【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵设备,具体而言,涉及一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵。
技术介绍
1、在半导体、光伏及集成电路等领域中,其生产过程通常会产生有毒废气,对于废气的处理通常需要采用密闭容器进行,目前通常采用真空泵进行处理。
2、然而现有的真空泵由于设计不合理,其转子在运动过程中无法完全啮合,因而影响真空泵的密封性能。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵,其能够解决两个转子在转动过程中转子不能严密啮合的问题。
2、本专利技术的实施例可以这样实现:
3、第一方面,本专利技术提供一种爪式转子,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;
4、第一转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段ab、第一摆线bc、第二圆弧段cd,第二摆线de,第三圆弧段ef以及第三摆线fa;
5、第二转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段a’b’、第一摆线b’c’、第二圆弧段c’d’,第二摆线d’e’,第三圆
...【技术保护点】
1.一种爪式转子,其特征在于,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;
2.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,所述第三摆线FA的任意一点(Xt,Yt)满足如下公式:
3.根据权利要求2所述的爪式转子,其特征在于,所述t的取值范围为π/(2×z)≤t≤π/3。
4.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,由预设参数方程获取第一预设摆线,将所述第一预设摆线由第一对称线进行对称以获取第二预设摆线,将第二预设摆线由第二对称线进行对称以获取第一摆线BC,其中,第一对称线为所述第三圆弧段EF的圆心与点F的连线,所述第二对称线与
...【技术特征摘要】
1.一种爪式转子,其特征在于,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;
2.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,所述第三摆线fa的任意一点(xt,yt)满足如下公式:
3.根据权利要求2所述的爪式转子,其特征在于,所述t的取值范围为π/(2×z)≤t≤π/3。
4.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,由预设参数方程获取第一预设摆线,将所述第一预设摆线由第一对称线进行对称以获取第二预设摆线,将第二预设摆线由第二对称线进行对称以获取第一摆线bc,其中,第一对称线为所述第三圆弧段ef的圆心与点f的连线,所述第二对称线与所述第一对称线呈预设角度夹角;
5.根据权利要求4所述的爪式转子,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:张伟明,任静华,王然,汪若凯,
申请(专利权)人:上海盛剑半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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