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本实用新型公开了一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,属于喷砂辅助器具技术领域,该一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,包括第一部分,具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面;第二部分,具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面;...该专利属于帝京半导体科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过帝京半导体科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,属于喷砂辅助器具技术领域,该一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,包括第一部分,具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面;第二部分,具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表面;...