一种石英坩埚喷涂用运料设备制造技术

本发明专利技术涉及坩埚搬运技术领域，且公开了一种石英坩埚喷涂用运料设备，包括安装座，所述安装座内部的两侧位置均安装有搬运臂，两侧所述搬运臂之间放置有石英坩埚，所述安装座内部安装有调距机构，两侧位置所述搬运臂的侧面上均安装有施力件，所述施力件的内腔中安装有升降台，所述升降台的侧面安装有吸盘，所述升降台的底面安装有一号弹性件，所述升降台的前后侧面均设置有传动机构，所述石英坩埚内设置有内支撑件，所述传动机构与内支撑件连接，所述施力件的内壁安装有偏移块。本发明专利技术通过接触件与内支撑件的设置，使得在吸盘失效后，两侧的内支撑件仍能阻止石英坩埚掉落，从而降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚喷涂用运料设备


[0001]本专利技术涉及坩埚搬运
，具体为一种石英坩埚喷涂用运料设备。

技术介绍

[0002]石英坩埚是一种生产单晶硅棒所需的设备，其中，在石英坩埚的生产过程中，需要使用运料装置来将具有较高温度的石英坩埚搬运到涂料工作台上，进而对石英坩埚的内表面喷涂涂料，从而阻止单晶硅在高温拉制过程中硅与石英坩埚反应。
[0003]现有的一些运料装置由安装座、调距机构、搬运臂与吸盘组成，在工作时，将安装座与叉车连接，之后，令搬运臂带动吸盘接触并吸附石英坩埚(方形)的外壁，然后，叉车带动安装座上移，进而使石英坩埚被抬起，最后，将石英坩埚放置在涂料工作台上，并使吸盘脱离石英坩埚，通过上述动作，进而实现石英坩埚的搬运，但是在上述过程中，由于上述结构只通过吸力带动石英坩埚脱离地面，进而使得在搬运过程中，当吸盘突然失效时，石英坩埚会发生掉落，而由于石英坩埚较为脆弱，一旦发生掉落，就会造成石英坩埚的破损，从而产生一定的经济损失。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提出的现有运料装置在使用过程中存在的不足，本专利技术提供了一种石英坩埚喷涂用运料设备，具备降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种石英坩埚喷涂用运料设备，包括安装座，所述安装座安装在叉车上，所述安装座内部的两侧位置均滑动安装有搬运臂，两侧所述搬运臂之间的位置放置有石英坩埚，所述安装座内部的中间位置固定安装有调距机构，所述调距机构的输出杆与搬运臂形成固定连接，两侧位置所述搬运臂的相对侧面上均固定安装有施力件，所述施力件的内腔中滑动安装有升降台，所述升降台面向石英坩埚的侧面安装有吸盘，用以吸附石英坩埚的外壁，所述升降台的底面固定安装有一号弹性件，所述一号弹性件的下端与施力件内腔的底面连接，所述升降台的前后侧面均设置有传动机构，所述石英坩埚内设置有内支撑件，所述传动机构与内支撑件连接，所述施力件的前后内壁上均固定安装有偏移块，所述偏移块位于滑条背向石英坩埚的一侧位置，在工作时，所述传动机构与偏移块接触，进而使内支撑件接触石英坩埚的内壁。
[0006]优选的，所述施力件的前后内壁上均固定安装有滑条，所述升降台的前后侧面上均开设有滑槽，所述滑条与滑槽形成滑动连接。
[0007]优选的，所述升降台内部的上方位置开设有导气孔，所述导气孔的下侧与吸盘围成的空间连通，所述导气孔的上侧开设在升降台的上表面，所述升降台的上方位置设置有气管，所述气管与施力件形成滑动连接，所述气管的下端与导气孔的上侧连通，所述气管的上端与负压机构连通。
[0008]优选的，所述传动机构包括平移槽、平移件、二号弹性件、接触件、开口与一号连
杆，所述升降台前后侧面上均开设有平移槽，所述平移槽中滑动卡接有平移件，所述平移件面向石英坩埚的侧面与平移槽靠近石英坩埚的内壁之间共同固定安装有二号弹性件，所述升降台的前后两侧均设置有接触件，所述接触件与平移件形成固定连接，在搬运石英坩埚时，所述接触件与偏移块接触，进而使接触件带动平移件向远离石英坩埚的方向移动，所述施力件内部位于升降台上方的位置纵向贯穿开设有开口，所述接触件的上侧面固定安装有一号连杆，所述一号连杆的另一端穿过开口，并伸入石英坩埚内，所述一号连杆的另一端与内支撑件形成固定连接。
[0009]优选的，所述内支撑件与吸盘处于同一水平高度，且相互对应。
[0010]优选的，所述升降台内部对应平移槽的位置开设有伸缩腔，所述伸缩腔与平移槽连通，所述伸缩腔的前后两侧均活动卡接有拨动件，所述拨动件的一端为弧形端，所述拨动件的弧形端头伸入对应方向的平移槽中，所述拨动件的另一端为锥形端，所述伸缩腔中位于前后位置拨动件之间的位置滑动安装有伸缩件，所述伸缩件的前后两侧分别与对应方向拨动件的锥形端接触，所述升降台内部位于伸缩腔面向石英坩埚的一侧位置密封活动安装有二号连杆，所述吸盘所围成的空间内部设置有外支撑件，所述二号连杆的一端与伸缩件形成固定连接，所述二号连杆的另一端与外支撑件形成固定连接，所述伸缩腔中位于二号连杆的外侧活动套接有三号弹性件。
[0011]优选的，所述外支撑件的内部横向贯穿开设有通孔，所述一号弹性件、二号弹性件与三号弹性件的弹力之和小于石英坩埚的重力。
