一种半导体扩散炉用花篮支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体扩散炉用花篮支架，包括互相平行的固定梁和滑动梁，所述固定梁的两端固定有对称布置的连接柄，两个所述连接柄互相平行且均垂直于所述固定梁；所述滑动梁的两端分别与两个连接柄滑动连接，所述滑动梁能够沿连接柄的轴向方向滑动；所述固定梁和滑动梁上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节。本实用新型专利技术不仅能够根据不同尺寸规格的硅片调节相应的卡槽宽度与长度，而且能够降低在装卸硅片过程中发生卡顿、碎片风险，大大提高了通用性和安全性。了通用性和安全性。了通用性和安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散炉用花篮支架


[0001]本技术涉及半导体扩散
，具体为一种半导体扩散炉用花篮支架。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。硅片是全球应用最广泛、最重要的半导体基础材料，是制造芯片的基本衬底材料，也是唯一贯穿各道芯片前道制程的半导体材料，目前全球半导体市场中，90％以上的芯片和传感器都是基于硅材料制造而成，其在晶圆制造材料中占比最大。
[0003]在光伏发电
，使用到大量的硅片电池，在批量生产硅片电池的过程中，由于各工序所用设备结构不同，需要大量使用花篮支架来盛放和中转硅片，同时花篮支架也起到作为花篮工作平台以及监控的作用。但是在使用时，现有的花篮支架存在以下不足之处：
[0004]1.目前市场上存在的花篮卡槽与底部挡杆成垂直设置，在装卸硅片过程中容易发生卡顿和碎片的问题；
[0005]2.市面上针对固定规格的硅片实用对应规格的花篮支架，花篮支架的卡槽宽度不能调节，通用性较差。

技术实现思路

[0006]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，包括互相平行的固定梁(1)和滑动梁(2)，所述固定梁(1)的两端固定有对称布置的连接柄(3)，两个所述连接柄(3)互相平行且均垂直于所述固定梁(1)；所述滑动梁(2)的两端分别与两个连接柄(3)滑动连接，所述滑动梁(2)能够沿连接柄(3)的轴向方向滑动；所述固定梁(1)和滑动梁(2)上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节。2.根据权利要求1所述的一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，所述固定梁(1)朝向滑动梁(2)的侧壁上以及所述滑动梁(2)朝向固定梁(1)的侧壁上分别等间距开设有若干个凹榫(9)，滑动梁(2)和固定梁(1)上的凹榫(9)呈对称布置；所述承载组件包括两个用于分隔硅片的隔板(10)，两个隔板(10)上均设置有与所述凹榫(9)相配合的凸榫(11)。3.根据权利要求2所述的一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，所述隔板(10)下端固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡超，张圣尧，孟战胜，耿朝阳，张金龙，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：