丝径为0.05毫米至0.1毫米。
[0012]进一步地，所述过滤内芯为柱状结构，所述过滤内芯的外表面与所述导热管的内表面相接触，所述过滤内芯的高度与所述导热管的高度相等。
[0013]进一步地，所述尾气处理主体还包括：保温层，其套设于所述加热管的外表面；其中，所述加热管的内表面与所述导热管的外表面相接触，所述加热管的外表面与所述保温层的内表面相接触。
[0014]进一步地，所述保温层所采用的材质包括石棉、岩棉、气凝胶毡、真空板、聚合纤维材料中的一种。
[0015]进一步地，所述尾气处理主体还包括：壳体，其套设于所述保温层的外表面，所述壳体的两端分别连接有隔热端盖，所述隔热端盖上设有能够贯通所述隔热端盖的通孔，所述通孔的轴线与所述导热连接口的轴线在同一直线上，所述进气管和所述排气管分别从两个所述通孔伸出。
[0016]进一步地，所述的尾气处理装置还包括：一对支撑件，每一支撑件包括一体弯折成型的支撑板、固定板以及加劲板，所述支撑板的顶部可拆式连接至所述隔热端盖，所述支撑板的底部固定连接至所述固定板，所述加劲板固定连接至所述支撑板和所述固定板。
[0017]进一步地，所述进气管与一ALD设备的管道连接；所述排气管与一抽气系统连接。
[0018]本技术的技术效果在于，提供一种尾气处理装置，包括尾气处理主体以及过滤内芯，尾气处理主体包括反应腔以及与反应腔相连通的进气管和排气管，进气管与ALD设备连接，排气管与抽气系统连接，过滤内芯设置于反应腔的内部，如此设置，可以使得在ALD设备未发生反应的气体通过尾气处理装置进行高温分解形成可以直接排放的气体。
[0019]进一步地，过滤内芯包括两个以上过滤网，每一过滤网开设有若干个网孔，相邻的两个过滤网的网孔交错设置，以使得过滤内芯形成有若干条迂回流道，尾气自进气管经由迂回流道流向排气管。该迂回流道可以增加残留气体(即废气)通过尾气处理装置的时间，使得废气更加充分的发生分解，确保尾气排放的安全性。
[0020]进一步地，加热管的内表面与导热管的外表面相接触，加热管的外表面与保温层的内表面相接触，如此设置，可以使得尾气处理装置内部温度更加均匀稳定，提高分解效率。
[0021]进一步地，本技术所提供的尾气处理装置，结构简单，且对现有尾气处理装置的改动较小，不影响其整体外观和其他性能，有利于推广应用与规模化生产，具有良好的应用前景。
附图说明
[0022]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0023]图1为本申请实施例提供的尾气处理装置的爆炸图。
[0024]图2为本申请实施例提供的尾气处理装置的整体结构示意图。
[0025]图3为图2中沿尾气处理装置轴线上的剖视图。
[0026]图4为本申请实施例提供的导热管放大图。
[0027]图5为本申请实施例提供的壳体的结构示意图。
[0028]图6为本申请实施例提供的过滤内芯的结构示意图。
[0029]图7为本申请实施例提供的两个过滤网的结构示意图。
[0030]附图部件标识如下：
[0031]1、尾气处理主体；
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2、过滤内芯；
[0032]3、反应腔；
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4、进气管；
[0033]5、排气管；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：尾气处理主体，其包括反应腔以及与所述反应腔相连通的进气管和排气管；以及过滤内芯，其设置于所述反应腔的内部，所述过滤内芯包括至少两个过滤网，每一过滤网开设有若干个网孔，相邻的两个过滤网的网孔交错设置，以使得所述过滤内芯形成有若干条迂回流道，尾气自所述进气管经由所述迂回流道流向所述排气管。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理主体包括加热管及导热管，所述加热管套设于所述导热管的外表面；所述导热管设置于所述加热管与所述过滤内芯之间，所述导热管的两端分别连接有导热端盖，所述导热端盖上设有能够贯通所述导热端盖的导热连接口，其中，所述导热管两端的两个导热端盖中的一个与所述进气管连接，另一个与所述排气管连接。3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述过滤内芯的轴线与所述导热管的轴线在同一直线上，所述网孔的轴线与所述导热管的轴线相互平行。4.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，相邻的两个过滤网的网孔在所述导热管径向上的正投影部分交叠。5.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，每一过滤网在所述导热管径向上的正投影面积占所述导热管径向上的正投影面积的65
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80％；和/或所述过滤内芯在所述导热管径向上的投影面积占所述导热管径向上的投影面积的90％
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100％。6.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，每一过滤网为斜纹编织结构或者平纹编织结构；每一过滤网的网孔目数为1...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏益伟，张洪国，
申请(专利权)人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：