本实用新型专利技术提供了一种灯箱传动装置和晶圆处理设备，所述装置包括：马达、传动带和转轮；所述转轮设于晶圆处理腔的顶侧，用于承载灯箱；所述传动带呈环形套设于所述马达的主轴外侧和所述转轮外侧；所述主轴用于驱动所述传动带运转，所述传动带用于驱动所述转轮和灯箱旋转；所述马达用于相对于所述转轮平移，以使所述传动带张紧或松弛；所述主轴与所述传动带的接触位置和所述转轮与所述传动带的接触位置处于同一高度。该装置用于持续牵引灯箱相对于晶圆转动。于晶圆转动。于晶圆转动。
【技术实现步骤摘要】
灯箱传动装置和晶圆处理设备
[0001]本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种灯箱传动装置和晶圆处理设备。
技术介绍
[0002]现有技术的对晶圆的紫外线(UV，ultraviolet)处理设备是靠马达驱动皮带连接齿轮带动灯箱的旋转，目的是使晶圆能受到均匀的光照。缺陷是导轮高度和皮带的张紧力度难以掌控，经常发生皮带断裂导致设备宕机。
[0003]现有技术通过转动设有导轮的导杆实现张紧或松弛皮带。实际上，转动控制导杆和导轮的角度实现张紧或松弛皮带的操作难度大。另外，为了便于操作以及防止导杆直接接触皮带，导杆与导轮不设置在同一高度，长期使用后导杆容易弯曲，导致导轮对皮带一侧施加的压力变大，导轮对皮带另一侧施加的压力变小，加速皮带的磨损，容易发生皮带断裂导致设备宕机。因此，亟需一种新型的灯箱传动装置和晶圆处理设备以改善上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种灯箱传动装置和晶圆处理设备，该装置用于持续牵引灯箱相对于晶圆转动。
[0005]第一方面，本技术提供一种灯箱传动装置，用于晶圆处理腔，包括：马达、传动带和转轮；所述转轮设于晶圆处理腔的顶侧，用于承载灯箱；所述传动带呈环形套设于所述马达的主轴外侧和所述转轮外侧；所述主轴用于驱动所述传动带运转，所述传动带用于驱动所述转轮和灯箱旋转；所述马达用于相对于所述转轮平移，以使所述传动带张紧或松弛；所述主轴与所述传动带的接触位置和所述转轮与所述传动带的接触位置处于同一高度。
[0006]本技术的装置有益效果为：本技术提供的灯箱传动装置通过设置的所述马达用于相对于所述转轮平移，以使所述传动带张紧或松弛，实现便捷地调整所述传动带的张紧力度。同时，本技术所述主轴与所述传动带的接触位置和所述转轮与所述传动带的接触位置处于同一高度，通过平移所述马达调节所述传动带的张紧力度不会导致所述传动带受力不均，有利于减少所述传动带磨损，降低皮带断裂和设备宕机的风险，有利于提升生产效率。
[0007]可选的，所述马达的一侧设有载板；所述载板的内侧开设有滑槽；所述滑槽用于限制所述主轴的运动方向。
[0008]可选的，所述载板设置有导轮，用于限位所述传动带；所述导轮的转动轴心相对于所述载板固定。其有益效果在于，通过设置的所述导轮的转动轴心相对于所述载板固定，确保所述导轮对传动带施加的压力均衡，有利于延长所述传动带的使用寿命。
[0009]可选的，所述载板内设有连接件；所述马达的一侧设有若干连接孔；所述连接件通过所述连接孔与所述马达可拆卸连接。其有益效果在于，通过设置的所述连接孔和所述连接件配合固定所述马达相对于所述载板的相对位置，确保所述传动带的受力稳定，避免所述传动带因械疲劳而导致断裂。
[0010]可选的，所述装置还包括弹性件；所述弹性件设于所述滑槽内；当所述弹性件用于向所述马达施加远离所述转轮的作用力，以使所述传动带张紧。其有益效果在于，通过设置的所述弹性件确保所述传动带始终处于张紧状态，避免所述传动带过于松弛而滑脱所述转轮。
[0011]可选的，所述弹性件的一端连接有传感模块，用于检测所述弹性件向所述马达施加的作用力值。其有益效果在于，所述弹性件向所述马达施加的作用力的大小与所述传动带的张紧力度大小正相关，通过设置的所述传感模块检测所述弹性件向所述马达施加的作用力值，有利于减少人为调整所述传动带的误差。避免传动带的张紧力度因操作者不同而影响晶圆的表现的一致性。
[0012]可选的，所述传感模块电性连接有处理模块；所述处理模块用于获取所述传感模块检测的所述作用力值，判断所述作用力值是否处于预设压力值范围内。
[0013]可选的，所述处理模块电性连接所述马达；当所述作用力值处于预设压力值范围外时，所述处理模块用于控制所述马达停止运转。
