帝京半导体科技苏州有限公司专利技术

帝京半导体科技苏州有限公司共有26项专利

  • 本实用新型公开了一种PVD设备不锈钢零部件喷砂遮封治具,属于PVD设备零部件喷砂加工技术领域,该一种PVD设备不锈钢零部件喷砂遮封治具,包括相互配合的:第一防护件,所述第一防护件为一圆筒状部件,所述圆筒状部件具有分别同所述零部件中第二环...
  • 本实用新型公开了一种半导体刻蚀设备零件遮封治具,属于半导体设备零部件喷砂处理技术领域,该一种半导体刻蚀设备零件遮封治具,包括第一部件和第二部件。通过设置有第一部件和第二部件构成的治具,以第一部件中同零件的第一凸缘部圆周外表面相贴合的第一...
  • 本发明公开了一种半导体设备铝合金零部件超高洁净清洗工艺及其应用,涉及的是零部件清洗技术领域。本申请中将铝合金零部件通过在清洗液中、酸蚀溶液、酸洗溶液、硝酸水溶液浸泡后,继续用高压水冲洗、热水冲洗、溢流热水浸泡、氮气吹干、烘烤等处理,能够...
  • 本实用新型公开了一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,属于喷砂辅助器具技术领域,该一种PVD设备零部件喷砂遮封治具,包括第一部分,具有同零部件中第一圆筒部圆周内表面相贴合的外表面;第二部分,具有同所述零部件中第二圆筒部圆周外表面相贴合的内表...
  • 本发明公开了一种防静电、耐磨硬质阳极氧化处理工艺及其应用,涉及合金的处理领域,通过将零件进行活性剥离、碱洗、酸洗、氧化、封孔、烘烤等处理,得到的零件表面形成一层性能优异的氧化保护膜,氧化彻底、效果好。通过选用特定电阻性能、材料的挂具,满...
  • 本发明提供了半导体设备不锈钢零部件超高洁清洗装置及工艺,涉及清洗装置技术领域,包括切换组件,所述支撑架转动连接在通道支撑柱的中部,桌面组件和切换组件的配合使用大大降低了该装置的占用空间,工作人员无需在各个液体箱之间奔走清洗,而是通过调节...
  • 本实用新型公开了一种半导体元器件的传输设备,包括第一升降仓,第二升降仓,传输轨道和传输盒;第一升降仓和第二升降仓之间固定连接有传输轨道,传输盒位于传输轨道上,所述的第一升降仓包含驱动板、传动竖槽、传动横槽、齿轮带、传动齿轮和电机,升降仓...
  • 本实用新型公开了一种半导体零件的分拣装置,包括主传送带,副传送带,控制器,机架和分拣箱;主传送带和副传送带安装于机架上,副传送带位于主传送带的侧面,机架的侧面设置有控制器,机架的上方安装有分拣箱,分拣箱位于主传送带和副传送带的交汇处,副...
  • 本实用新型涉及一种用于零部件表面处理的酸蚀槽,属于技术领域,其包括槽体,所述槽体内部设有一酸蚀腔,所述槽体一侧前后相称设有滑槽,所述滑槽驱动连接有电动滑块,所述电动滑块通过第一固定轴转动连接有盖体,所述盖体侧端贯通设置有活动槽,所述滑槽...
  • 本发明公开了一种半导体设备零部件超洁净包装方法,包括所述半导体零部件包括超高真空使用条件下的半导体零部件;还包括,中、低真空使用条件下的半导体零部件;中、低真空使用条件下的不锈钢或塑料材料制成的半导体零部件;铜材料制成的半导体零部件;镍...
  • 本实用新型涉及一种用于零部件表面处理的清洗槽,属于机械清洗技术领域,其包括本体、第一外设臂和第二外设壁,所述本体为内部中空的盒体,所述本体内壁上固定设置有干燥板,所述本体内壁上设置有位于所述干燥板下方的滑轨,所述本体内壁上固定设置有位于...
  • 本实用新型涉及一种用于半导体设备零部件的真空氮气烘箱,属于烘箱技术领域,其包括包括烘箱,所述烘箱内部设有烘干室,所述烘干室与外部连通设置有箱门,所述烘箱内壁中开设有第一腔室,第二腔室和第三腔室,所述第一腔室开设于所述烘箱的底部,所述第二...
  • 本实用新型涉及一种半导体设备零部件表面处理生产线,属于半导体器件表面处理技术领域,其包括平台,所述平台上部两侧设置有滑动槽,所述滑动槽中设置有传动杆,所述传动杆套设有第一电动滑块,所述第一电动滑块上部固定连接有电动伸缩杆,能够根据不同型...
  • 本实用新型涉及一种用于金属表面处理的电泳装置,属于电泳设备技术领域,其包括盒体,所述盒体内部中空,所述盒体下部内侧固定设置有驱动电机,所述驱动电机输出轴固定连接有支撑板,所述支撑板位于所述盒体的中空部分,所述盒体上端固定连接设置有夹持机...
  • 本实用新型涉及一种用于半导体设备零部件的阳极氧化装置,属于氧化设备技术领域,其包括包括箱体,所述箱体内部开设有氧化腔,且上部开口,所述氧化腔两侧设置有传动腔,所述传动腔内部设置有第一丝杠,所述传动腔上部设置有第一驱动室,所述第一驱动室内...
  • 本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的移动机构,包括垂直移动支架,水平横向移动支架和水平纵向移动支架;所述的垂直移动支架由四根圆柱体立柱组成,所述的水平横向移动支架由两根长方体立柱组成,所述的水平纵向移动支架为正方体...
  • 本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的电镀刷,包括燕尾连接件,储液盒,金属固定板和金属丝;燕尾连接件由连接部和移动部组成,连接部为燕尾凸台,移动部为中空的长方体结构,移动部内置有储液盒,移动部与金属固定板固定连接。本...
  • 本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍设备,包括操作平台,移动机构和电镀刷,移动机构固定安装于操作平台上,电镀刷与移动机构为可拆卸式连接;所述的操作平台包含机架,固定器,液体回收盒和数控装置,固定器安装于机架的两端,液...
  • 本实用新型公开了一种用于半导体蚀刻反应腔室的全自动刷镀镍的操作平台,包括机架,固定器,液体回收盒和数控装置,所述的机架为长方体结构,机架的中间设置有工件槽,所述的固定器安装于机架的两侧,固定器由侧板和两根固定杆组成,两根固定杆位于同一水...
  • 本实用新型公开了印刷滚筒的阳极氧化治具,包括滚筒治具和空心塑料治具,所述空心塑料治具安装固定在滚筒治具的外侧,所述滚筒治具的左端中间设置有左侧压板治具,所述滚筒治具和左侧压板治具通过左侧固定螺钉固定连接,所述左侧压板治具的左端中间设置有...