下载一种石英坩埚喷涂用运料设备的技术资料

文档序号:36705559

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本发明涉及坩埚搬运技术领域,且公开了一种石英坩埚喷涂用运料设备,包括安装座,所述安装座内部的两侧位置均安装有搬运臂,两侧所述搬运臂之间放置有石英坩埚,所述安装座内部安装有调距机构,两侧位置所述搬运臂的侧面上均安装有施力件,所述施力件的内腔中...
该专利属于谭晓珊所有,仅供学习研究参考,未经过谭晓珊授权不得商用。

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