一种PVD设备零部件喷砂遮封治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，属于喷砂辅助器具技术领域，该一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，包括第一部分，具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面；第二部分，具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面；平板部，具有同所述零部件中连接部外表面相贴合的内表面。通过设置由第一部分、第二部分和平板部构成的治具，以平板部将第一部分和第二部分连接以形成一个整体，并在零部件的外表面形成包覆圈，在零部件喷砂过程中，对零部件中除喷砂面以外的部分进行保护，使用时，只需将治具套接在零部件上，操作更加简便，且可以重复使用，减少浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD设备零部件喷砂遮封治具


[0001]本技术属于喷砂辅助器具
，具体涉及一种PVD设备零部件喷砂遮封治具。

技术介绍

[0002]磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种，是制备薄膜材料的重要方法之一，它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向被溅射的物质制成的靶电极(阴极)，并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并在衬底上沉积成膜的方法；磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高，在薄膜的制备中有广泛的应用，介于磁控溅射设备的工作环境，设备中零部件常常需要进行喷砂处理，以提高零部件材料的抗疲劳强度。
[0003]现有的磁控溅射设备零部件在喷砂处理过程中，由于不需要对整体进行喷砂处理，只有局部需要喷砂加工，为了防止对非加工面造成影响，需要在其表面缠绕胶带，采用这种方式，不仅过程繁琐，影响效率，同时胶带在使用之后就会丢弃造成浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，以解决上述
技术介绍
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：包括：第一部分，具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面；第二部分，具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面；平板部，具有同所述零部件中连接部外表面相贴合的内表面，且所述第一部分和第二部分通过所述平板部连接以形成一个整体，并在同所述零部件装配时包覆在所述零部件的外表面。2.根据权利要求1所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第一部分和第二部分均为圆筒状部件。3.根据权利要求2所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第一部分的轴向长度和所述第一圆筒部的长度相等，且所述第一部分的外径和所述第一圆筒部的内径相等。4.根据权利要求2所述的一种PVD设备零部件喷砂遮封治具，其特征在于：所述第二部分的...

【专利技术属性】
技术研发人员：任苗苗，徐亚彬，
申请(专利权)人：帝京半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：