废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废气治理技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置；废气处理装置包括反应容器和加热件，反应容器设置有废气入口、进气口、反应室和加热室，废气入口与反应室连通，进气口与加热室连通，加热室与反应室连通；加热件设置于反应容器，且伸入加热室内，用于将进入加热室的气体加热，以使从加热室进入反应室内的气体为高温气体。本实用新型专利技术的废气处理装置能够改善温度达不到废气氧化分解要求的问题，进而提高废气的处理效率，确保废气处理效果。理效果。理效果。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置


[0001]本技术涉及废气治理
，具体而言，涉及一种废气处理装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造的过程中会产生一些对人类及环境有害的气体；为了达到环保的目的，通常都需要对产生的有害的气体进行处理，使其变成无害气体再排放到大气环境中。相关技术通过热氧化分解的方式处理废气，例如：燃烧式、等离子式、加热式等，再将热氧化后的尾气进行淋洗使废气无害化。
[0003]燃烧式和等离子式容易出现熄火的问题，可以选用加热式改善熄火问题；但是，相关技术提供的加热式的热传导效率低、装置使用寿命有限。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种废气处理装置，其能够改善热传导效率，延长装置使用寿命。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]本技术提供一种废气处理装置，包括：
[0007]反应容器，反应容器设置有废气入口、进气口、反应室和加热室，废气入口与反应室连通，进气口与加热室连通，加热室与反应室连通；以及，
[0008]加热件，加热件设置于反应容器，且伸入加热室内，用于将进入加热室的气体加热，以使从加热室进入反应室内的气体为高温气体。
[0009]使用加热件将加热室内的气体加热，即可使从加热室进入反应室的气体为高温气体，并使得进入反应室的废气能够被高温气体氧化分解，而实现通过高温将废气氧化分解的目的；由于加热件伸入加热室，而不是直接伸入反应室对废气直接加热，废气中附带的粉尘不会附着到加热件的表面，进而避免因粉尘附着而导致加热件传热效率降低的问题，确保加热件可靠地将加热室内的气体加热到废气氧化分解所需要的温度，进而能够改善温度达不到废气氧化分解要求的问题，提高废气的处理效率，确保废气处理效果；而且，加热件上不会附着粉尘，还能改善加热件因粉尘附着而过热烧坏的问题，从而延长装置的使用寿命。
[0010]在可选的实施方式中，废气处理装置还包括导流件，导流件与反应容器连接，且位于加热室内；导流件用于引导从进气口进入加热室的气体的流动。
[0011]通过导流件的设置，能够确保气体稳定地在加热室内流动，进而确保气体在加热室内稳定、均匀、高效地被加热。
[0012]在可选的实施方式中，导流件包括第一导流板，第一导流板设置于加热室的内壁或设置于反应室的外壁。
[0013]通过第一导流板的设置，能够确保气体稳定地在加热室内流动，进而确保气体在加热室内稳定、均匀、高效地被加热。
[0014]在可选的实施方式中，第一导流板沿反应室的中轴线方向呈螺旋状延伸。
[0015]通过设置螺旋状的第一导流板，使得从进气口进入加热室的气体沿第一导流板一层一层的旋转流动，进而确保加热室内的气体更加充分地加热。
[0016]在可选的实施方式中，第一导流板设置于反应室的外壁；
[0017]导流件还包括第二导流板，第二导流板设置于加热室的内壁。
[0018]在加热室内同时设置第一导流板和第二导流板，能够更加可靠地确保气体在加热室内稳定流动，并充分加热。
[0019]在可选的实施方式中，沿反应室的中轴线的延伸方向，第一导流板和第二导流板交错排布。
[0020]通过交错排布的第一导流板和第二导流板的设置，能够使进入加热室内的气体在第一导流板和第二导流板之间交错流动，进而放缓加热室内的气体流动的速率，确保加热室内的气体能够被充分加热。
[0021]在可选的实施方式中，加热件为加热棒，加热棒设置于加热室内，且伸入第一导流板和第二导流板之间。
[0022]将加热棒设置于加热室内，并伸入第一导流板和第二导流板之间，可以使进入加热室的气体，在第一导流板和第二导流板的引导下流动时，充分的与加热棒接触、加热，进而确保加热室内气体加热的效率，并有利于确保加热室内的气体温度能够达到废气氧化分解的温度。
[0023]在可选的实施方式中，反应室的侧壁设置通孔，通孔连通反应室和加热室，以使在加热室内被加热的气体能经过通孔进入反应室。
[0024]在反应室的侧壁设置通孔，使得加热室内被加热件加热的高温气体能够通过通孔直接进入反应室，而不需要额外设置输气管道将加热室内的高温气体输送至反应室，确保高温气体的输送路径更短，避免高温气体从加热室被输送至反应室的过程中降低温度，进而确保进入反应室的气体温度能够满足废气氧化分解的温度需求。
[0025]在可选的实施方式中，反应容器具有相对的第一端和第二端，废气入口和进气口均设置于第一端，通孔靠近第二端设置，导流件用于引导从进气口进入加热室的气体从第一端向第二端流动。
[0026]在加热室内的气体从反应容器的第一端流向第二端的过程中充分加热后，再进入反应室，以确保进入反应室的温度能够将反应室内的废气氧化分解。
[0027]在可选的实施方式中，加热室套设于反应室的外部，或者反应室套设于加热室的外部。
[0028]当加热室套设于反应室的外部时，加热室内的气体被加热，使得加热室的温度升高，进而可以对反应室进行预热，即可以对反应室内的废气进行预热，进而确保高温气体进入反应室时，能够可靠地氧化分解废气。
[0029]当反应室套设于加热室的外部时，反应室还能给加热室起到保温的作用，以减少热量的损失，节省能耗。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用
的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0031]图1为本技术实施例中废气处理装置在第一视角下的结构示意图；
[0032]图2为本技术实施例中废气处理装置在第二视角下的结构示意图；
[0033]图3为图2中A
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A方向的剖视图；
[0034]图4为本技术实施例中第一导流板的结构示意图；
[0035]图5为本技术实施例中第二导流板的结构示意图。
[0036]图标：010
‑
废气处理装置；100
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反应容器；101
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反应室；102
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加热室；103
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废气入口；104
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进气口；105
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通孔；106
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第一端；107
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第二端；108
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顶板；109
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底板；110
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第一壁；120
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第二壁；200
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加热件；300
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导流件；310
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第一导流板；320
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第二导流板。
具体实施方式
[0037]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：反应容器(100)，所述反应容器(100)设置有废气入口(103)、进气口(104)、反应室(101)和加热室(102)，所述废气入口(103)与所述反应室(101)连通，所述进气口(104)与所述加热室(102)连通，所述加热室(102)与所述反应室(101)连通；以及，加热件(200)，所述加热件(200)设置于所述反应容器(100)，且伸入所述加热室(102)内，用于将进入所述加热室(102)的气体加热，以使从所述加热室(102)进入所述反应室(101)内的气体为高温气体。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括导流件(300)，所述导流件(300)与所述反应容器(100)连接，且位于所述加热室(102)内；所述导流件(300)用于引导从所述进气口(104)进入所述加热室(102)的气体的流动。3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，所述导流件(300)包括第一导流板(310)，所述第一导流板(310)设置于所述加热室(102)的内壁或设置于所述反应室(101)的外壁。4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一导流板(310)沿所述反应室(101)的中轴线方向呈螺旋状延伸。5.根据权利要求3或4所述的废气处理装置，其特征在于，所述第一导流板(310)设置于所述反应室(101)的外壁；所述导流件(300...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，丁宇，余欢，孙伟男，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：