一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵技术

技术编号:40660266 阅读:23 留言:0更新日期:2024-03-18 18:52
本发明专利技术提供了一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵,涉及真空泵设备技术领域。爪式转子包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;第一转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段AB、第一摆线BC、第二圆弧段CD,第二摆线DE,第三圆弧段EF以及第三摆线FA;第二转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段A’B’、第一摆线B’C’、第二圆弧段C’D’,第二摆线D’E’,第三圆弧段E’F’以及第三摆线F’A’;第一转子和第二转子的端面型线相同且旋向相反,以实现型线的对称性以及第一转子和第二转子的结构一致性,两个转子在工作中能够严密啮合,提高了加工效率及性能,降低了加工成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空泵设备,具体而言,涉及一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵


技术介绍

1、在半导体、光伏及集成电路等领域中,其生产过程通常会产生有毒废气,对于废气的处理通常需要采用密闭容器进行,目前通常采用真空泵进行处理。

2、然而现有的真空泵由于设计不合理,其转子在运动过程中无法完全啮合,因而影响真空泵的密封性能。


技术实现思路

1、本专利技术提供了一种爪式转子、端面型线绘制方法及真空泵,其能够解决两个转子在转动过程中转子不能严密啮合的问题。

2、本专利技术的实施例可以这样实现:

3、第一方面,本专利技术提供一种爪式转子,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;

4、第一转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段ab、第一摆线bc、第二圆弧段cd,第二摆线de,第三圆弧段ef以及第三摆线fa;

5、第二转子的端面型线包括依次首尾连接的第一圆弧段a’b’、第一摆线b’c’、第二圆弧段c’d’,第二摆线d’e’,第三圆弧段e’f’以及第三本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种爪式转子,其特征在于,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;

2.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,所述第三摆线FA的任意一点(Xt,Yt)满足如下公式:

3.根据权利要求2所述的爪式转子,其特征在于,所述t的取值范围为π/(2×z)≤t≤π/3。

4.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,由预设参数方程获取第一预设摆线,将所述第一预设摆线由第一对称线进行对称以获取第二预设摆线,将第二预设摆线由第二对称线进行对称以获取第一摆线BC,其中,第一对称线为所述第三圆弧段EF的圆心与点F的连线,所述第二对称线与所述第一对称线呈预设...

【技术特征摘要】

1.一种爪式转子,其特征在于,包括端面型线相同且旋向相反的第一转子和第二转子;

2.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,所述第三摆线fa的任意一点(xt,yt)满足如下公式:

3.根据权利要求2所述的爪式转子,其特征在于,所述t的取值范围为π/(2×z)≤t≤π/3。

4.根据权利要求1所述的爪式转子,其特征在于,由预设参数方程获取第一预设摆线,将所述第一预设摆线由第一对称线进行对称以获取第二预设摆线,将第二预设摆线由第二对称线进行对称以获取第一摆线bc,其中,第一对称线为所述第三圆弧段ef的圆心与点f的连线,所述第二对称线与所述第一对称线呈预设角度夹角;

5.根据权利要求4所述的爪式转子,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:张伟明任静华王然汪若凯
申请(专利权)人:上海盛剑半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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