一种离线校准压力计的工具制造技术

本实用新型专利技术涉及压力计技术领域，具体为一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体和电压测试机构，且密封腔体为一柱状空心盒体，所述密封腔体的表面设置有多个压力计安装端口，所述密封腔体的表面还设置有氮气进气口，所述压力计安装端口和氮气进气口为圆形管状端口并与密封腔体内部连接。通过对压力计的校准提出了标准的流程，能更直观看出压力计的读值误差，利用标准压力计可以对下线的压力计进行校准，通过对比两个模拟电压的信号就可以比较出待校准压力计和标准压力计的差异，从而可以更方便快捷的检测和校准，从而减少因压力计读值误差而影响产品品质的问题，也降低压力计的报废率。废率。废率。

【技术实现步骤摘要】
一种离线校准压力计的工具


[0001]本技术涉及压力计
，具体为一种离线校准压力计的工具。

技术介绍

[0002]在半导体真空设备中，压力计使用广泛，其在芯片生产和制造中起到了关键的作用。但是压力计属于精密元器件，长时间的使用后，会有误差产生，从而影响工艺参数，甚至影响芯片品质。以往对于这些长时间使用的压力计，只是进行简单的维修保养，甚至直接报废，没有完整的维修和检测，现有技术中，压力计在需要校准时均需要安装在设备上，通过设备自带的程序进行校准，这过程浪费大量时间，为此需要设计一种离线校准压力计的工具。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于解决上文提出的以往对于这些长时间使用的压力计，只是进行简单的维修保养，甚至直接报废，没有完整的维修和检测，现有技术中，压力计在需要校准时均需要安装在设备上，通过设备自带的程序进行校准，这过程浪费大量时间的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体和电压测试机构，且密封腔体为一柱状空心盒体，所述密封腔体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体(1)和电压测试机构(5)，所述密封腔体(1)为一柱状空心盒体，其特征在于：所述密封腔体(1)的表面设置有多个压力计安装端口，所述密封腔体(1)的表面还设置有氮气进气口(3)，所述压力计安装端口和氮气进气口(3)为圆形管状端口并与密封腔体(1)内部连接。2.根据权利要求1所述的一种离线校准压力计的工具，其特征在于：所述压力计安装端口设置为两个，分别为标准压力计安装端口(2)和需要校准压力计端口(4)。3.根据权利要求1所述的一种离线校准压力计...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱立春，光哥，贾鹏宽，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：