一种离线校准压力计的工具制造技术

本实用新型专利技术涉及压力计技术领域，具体为一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体和电压测试机构，且密封腔体为一柱状空心盒体，所述密封腔体的表面设置有多个压力计安装端口，所述密封腔体的表面还设置有氮气进气口，所述压力计安装端口和氮气进气口为圆形管状端口并与密封腔体内部连接。通过对压力计的校准提出了标准的流程，能更直观看出压力计的读值误差，利用标准压力计可以对下线的压力计进行校准，通过对比两个模拟电压的信号就可以比较出待校准压力计和标准压力计的差异，从而可以更方便快捷的检测和校准，从而减少因压力计读值误差而影响产品品质的问题，也降低压力计的报废率。废率。废率。

【技术实现步骤摘要】
一种离线校准压力计的工具


[0001]本技术涉及压力计
，具体为一种离线校准压力计的工具。

技术介绍

[0002]在半导体真空设备中，压力计使用广泛，其在芯片生产和制造中起到了关键的作用。但是压力计属于精密元器件，长时间的使用后，会有误差产生，从而影响工艺参数，甚至影响芯片品质。以往对于这些长时间使用的压力计，只是进行简单的维修保养，甚至直接报废，没有完整的维修和检测，现有技术中，压力计在需要校准时均需要安装在设备上，通过设备自带的程序进行校准，这过程浪费大量时间，为此需要设计一种离线校准压力计的工具。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于解决上文提出的以往对于这些长时间使用的压力计，只是进行简单的维修保养，甚至直接报废，没有完整的维修和检测，现有技术中，压力计在需要校准时均需要安装在设备上，通过设备自带的程序进行校准，这过程浪费大量时间的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体和电压测试机构，且密封腔体为一柱状空心盒体，所述密封腔体的表面设置有多个压力计安装端口，所述密封腔体的表面还设置有氮气进气口，所述压力计安装端口和氮气进气口为圆形管状端口并与密封腔体内部连接。
[0006]优选的，所述压力计安装端口设置为两个，分别为标准压力计安装端口和需要校准压力计端口。
[0007]优选的，所述电压测试机构为压力计供电装置和压力计模拟电压输出装置，所述电压测试机构的末端带有两根电缆和接头连接压力计信号端口。
[0008]优选的，所述压力计供电装置为交流可调电源，所述压力计模拟电压输出装置为功率测试器，且压力计模拟电压输出装置的输出端连接有显示器。
[0009]优选的，所述标准压力计安装端口和需要校准压力计端口的末端设置有橡胶圈和卡环。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过对压力计的校准提出了标准的流程，能更直观看出压力计的读值误差，利用标准压力计可以对下线的压力计进行校准，通过对比两个模拟电压的信号就可以比较出待校准压力计和标准压力计的差异，从而可以更方便快捷的检测和校准，从而减少因压力计读值误差而影响产品品质的问题，也降低压力计的报废率，并且在测试前通过对比标准压力计在不同压力下反馈的模拟电压信号和标准信号来做对比，减少错误率，这样的方法既方便高效，又简单可行。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构俯视示意图；
[0012]图2为本技术的结构正视示意图；
[0013]图3为本技术的连接电路图。
[0014]图中：1、密封腔体；2、标准压力计安装端口；3、氮气进气口； 4、需要校准压力计端口；5、电压测试机构。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：
[0017]参阅附图1
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2，一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体1 和电压测试机构5，且密封腔体1为一柱状空心盒体，密封腔体1 的表面设置有多个压力计安装端口，密封腔体1的表面还设置有氮气进气口3，压力计安装端口和氮气进气口3为圆形管状端口并与密封腔体1内部连接，当通过氮气进气口3向密封腔体1内冲入氮气时，在不同压力下，标准压力计反馈的模拟电压应与下表中列出一致。同时需要校准压力计端口4上的待校准压力计也会反馈模拟电压信号到电压测试机构5中，通过对比两个模拟电压的信号就可以比较出待校准压力计和标准压力计的差异，从而可以更方便快捷的检测和校准。
[0018]AnalogOutputVoltage
[0019][0020]进一步的，压力计安装端口设置为两个，分别为标准压力计安装端口2和需要校准压力计端口4，需要校准压力计端口4可以设置为多个，则可同时对多个需要校准压力计进行校准，进一步提高了工具的效率。
[0021]进一步的，电压测试机构5为压力计供电装置和压力计模拟电压输出装置，电压测试机构5的末端带有两根电缆和接头连接压力计信号端口，压力计供电装置为交流可调电源，压力计模拟电压输出装置为功率测试器，且压力计模拟电压输出装置的输出端连接有显示器，测试的数据可通过功率测试器传输至显示屏上，便于工作人员观察。
[0022]进一步的，标准压力计安装端口2和需要校准压力计端口4的末端设置有橡胶圈和卡环，用以固定压力计，避免压力计脱落。
[0023]工作原理：将标准压力计和需要校准的压力计分别通过标准压力计安装端口2和需要校准压力计安装端口4安装后，通过氮气进气口3向密封腔体1内冲入氮气时，在不同压力下，标准压力计反馈的模拟电压应与表格中列出一致。则可开始对需要校准压力计进行
测试，如数据不一致，工作人员需检查装置接线、更换标准压力计重新测试，在测试无误后，通过需要校准压力计端口4上的待校准压力计也会反馈模拟电压信号到电压测试机构5中，通过对比两个模拟电压的信号就可以比较出待校准压力计和标准压力计的差异，从而可以更方便快捷的检测和校准。
[0024]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离线校准压力计的工具，包括密封腔体(1)和电压测试机构(5)，所述密封腔体(1)为一柱状空心盒体，其特征在于：所述密封腔体(1)的表面设置有多个压力计安装端口，所述密封腔体(1)的表面还设置有氮气进气口(3)，所述压力计安装端口和氮气进气口(3)为圆形管状端口并与密封腔体(1)内部连接。2.根据权利要求1所述的一种离线校准压力计的工具，其特征在于：所述压力计安装端口设置为两个，分别为标准压力计安装端口(2)和需要校准压力计端口(4)。3.根据权利要求1所述的一种离线校准压力计...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱立春，光哥，贾鹏宽，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：