[0014]可选的，所述处理模块电性连接有存储模块；所述处理模块电性连接有存储模块；所述存储模块用于存储所述预设压力值范围。
[0015]第二方面，本技术提供一种晶圆处理设备，包括灯箱、晶圆处理腔和所述第一方面中任一项所述的装置；所述灯箱设于所述晶圆处理腔的正上方；所述转轮顶端与所述灯箱底端连接；所述灯箱内侧设有灯管；所述晶圆处理腔内设有晶圆；当所述装置处于工作状态时，所述转轮带动所述灯箱和所述灯管相对于所述晶圆旋转，以使所述晶圆受到均匀的光照。
附图说明
[0016]图1为本技术提供的一种灯箱传动装置的结构示意图；
[0017]图2为本技术提供的一种载板设有连接件的灯箱传动装置的结构示意图；
[0018]图3为本技术提供的一种设有弹性件的灯箱传动装置的结构示意图；
[0019]图4为本技术提供的一种设有传感模块的灯箱传动装置的结构示意图；
[0020]图5为本技术提供的一种设有处理模块和存储模块的灯箱传动装置的结构示意图；
[0021]图6为本技术提供的一种晶圆处理设备的立体结构示意图；
[0022]图7为本技术图6的A处放大结构示意图。
[0023]图中标号：
[0024]1、转轮；11、开口；2、传动带；3、导轮；4、马达；41、主轴；5、载板；51、滑槽；52、弹性件；6、传感模块；7、连接件；71、连接孔；8、灯箱；81、灯管；9、导杆；10、晶圆处理腔；101、晶圆；200、灯箱传动装置；201、处理模块；202、存储模块；301、齿轮；302、皮带。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通
技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
[0026]图1为本技术提供的一种灯箱传动装置的结构示意图。
[0027]针对现有技术存在的问题，如图1所示，本技术提供了一种灯箱传动装置，用于晶圆处理腔，包括：马达4、传动带2和转轮1。所述转轮1设于晶圆处理腔的顶侧，用于承载灯箱。所述传动带2呈环形套设于所述马达4的主轴41外侧和所述转轮1外侧。所述主轴41用于驱动所述传动带2运转，所述传动带2用于驱动所述转轮1和灯箱旋转。所述马达4用于驱动所述传动带2运转的同时相对于所述转轮1平移，以使所述传动带2张紧或松弛。
[0028]具体的，所述马达4设置为电动马达4。所述传动带2设置为柔性环状皮带。所述转轮1设置为齿轮。所述电动马达4的主轴41和所述齿轮的轴向均沿竖直方向。所述皮带内侧和所述主轴41外侧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种灯箱传动装置，用于晶圆处理腔，其特征在于，包括：马达、传动带和转轮；所述转轮设于晶圆处理腔的顶侧，用于承载灯箱；所述传动带呈环形套设于所述马达的主轴外侧和所述转轮外侧；所述主轴用于驱动所述传动带运转，所述传动带用于驱动所述转轮和灯箱旋转；所述马达用于驱动所述传动带运转的同时相对于所述转轮平移，以使所述传动带张紧或松弛；所述主轴与所述传动带的接触位置和所述转轮与所述传动带的接触位置处于同一高度。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述马达的一侧设有载板；所述载板的内侧开设有滑槽；所述滑槽用于限制所述主轴的运动方向。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述载板设置有导轮，用于限位所述传动带；所述导轮的转动轴心相对于所述载板固定。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述载板内设有连接件；所述马达的一侧设有若干连接孔；所述连接件通过所述连接孔与所述马达可拆卸连接。5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括弹性件；所述弹性件设于所述滑槽内；当所述弹性件用于向所述马达施加远离所述转轮的作用...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘中山，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：
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