一种斜插式四棒刻槽笼舟制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆片处理领域，具体涉及一种斜插式四棒刻槽笼舟，包括两个固定棒、两个上槽棒和两个下槽棒，两个所述下槽棒滑动设置于底座的上端，两个所述上槽棒通过连接棒对称并固定设置于两个下槽棒顶部的两侧，本实用新型专利技术的一种斜插式四棒刻槽笼舟，通过设计上槽棒和下槽棒能够解决传统双棒刻槽舟无法限制晶圆片上部的问题，并且通过在上槽棒和下槽棒上开设倾斜的卡槽，能够在有效防止晶圆片倾斜的基础上使晶圆片保持一定的插入倾角，可以使气体更好的浸润到每一块晶圆片，可转动的笼舟上部，可以轻微的调整笼舟上部的角度，使气体可以吹到每一块晶圆片，从而保证气体在每块晶圆片间都存在。圆片间都存在。圆片间都存在。

【技术实现步骤摘要】
一种斜插式四棒刻槽笼舟


[0001]本技术涉及晶圆片处理领域，具体涉及一种斜插式四棒刻槽笼舟。

技术介绍

[0002]传统的双棒刻槽舟插法，将晶圆片垂直于刻槽舟90度插入，当特种气体气流吹过时，前几片晶圆片挡住了气流量，后面及背面插的晶圆片受气体浸润效果差，使产品效果的一致性差，并且双棒刻槽舟只能限制晶圆片底部，上部无法限制倾斜，容易与其他晶圆片相接触，因此需要一种能够使每块晶圆片之间不相互接触，并且保证特种气体能浸润到每一块晶圆片的刻槽笼舟，基于以上背景，提出一种斜插式四棒刻槽笼舟来解决传统的双棒刻槽舟无法固定晶圆片上部且无法保证特种气体浸润到每一块晶圆片的问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种斜插式四棒刻槽笼舟，其目的在于解决传统的双棒刻槽舟无法固定晶圆片上部且无法保证特种气体浸润到每一块晶圆片的问题。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种斜插式四棒刻槽笼舟，包括两个固定棒、两个上槽棒和两个下槽棒，两个所述下槽棒滑动设置于底座的上端，两个所述上槽棒通过连接棒对称并固定设置于两个下槽棒顶部的两侧。
[0006]进一步的，每个所述上槽棒的外壁均设有若干上卡槽，且若干上卡槽呈直线阵列状设置，每个所述下槽棒的外壁均设有若干下卡槽，且若干下卡槽呈直线阵列状设置。
[0007]进一步的，每个所述上卡槽和下卡槽均呈倾斜状设置，且每个上卡槽与下卡槽一一对应设置。
[0008]进一步的，两个所述下槽棒的两端分别固定设置有第一横杆和第二横杆，所述第一横杆的底端固定设置有滑块，所述第二横杆的底端开设有连接槽。
[0009]进一步的，两个所述固定棒的两端分别固定设置有第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的顶端固定设置有滑道，所述滑块滑动设置于滑道内，所述第二连接杆的顶端固定设置有旋转轴，且旋转轴插接于连接槽内，所述第一连接杆和第二连接杆的外侧均固定设置有圆环。
[0010]本技术的有益效果：
[0011]1、本技术的一种斜插式四棒刻槽笼舟，通过设计上槽棒和下槽棒能够解决传统双棒刻槽舟无法限制晶圆片上部，容易导致晶圆倾斜的问题。
[0012]2、通过在上槽棒和下槽棒上开设倾斜的卡槽，能够在有效防止晶圆片倾斜的基础上使晶圆片保持一定的插入倾角，可以使气体更好的侵润到每一块晶圆片。
[0013]3、通过设计可转动的笼舟上部，可以轻微的调整笼舟上部的角度，使气体可以吹到每一块晶圆片，从而保证气体在每块晶圆片间都存在。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施方案或现有技术中的技术方案，下面将对实施方案或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方案，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0016]图2为本技术固定棒的局部结构示意图；
