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一种石英坩埚喷涂用运料设备制造技术

技术编号:36705559 阅读:27 留言:0更新日期:2023-03-01 09:27
本发明专利技术涉及坩埚搬运技术领域,且公开了一种石英坩埚喷涂用运料设备,包括安装座,所述安装座内部的两侧位置均安装有搬运臂,两侧所述搬运臂之间放置有石英坩埚,所述安装座内部安装有调距机构,两侧位置所述搬运臂的侧面上均安装有施力件,所述施力件的内腔中安装有升降台,所述升降台的侧面安装有吸盘,所述升降台的底面安装有一号弹性件,所述升降台的前后侧面均设置有传动机构,所述石英坩埚内设置有内支撑件,所述传动机构与内支撑件连接,所述施力件的内壁安装有偏移块。本发明专利技术通过接触件与内支撑件的设置,使得在吸盘失效后,两侧的内支撑件仍能阻止石英坩埚掉落,从而降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚喷涂用运料设备


[0001]本专利技术涉及坩埚搬运
,具体为一种石英坩埚喷涂用运料设备。

技术介绍

[0002]石英坩埚是一种生产单晶硅棒所需的设备,其中,在石英坩埚的生产过程中,需要使用运料装置来将具有较高温度的石英坩埚搬运到涂料工作台上,进而对石英坩埚的内表面喷涂涂料,从而阻止单晶硅在高温拉制过程中硅与石英坩埚反应。
[0003]现有的一些运料装置由安装座、调距机构、搬运臂与吸盘组成,在工作时,将安装座与叉车连接,之后,令搬运臂带动吸盘接触并吸附石英坩埚(方形)的外壁,然后,叉车带动安装座上移,进而使石英坩埚被抬起,最后,将石英坩埚放置在涂料工作台上,并使吸盘脱离石英坩埚,通过上述动作,进而实现石英坩埚的搬运,但是在上述过程中,由于上述结构只通过吸力带动石英坩埚脱离地面,进而使得在搬运过程中,当吸盘突然失效时,石英坩埚会发生掉落,而由于石英坩埚较为脆弱,一旦发生掉落,就会造成石英坩埚的破损,从而产生一定的经济损失。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提出的现有运料装置在使用过程中存在的不足,本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚喷涂用运料设备,包括安装座(1),所述安装座(1)安装在叉车上,所述安装座(1)内部的两侧位置均滑动安装有搬运臂(2),两侧所述搬运臂(2)之间的位置放置有石英坩埚,所述安装座(1)内部的中间位置固定安装有调距机构(3),所述调距机构(3)的输出杆与搬运臂(2)形成固定连接,其特征在于:两侧位置所述搬运臂的相对侧面上均固定安装有施力件(4),所述施力件(4)的内腔中滑动安装有升降台(5),所述升降台(5)面向石英坩埚的侧面安装有吸盘(8),用以吸附石英坩埚的外壁,所述升降台(5)的底面固定安装有一号弹性件(9),所述一号弹性件(9)的下端与施力件(4)内腔的底面连接,所述升降台(5)的前后侧面均设置有传动机构,所述石英坩埚内设置有内支撑件(17),所述传动机构与内支撑件(17)连接,所述施力件(4)的前后内壁上均固定安装有偏移块(14),所述偏移块(14)位于滑条(6)背向石英坩埚的一侧位置,在工作时,所述传动机构与偏移块(14)接触,进而使内支撑件(17)接触石英坩埚的内壁。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备,其特征在于:所述施力件(4)的前后内壁上均固定安装有滑条(6),所述升降台(5)的前后侧面上均开设有滑槽(7),所述滑条(6)与滑槽(7)形成滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备,其特征在于:所述升降台(5)内部的上方位置开设有导气孔(18),所述导气孔(18)的下侧与吸盘(8)围成的空间连通,所述导气孔(18)的上侧开设在升降台(5)的上表面,所述升降台(5)的上方位置设置有气管(19),所述气管(19)与施力件(4)形成滑动连接,所述气管(19)的下端与导气孔(18)的上侧连通,所述气管(19)的上端与负压机构连通。4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚喷涂用运料设备,其特征在于:所述传动机构包括平移槽(10)、平移件(11)、二号弹性件(12)、接触件(13)、开口(15)与一号连杆(16),所述升降台(5)前后侧面上均开设有平移槽(10),所述平移槽(10)中滑动卡接有平移件(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员:谭晓珊
申请(专利权)人:谭晓珊
类型:发明
国别省市:

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