[0012]本专利技术具备以下有益效果：
[0013]1、本专利技术通过接触件与内支撑件的设置，在吸盘与石英坩埚的外壁吸附后，搬运臂带动施力件与吸盘上移，由于此时，吸盘受到石英坩埚的重力作用，进而使得吸盘相对施力件下移，下移的吸盘带动接触件接触偏移块，使得接触件发生水平移动，并带动内支撑件接触石英坩埚的内壁，通过上述动作，使得内支撑件对石英坩埚施加向外的支撑力，进而提高对石英坩埚的固定效果，使得在吸盘失效后，两侧的内支撑件仍能阻止石英坩埚掉落，从而降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。
[0014]2、本专利技术通过内支撑件与吸盘的设置，由于吸盘与内支撑件处于同一水平高度，且相互对应，进而使得吸盘吸附石英坩埚外壁时，会对该壁体施加一定的水平支撑力，通过该支撑力配合内支撑件对石英坩埚施加的向外支撑力，进而使得两者对石英坩埚起到一定的夹持作用，通过上述动作，使得在吸盘失效后，吸盘仍能对石英坩埚施加阻力，从而进一步降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。
[0015]3、本专利技术通过外支撑件与内支撑件的设置，在上述接触件发生水平移动的过程中，平移件会挤压拨动件，使得伸缩件带动外支撑件接触石英坩埚的外壁，通过上述动作，进而令两侧的外支撑件对石英坩埚施加向内的挤压力，使得石英坩埚的固定效果提高，同时，通过向内挤压的外支撑件与向外挤压的内支撑件，进而进一步提高对石英坩埚的夹持力，降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。
附图说明
[0016]图1为本专利技术施力件内部结构示意图；
[0017]图2为本专利技术滑条与偏移块相对位置示意图；
[0018]图3为本专利技术吸盘与外支撑件相对位置示意图；
[0019]图4为本专利技术导气孔连通状态示意图；
[0020]图5为本专利技术升降台内部结构示意图；
[0021]图6为现有技术结构示意图。
[0022]图中：1、安装座；2、搬运臂；3、调距机构；4、施力件；5、升降台；6、滑条；7、滑槽；8、吸盘；9、一号弹性件；10、平移槽；11、平移件；12、二号弹性件；13、接触件；14、偏移块；15、开口；16、一号连杆；17、内支撑件；18、导气孔；19、气管；20、伸缩腔；21、拨动件；22、伸缩件；23、二号连杆；24、外支撑件；25、三号弹性件。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚喷涂用运料设备，包括安装座(1)，所述安装座(1)安装在叉车上，所述安装座(1)内部的两侧位置均滑动安装有搬运臂(2)，两侧所述搬运臂(2)之间的位置放置有石英坩埚，所述安装座(1)内部的中间位置固定安装有调距机构(3)，所述调距机构(3)的输出杆与搬运臂(2)形成固定连接，其特征在于：两侧位置所述搬运臂的相对侧面上均固定安装有施力件(4)，所述施力件(4)的内腔中滑动安装有升降台(5)，所述升降台(5)面向石英坩埚的侧面安装有吸盘(8)，用以吸附石英坩埚的外壁，所述升降台(5)的底面固定安装有一号弹性件(9)，所述一号弹性件(9)的下端与施力件(4)内腔的底面连接，所述升降台(5)的前后侧面均设置有传动机构，所述石英坩埚内设置有内支撑件(17)，所述传动机构与内支撑件(17)连接，所述施力件(4)的前后内壁上均固定安装有偏移块(14)，所述偏移块(14)位于滑条(6)背向石英坩埚的一侧位置，在工作时，所述传动机构与偏移块(14)接触，进而使内支撑件(17)接触石英坩埚的内壁。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备，其特征在于：所述施力件(4)的前后内壁上均固定安装有滑条(6)，所述升降台(5)的前后侧面上均开设有滑槽(7)，所述滑条(6)与滑槽(7)形成滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备，其特征在于：所述升降台(5)内部的上方位置开设有导气孔(18)，所述导气孔(18)的下侧与吸盘(8)围成的空间连通，所述导气孔(18)的上侧开设在升降台(5)的上表面，所述升降台(5)的上方位置设置有气管(19)，所述气管(19)与施力件(4)形成滑动连接，所述气管(19)的下端与导气孔(18)的上侧连通，所述气管(19)的上端与负压机构连通。4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备，其特征在于：所述传动机构包括平移槽(10)、平移件(11)、二号弹性件(12)、接触件(13)、开口(15)与一号连杆(16)，所述升降台(5)前后侧面上均开设有平移槽(10)，所述平移槽(10)中滑动卡接有平移件(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭晓珊，
申请(专利权)人：谭晓珊，
类型：发明
国别省市：