[0017]图3为本技术上槽棒的局部结构示意图；
[0018]图4为本技术下槽棒的局部结构示意图。
[0019]图中：
[0020]1、固定棒；11、第一连接杆；111、滑道；12、第二连接杆；121、旋转轴；13、圆环；
[0021]2、上槽棒；21、上卡槽；
[0022]3、下槽棒；31、下卡槽；32、第一横杆；321、滑块；33、第二横杆；331、连接槽。
具体实施方式
[0023]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。
[0024]参照图1所示，一种斜插式四棒刻槽笼舟，包括两个固定棒1、两个上槽棒2和两个下槽棒3，两个所述下槽棒3滑动设置于底座的上端，两个所述上槽棒2通过连接棒对称并固定设置于两个下槽棒3顶部的两侧。
[0025]参照图2所示，两个所述固定棒1的两端分别固定设置有第一连接杆11和第二连接杆12，所述第一连接杆11的顶端固定设置有滑道111，所述滑块321滑动设置于滑道111内，所述第二连接杆12的顶端固定设置有旋转轴121，且旋转轴121插接于连接槽331内，所述第一连接杆11和第二连接杆12的外侧均固定设置有圆环13，在四棒刻槽笼舟拼接完成后，插入需要处理的晶圆片，在晶圆片进行高温处理前，通过推动设置有滑块321的一端，可以微调四棒刻槽笼舟上半部分的角度，使每个晶圆片之间轻微错位，当气体吹过时，气体可以进入到每个晶圆片之间的缝隙，使所有晶圆片的正反面都能均匀的得到气体浸润。
[0026]参照图3所示，每个所述上槽棒2的外壁均设有若干上卡槽21，且若干上卡槽21呈直线阵列状设置，每个所述下槽棒3的外壁均设有若干下卡槽31，且若干下卡槽31呈直线阵列状设置，每个所述上卡槽21和下卡槽31均呈倾斜状设置，且每个上卡槽21与下卡槽31一一对应设置，将晶圆片插入对应的上卡槽21和下卡槽31中，上下卡槽31的设计，可以很好的固定晶圆片，防止晶圆片倾斜，使晶圆片之间不易接触，倾斜的上卡槽21和下卡槽31对应设置，使插入的晶圆片一定的倾斜角度，在特种气体经过时，四棒刻槽舟上所有晶圆片都能均匀的得到气体浸润，提高产品一致性。
[0027]参照图4所示，两个所述下槽棒3的两端分别固定设置有第一横杆32和第二横杆33，所述第一横杆32的底端固定设置有滑块321，所述第二横杆33的底端开设有连接槽331，将第二横杆33底端的连接槽331与旋转轴121进行插接，使下槽棒3通连接槽331可以围绕旋转轴121转动，再将第一横杆32底端的滑块321置于滑道111中，完成整个四棒刻槽笼舟的拼接工作。
[0028]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种斜插式四棒刻槽笼舟，其特征在于，包括两个固定棒(1)、两个上槽棒(2)和两个下槽棒(3)，两个所述下槽棒(3)滑动设置于底座的上端，两个所述上槽棒(2)通过连接棒对称并固定设置于两个下槽棒(3)顶部的两侧。2.根据权利要求1所述的一种斜插式四棒刻槽笼舟，其特征在于，每个所述上槽棒(2)的外壁均设有若干上卡槽(21)，且若干上卡槽(21)呈直线阵列状设置，每个所述下槽棒(3)的外壁均设有若干下卡槽(31)，且若干下卡槽(31)呈直线阵列状设置。3.根据权利要求2所述的一种斜插式四棒刻槽笼舟，其特征在于，每个所述上卡槽(21)和下卡槽(31)均呈倾斜状设置，且每个上卡槽(21)与下卡槽(31)一一对应设置。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高宝华，
申请(专利权)人：常州银河电器有限公司，
类型：新型
国别省市：