一种PVD设备零部件喷砂遮封治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，属于喷砂辅助器具技术领域，该一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，包括第一部分，具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面；第二部分，具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面；平板部，具有同所述零部件中连接部外表面相贴合的内表面。通过设置由第一部分、第二部分和平板部构成的治具，以平板部将第一部分和第二部分连接以形成一个整体，并在零部件的外表面形成包覆圈，在零部件喷砂过程中，对零部件中除喷砂面以外的部分进行保护，使用时，只需将治具套接在零部件上，操作更加简便，且可以重复使用，减少浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD设备零部件喷砂遮封治具


[0001]本技术属于喷砂辅助器具
，具体涉及一种PVD设备零部件喷砂遮封治具。

技术介绍

[0002]磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种，是制备薄膜材料的重要方法之一，它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向被溅射的物质制成的靶电极(阴极)，并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的方法；磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高，在薄膜的制备中有广泛的应用，介于磁控溅射设备的工作环境，设备中零部件常常需要进行喷砂处理，以提高零部件材料的抗疲劳强度。
[0003]现有的磁控溅射设备零部件在喷砂处理过程中，由于不需要对整体进行喷砂处理，只有局部需要喷砂加工，为了防止对非加工面造成影响，需要在其表面缠绕胶带，采用这种方式，不仅过程繁琐，影响效率，同时胶带在使用之后就会丢弃造成浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，以解决上述
技术介绍
中提出现有喷砂过程中存在的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，包括第一部分，具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面；
[0006]第二部分，具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面；
[0007]平板部，具有同所述零部件中连接部外表面相贴合的内表面，且所述第一部分和第二部分通过所述平板部连接以形成一个整体，并在同所述零部件装配时包覆在所述零部件的外表面。
[0008]优选的，所述第一部分和第二部分均为圆筒状部件。
[0009]优选的，所述第一部分的轴向长度和所述第一圆筒部的长度相等，且所述第一部分的外径和所述第一圆筒部的内径相等。
[0010]优选的，所述第二部分的轴向长度的轴向长度和所述第一圆筒部的长度相等，且所述第二部分的内径和所述第二圆筒部的外径相等。
[0011]优选的，所述平板部和所述第一部分以及第二部分的连接位置做圆角处理。
[0012]优选的，所述第二部分的内壁上周向间隔设置有若干和所述零部件侧壁通孔相适配的凸块。
[0013]优选的，所述凸块由橡胶制成。
[0014]优选的，所述凸块通过粘接的方式固定在所述第二部分的内侧壁上。
[0015]优选的，所述凸块的厚度和所述第二圆筒部的厚度相等。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术通过设置由第一部分、第二部分和平板部构成的治具，以平板部将第一部分和第二部分连接以形成一个整体，并在零部件的外表面形成包覆圈，在零部件喷砂过程中，对零部件中除喷砂面以外的部分进行保护，使用时，只需将治具套接在零部件上，操作更加简便，且可以重复使用，减少浪费。
附图说明
[0018]图1为本技术零部件透视图；
[0019]图2为本技术零部件部分剖视图；
[0020]图3为本技术零部件喷砂位置图；
[0021]图4为本技术之治具结构示意图；
[0022]图5为本技术治具结构示意图。
[0023]图中：100、零部件；101、第一圆筒部；102、第二圆筒部；103、连接部；104、凸缘部；200、治具；201、第一部分；202、第二部分；203、凸块； 204、平板部。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参照图1和2，为现有PVD设备零部件100(以下简称零部件)的透视图和部分剖面图，该零部件100大致为一围绕轴线A形成的回转体，具体的，该零部件100主体由第一圆筒部101、第二圆筒部102和连接部103构成，其中第一圆筒部101和第二圆筒部102均沿轴线A延伸，并对应将第一圆筒部 101和第二圆筒部102的轴向长度(即第一圆筒部101和第二圆筒部102沿轴线A的延伸长度)分别记为L1和L2，且第二圆筒部102的长度大于第一圆筒部101的长度，即L2>L1,优选地，第二圆筒部102的长度为第一圆筒部101 长度的三倍，即L2＝3L1，以轴线A处于垂直状态，即以图2中零部件100的图示状态进行说明，由图可知，第一圆筒部101和第二圆筒部102的底端处于同一水平面，并对应的将第一圆筒部101和第二圆筒部102的底端记为固定端，第一圆筒部101和第二圆筒部102均由固定端沿轴线A向同一方向延伸形成，且第二圆筒部102的内径大于第一圆筒部101的外径；继续依照图2 对连接部103进行说明，连接部103大致成空心圆盘状，其外端同第二圆筒部102的固定端相连接，内端同第一圆筒部101的固定端相连接，即通过连接部103实现第一圆筒部101和第二圆筒部102的连接，以形成一完整的零部件100，并对应将图2中连接部103的上表面(即和第一圆筒部101外表面以及第二圆筒部102内表面连接的一面)记为连接部103的内表面，与内表面相对的一面记为外表面。
[0026]进一步的，上述第二圆筒部102的上边缘向外延伸形成凸缘部104，且第二圆筒部102的侧壁上周向间隔开设有若干圆孔，并对应将圆孔最低点同第二圆筒部102固定端的距离记为L3，圆孔最低点同第二圆筒部102固定端的距离大于第一圆筒部101的长度，即L3>L1。
[0027]参照图3，为上述零部件100喷砂部位示意图，图中虚线所标注的位置即为喷砂位
置，对应的，将虚线所覆盖位置记为喷砂面，为了在喷砂时，对零部件100的其余部分进行保护，现设计如下治具200：
[0028]参照图4和5，该治具200包括一主体部件，其整体形状和和上述零部件 100的形状相适配，和零部件100中第一圆筒部101、第二圆筒部102和连接部103相对应，该治具200包括第一部分201、第二部分202和平板部204，其中第一部分201和第二部分202分别为和第一圆筒部101和第二圆筒部102 相适配的圆筒状部件，具体的，第一部分201和第二部分202的轴向长度分别同第一圆筒部101和第二圆筒部102的轴向长度L1和L2相等，且第一部分201的外径和第一圆筒部101的内径大致相等，第二部分202内径和第二圆筒部102的外径大致相同，即第一部分201具有同第一圆筒部101内表面相贴合的外表面，第二部分202具有同第二圆筒部102外表面相贴合的内表面，即第一部分201和第二部分202能够分别套设在第一圆筒部101的内部和第二圆筒部102的外部；平板部204用于将上述第一部分201和第二部分 202进行连接，以构成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：包括：第一部分，具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面；第二部分，具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面；平板部，具有同所述零部件中连接部外表面相贴合的内表面，且所述第一部分和第二部分通过所述平板部连接以形成一个整体，并在同所述零部件装配时包覆在所述零部件的外表面。2.根据权利要求1所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第一部分和第二部分均为圆筒状部件。3.根据权利要求2所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第一部分的轴向长度和所述第一圆筒部的长度相等，且所述第一部分的外径和所述第一圆筒部的内径相等。4.根据权利要求2所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第二部分的...

【专利技术属性】
技术研发人员：任苗苗，徐亚彬，
申请(专利权)人：帝京半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：