一种金属掩模版电铸母版、金属掩模版及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种金属掩模版电铸母版、金属掩模版及其制备方法，其金属掩模版电铸母版用于通过电铸生成金属掩模版，包括图形化导电基板，所述图形化导电基板第一表面设有凹陷，所述第一表面非凹陷部分包含所述金属掩模版的图案，所述凹陷内填充有非导电材料。本发明专利技术提供的金属掩模版电铸母版、金属掩模版及其制备方法，通过图形化导电基板第一表面设有凹陷，采用非导电材料在凹陷内进行填充，电铸后剥离金属掩模版时，非导电材料也不会脱落，从而该电铸母版能重复多次使用，能显著降低工艺成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩模版电铸母版、金属掩模版及其制备方法


[0001]本专利技术涉及精密制造
，特别是涉及一种金属掩模版电铸母版、金属掩模版及其制备方法。

技术介绍

[0002]OLED的发光原理是在ITO玻璃上制作一层几十纳米厚的发光材料——也就是人们通常所说OLED屏幕像素自发光的材料，形成有机层的最常用的方法是“蒸镀”。这里蒸镀就是真空中通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，随即它们可以以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。
[0003]像素蒸镀是OLED制造工艺的核心部分，涉及到三项关键环节：蒸镀设备、有机发光靶材和精密镂空掩模版(FMM)。其中，FMM用于在蒸镀过程中遮挡材料，在基板上形成像素结构。FMM是一种需要采用精密微纳加工技术形成的阵列孔洞网板，高分辨率面板的像素结构越小，FMM的开口越小。此外，为了满足蒸镀过程的精度保障要求，FMM还需要具有一定的力学拉升特性和温度形变特性。
[0004]采用Invar合金片材为基材的蚀刻法，是当前制造的FMM的成熟技术，但这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩模版电铸母版，用于通过电铸生成金属掩模版，其特征在于，包括图形化导电基板，所述图形化导电基板第一表面设有凹陷，所述第一表面非凹陷部分包含所述金属掩模版的图案，所述凹陷内填充有非导电材料。2.如权利要求1所述的电铸母版，其特征在于，所述非导电材料为环氧树脂、特氟龙中的一种或多种。3.如权利要求1所述的电铸母版，其特征在于，所述电铸母版用于电铸OLED蒸镀用金属掩模版，所述OLED蒸镀用金属掩模版为阵列孔洞网板，所述孔洞对应所述OLED的像素结构。4.一种如权利要求1或2或3所述的金属掩模版电铸母版的制备方法，其特征在于，包括：提供金属基板；在所述金属基板第一表面形成凹陷，形成图形化导电基板，所述第一表面非凹陷部分包含所述金属掩模版的图案；在所述凹陷内填充非导电材料。5.如权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦东林，邵仁锦，朱鹏飞，李晓伟，张瑾，
申请(专利权)人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：