一种半导体扩散炉用花篮支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体扩散炉用花篮支架，包括互相平行的固定梁和滑动梁，所述固定梁的两端固定有对称布置的连接柄，两个所述连接柄互相平行且均垂直于所述固定梁；所述滑动梁的两端分别与两个连接柄滑动连接，所述滑动梁能够沿连接柄的轴向方向滑动；所述固定梁和滑动梁上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节。本实用新型专利技术不仅能够根据不同尺寸规格的硅片调节相应的卡槽宽度与长度，而且能够降低在装卸硅片过程中发生卡顿、碎片风险，大大提高了通用性和安全性。了通用性和安全性。了通用性和安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体扩散炉用花篮支架


[0001]本技术涉及半导体扩散
，具体为一种半导体扩散炉用花篮支架。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。硅片是全球应用最广泛、最重要的半导体基础材料，是制造芯片的基本衬底材料，也是唯一贯穿各道芯片前道制程的半导体材料，目前全球半导体市场中，90％以上的芯片和传感器都是基于硅材料制造而成，其在晶圆制造材料中占比最大。
[0003]在光伏发电
，使用到大量的硅片电池，在批量生产硅片电池的过程中，由于各工序所用设备结构不同，需要大量使用花篮支架来盛放和中转硅片，同时花篮支架也起到作为花篮工作平台以及监控的作用。但是在使用时，现有的花篮支架存在以下不足之处：
[0004]1.目前市场上存在的花篮卡槽与底部挡杆成垂直设置，在装卸硅片过程中容易发生卡顿和碎片的问题；
[0005]2.市面上针对固定规格的硅片实用对应规格的花篮支架，花篮支架的卡槽宽度不能调节，通用性较差。

