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本实用新型提供了一种灯箱传动装置和晶圆处理设备，所述装置包括：马达、传动带和转轮；所述转轮设于晶圆处理腔的顶侧，用于承载灯箱；所述传动带呈环形套设于所述马达的主轴外侧和所述转轮外侧；所述主轴用于驱动所述传动带运转，所述传动带用于驱动所述转轮...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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