技术实现思路

[0006]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种半导体扩散炉用花篮支架，不仅能够根据不同尺寸规格的硅片调节相应的卡槽宽度与长度，而且能够降低在装卸硅片过程中发生卡顿、碎片风险，大大提高了通用性和安全性。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案。
[0008]本技术提供一种半导体扩散炉用花篮支架，包括互相平行的固定梁和滑动梁，所述固定梁的两端固定有对称布置的连接柄，两个所述连接柄互相平行且均垂直于所述固定梁；所述滑动梁的两端分别与两个连接柄滑动连接，所述滑动梁能够沿连接柄的轴向方向滑动；
[0009]所述固定梁和滑动梁上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节。
[0010]优选地，所述固定梁朝向滑动梁的侧壁上以及所述滑动梁朝向固定梁的侧壁上分别等间距开设有若干个凹榫，滑动梁和固定梁上的凹榫呈对称布置；所述承载组件包括两个用于分隔硅片的隔板，两个隔板上均设置有与所述凹榫相配合的凸榫。
[0011]优选地，所述隔板下端固定有一载板，所述载板的上壁宽度与隔板下壁宽度相等且二者固定连接，所述载板的下壁宽度大于其上壁宽度，所述载板的位于隔板两侧的侧壁呈弧形设置。
[0012]优选地，两个所述连接柄相向的侧壁上分别开设有调节槽，所述滑动梁的两端分别固定有调节块，所述两个调节块分别滑动设置于两个调节槽内；所述调节槽内转动设置
有丝杠，所述丝杠一端惯穿调节块转动设置于调节槽上靠近固定梁的一端，所述丝杠另一端惯穿连接柄上远离固定梁的端部与一旋钮固定连接；调节块与丝杠通过螺纹连接。
[0013]优选地，所述连接柄的侧壁设置有刻度线，所述刻度线的零点刻度位置与固定梁靠近滑动梁的侧壁位置对齐。
[0014]本技术一种半导体扩散炉用花篮支架的有益效果具体如下：
[0015]1、本技术通过转动旋钮来调节固定梁、滑动梁之间的距离，且能够通过将隔板上的凸榫连接在不同位置的凹榫上来调节卡槽宽度(相邻两个隔板之间的距离)，使其适用于不同规格尺寸的硅片，大大提高了其通用性。
[0016]2、本技术的隔板下方固定有侧壁呈固定设置的载板，降低硅片在装卸与花篮支架过程中发生卡顿、碎片风险，大大提高了其安全性。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术实施例的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例的剖视图；
[0020]图3为图2中A部的放大图；
[0021]图4为本技术实施例中隔板的结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、固定梁，2、滑动梁，3、连接柄，4、调节槽，5、调节块，6、丝杠，7、旋钮，8、刻度线，9、凹榫，10、隔板，11、凸榫，12、载板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例：
[0026]如图1至图4所示，本技术提供了一种半导体扩散炉用花篮支架，包括固定梁1、滑动梁2和设置在二者两侧的两个连接柄3；其中，固定梁1和滑动梁2互相平行，两个连接柄3互相平行且均垂直于固定梁1；其中，固定梁1的两端分别与两个连接柄3固定连接，滑动梁2的两端分别与两个连接柄3滑动连接，滑动梁2能够沿连接柄3的轴向方向滑动；
[0027]具体的：
[0028]两个连接柄3相向的侧壁上分别开设有调节槽4，滑动梁2的两端分别固定有调节块5，两个调节块5分别滑动设置于两个调节槽4内；调节槽4内转动设置有丝杠6，丝杠6一端惯穿调节块5转动设置于调节槽4上靠近固定梁1的一端，调节块5与丝杠6通过螺纹连接；丝杠6另一端惯穿连接柄3上远离固定梁1的端部与一旋钮7固定连接；因此，用户通过转动两
个旋钮7，实现调节滑动梁2与固定梁1之间的距离s，即适用于长度或者宽度不同的硅片，图2所示。
[0029]为了使滑动梁2的位置调节的更为准确，连接柄3的侧壁设置有刻度线8，刻度线8的零点刻度位置与固定梁1靠近滑动梁2的侧壁位置对齐，那么，滑动梁2两端对应在刻度线8的读数即为滑动梁2与固定梁1之间的距离s，如图1所示。
[0030]作为本技术再进一步的方案：固定梁1和滑动梁2上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节，以适用于不同厚度的硅片。
[0031]具体的：
[0032]固定梁1朝向滑动梁2的侧壁上以及滑动梁2朝向固定梁1的侧壁上分别等间距开设有若干个凹榫9，滑动梁2和固定梁1上的凹榫9呈对称布置；承载组件包括两个用于分隔硅片的隔板10，两个隔板10上均设置有与凹榫9相配合的凸榫11，用户通过将隔板10上的凸榫11分别插在滑动梁2和固定梁1上不同的凹榫9内，即可调节相邻的两个硅片承载组件之间的距离，即卡槽的间距d，如图3所示，以适用于不同厚度的硅片。
[0033]作为本技术再进一步的方案：隔板10下端固定有一载板12，载板12的上壁宽度与隔板10下壁宽度相等且二者固定连接，载板12的下壁宽度大于其上壁宽度，载板12的位于隔板10两侧的侧壁呈弧形设置，如图3和图4所示，载板12侧壁为弧形曲面，降低硅片在装卸与花篮支架过程中发生卡顿、碎片风险，大大提高了其安全性。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，包括互相平行的固定梁(1)和滑动梁(2)，所述固定梁(1)的两端固定有对称布置的连接柄(3)，两个所述连接柄(3)互相平行且均垂直于所述固定梁(1)；所述滑动梁(2)的两端分别与两个连接柄(3)滑动连接，所述滑动梁(2)能够沿连接柄(3)的轴向方向滑动；所述固定梁(1)和滑动梁(2)上对称设置有若干个硅片承载组件，且相邻的两个硅片承载组件之间的距离能够调节。2.根据权利要求1所述的一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，所述固定梁(1)朝向滑动梁(2)的侧壁上以及所述滑动梁(2)朝向固定梁(1)的侧壁上分别等间距开设有若干个凹榫(9)，滑动梁(2)和固定梁(1)上的凹榫(9)呈对称布置；所述承载组件包括两个用于分隔硅片的隔板(10)，两个隔板(10)上均设置有与所述凹榫(9)相配合的凸榫(11)。3.根据权利要求2所述的一种半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于，所述隔板(10)下端固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡超，张圣尧，孟战胜，耿朝阳，张金龙，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：